【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及折疊屏制作，尤其涉及一種蝕刻設備、折疊屏玻璃板及蝕刻方法。
技術介紹
1、目前，移動電子設備逐漸引入了柔性屏，柔性屏相較于傳統屏幕而言，具有柔韌性強且可彎曲的特點，能夠減輕設備意外損傷的程度，耐用程度遠高于其他屏幕。
2、柔性屏在移動電子設備中的應用主要是適應設備的折疊，即稱為折疊屏。使用折疊屏的電子設備在折疊后尺寸較小，便于收納和日常攜帶；其次，折疊屏展開后可使電子設備獲得更大的使用面積，提高觀感。但折疊屏的折疊和展開為高頻次動作，長期使用后會產生屏幕變形等問題，因此折疊屏的設計要求相較于普通屏幕更高。
3、折疊屏包括顯示面板和覆蓋在顯示面板上的蓋板玻璃，現有技術中，折疊屏中的蓋板玻璃為一平整的玻璃板，在折疊時內側承受壓應力，外側承受拉應力，其缺陷在于：上下表面平整的玻璃板難以適應折疊時的應力，可變形能力較差，長期使用后，蓋板玻璃與顯示面板之間存在分離的風險。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供一種蝕刻設備、折疊屏玻璃板及蝕刻方法，以解決現有技術中覆蓋在顯示面板上的蓋板玻璃柔性度差、難以適應折疊時應力的問題，提高折疊屏的可靠性，延長折疊屏的使用壽命。
2、為達此目的，本專利技術采用以下技術方案：
3、第一方面，提供一種蝕刻設備，包括：
4、機體，所述機體內限定出蝕刻腔室；
5、噴淋蝕刻單元，設置于所述蝕刻腔室內，所述噴淋蝕刻單元包括噴淋模塊和蝕刻形態控制模塊，所述蝕刻形態控制模塊包括至少
6、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述擋板單元間隔設置有多組，所述蝕刻形態控制模塊還包括：
7、第一連桿，與多個所述擋板單元中的所述第一擋板均連接；
8、第二連桿，與多個所述擋板單元中的所述第二擋板均連接；
9、所述第一連桿和所述第二連桿相互平行且能夠反向移動，以分別帶動所述第一擋板和所述第二擋板移動。
10、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述蝕刻形態控制模塊還包括：
11、旋轉驅動件；
12、轉軸，與所述旋轉驅動件的輸出端同軸連接，且所述轉軸位于所述第一連桿和所述第二連桿之間；
13、擺動臂，設置于所述轉軸上，所述擺動臂的一端與所述第一連桿可轉動且可滑動配合，所述擺動臂的另一端與所述第二連桿可轉動且可滑動配合；
14、或者，所述蝕刻形態控制模塊還包括第一直線驅動件，所述第一直線驅動件用于驅動所述第一連桿和所述第二連桿反向移動；
15、或者，所述蝕刻形態控制模塊還包括第二直線驅動件和第三直線驅動件，所述第二直線驅動件與所述第一連桿傳動連接，所述第三直線驅動件與所述第二連桿傳動連接。
16、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述蝕刻形態控制模塊還包括安裝件，所述安裝件上開設有限位孔，所述第一擋板和所述第二擋板均至少部分伸入所述限位孔內，以使所述限位孔能夠限定所述第一擋板和所述第二擋板的移動距離。
17、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述安裝件包括：
18、安裝板，所述限位孔開設于所述安裝板上；
19、滑動導向桿，間隔設置于所述安裝板上，所述第一擋板和所述第二擋板的端部可滑動地套設于所述滑動導向桿上。
20、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述噴淋蝕刻單元還包括升降機構，所述升降機構用于驅動所述被蝕刻件或所述蝕刻形態控制模塊升降，以使所述第一擋板和所述第二擋板與所述被蝕刻件密封接觸。
21、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述升降機構包括：
22、升降驅動件，其殼體連接于所述蝕刻腔室的外底壁；
23、升降板，與所述升降驅動件的輸出端傳動連接；
24、升降桿，所述升降板上圍繞所述升降驅動件設置有多個所述升降桿，所述升降桿穿過所述蝕刻腔室的底壁，并與所述蝕刻形態控制模塊連接；
25、導向座，設置于所述蝕刻腔室的內底壁，所述升降桿可移動地貫穿所述導向座。
26、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述擋板單元還包括密封件，所述第一擋板和所述第二擋板均通過所述密封件與所述被蝕刻件抵接，所述密封件貼設于或嵌設于所述第一擋板和所述第二擋板上。
27、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述擋板單元間隔設置有多組，所述噴淋模塊包括間隔設置的多排第一噴嘴，多排所述第一噴嘴與多組所述擋板單元一一正對設置，且單排所述第一噴嘴的延伸方向與所述擋板單元的延伸方向一致。
28、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述噴淋模塊還包括第一噴淋管路，所述第一噴淋管路用于輸送蝕刻液，所述第一噴嘴可拆卸連接于所述第一噴淋管路上，且所述第一噴嘴的噴射壓力、噴射流量以及噴射角度均可調。
29、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述噴淋模塊位于所述蝕刻形態控制模塊的下方，所述被蝕刻件能夠置于所述蝕刻形態控制模塊的上方。
30、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述機體內還限定出漂洗腔室，所述漂洗腔室內設置有噴淋清洗單元，所述噴淋清洗單元用于向上噴淋清洗液至蝕刻完成的所述被蝕刻件上，以清洗殘余的蝕刻液。
31、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述噴淋清洗單元包括：
32、第二噴淋管路，用于輸送清洗液；
33、第二噴嘴，設置有多個，每個所述第二噴嘴均與所述第二噴淋管路可拆卸連接，且所述第二噴嘴的噴射壓力、噴射流量以及噴射角度均可調。
34、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，還包括傳送單元，所述傳送單元用于輸送被蝕刻件，所述機體上設置有上下料工位，所述上下料工位、所述漂洗腔室以及所述蝕刻腔室沿所述傳送單元的傳送方向依次設置。
35、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述蝕刻設備還包括用于裝載所述被蝕刻件的移動載架，所述移動載架上沿所述傳送方向設置有齒條，所述傳送單元包括：
36、驅動機構，其殼體設置于所述機體上；
37、多個齒輪，沿所述傳送方向間隔設置，且所述齒輪能夠與所述齒條嚙合，相鄰兩個所述齒輪的間距小于所述齒條的長度，每個所述齒輪上均同軸設置有傳動軸，所述驅動機構的輸出端與任一所述傳動軸連接；
38、帶傳動機構，每相鄰兩個所述傳動軸均通過一個所述帶傳動機構傳動連接，每個所述傳動軸均與對應的所述帶傳動機構的帶輪同軸連接。
39、作為本專利技術提供的蝕刻設備的優選方案，所述傳送單元還包括間隔設置的兩個導軌，所述導軌沿所述傳送方向延伸，所述移動載架的兩側均設置有滾輪，且兩側所述滾輪能夠分別沿兩個所述導軌滾動行走，所述齒條設置于所述移動載架的上側本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.蝕刻設備，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述擋板單元(221)間隔設置有多組，所述蝕刻形態控制模塊(22)還包括：
3.根據權利要求2所述的蝕刻設備，其特征在于，所述蝕刻形態控制模塊(22)還包括：
4.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述蝕刻形態控制模塊(22)還包括安裝件(227)，所述安裝件(227)上開設有限位孔(2271)，所述第一擋板(2211)和所述第二擋板(2212)均至少部分伸入所述限位孔(2271)內，以使所述限位孔(2271)能夠限定所述第一擋板(2211)和所述第二擋板(2212)的移動距離。
5.根據權利要求4所述的蝕刻設備，其特征在于，所述安裝件(227)包括：
6.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述噴淋蝕刻單元(2)還包括升降機構(23)，所述升降機構(23)用于驅動所述被蝕刻件(100)或所述蝕刻形態控制模塊(22)升降，以使所述第一擋板(2211)和所述第二擋板(2212)與所述被蝕刻件(100)密封接觸。
7.根
8.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述擋板單元(221)還包括密封件(2213)，所述第一擋板(2211)和所述第二擋板(2212)均通過所述密封件(2213)與所述被蝕刻件(100)抵接，所述密封件(2213)貼設于或嵌設于所述第一擋板(2211)和所述第二擋板(2212)上。
9.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述擋板單元(221)間隔設置有多組，所述噴淋模塊(21)包括間隔設置的多排第一噴嘴(211)，多排所述第一噴嘴(211)與多組所述擋板單元(221)一一正對設置，且單排所述第一噴嘴(211)的延伸方向與所述擋板單元(221)的延伸方向一致。
10.根據權利要求9所述的蝕刻設備，其特征在于，所述噴淋模塊(21)還包括第一噴淋管路(212)，所述第一噴淋管路(212)用于輸送蝕刻液，所述第一噴嘴(211)可拆卸連接于所述第一噴淋管路(212)上，且所述第一噴嘴(211)的噴射壓力、噴射流量以及噴射角度均可調。
11.根據權利要求1-10任一項所述的蝕刻設備，其特征在于，所述噴淋模塊(21)位于所述蝕刻形態控制模塊(22)的下方，所述被蝕刻件(100)能夠置于所述蝕刻形態控制模塊(22)的上方。
12.根據權利要求1-10任一項所述的蝕刻設備，其特征在于，所述機體(1)內還限定出漂洗腔室(12)，所述漂洗腔室(12)內設置有噴淋清洗單元(3)，所述噴淋清洗單元(3)用于向上噴淋清洗液至蝕刻完成的所述被蝕刻件(100)上，以清洗殘余的蝕刻液。
13.根據權利要求12所述的蝕刻設備，其特征在于，所述噴淋清洗單元(3)包括：
14.根據權利要求12所述的蝕刻設備，其特征在于，還包括傳送單元(4)，所述傳送單元(4)用于輸送被蝕刻件(100)，所述機體(1)上設置有上下料工位(13)，所述上下料工位(13)、所述漂洗腔室(12)以及所述蝕刻腔室(11)沿所述傳送單元(4)的傳送方向依次設置。
15.根據權利要求14所述的蝕刻設備，其特征在于，所述蝕刻設備還包括用于裝載所述被蝕刻件(100)的移動載架(5)，所述移動載架(5)上沿所述傳送方向設置有齒條(51)，所述傳送單元(4)包括：
16.根據權利要求15所述的蝕刻設備，其特征在于，所述傳送單元(4)還包括間隔設置的兩個導軌(45)，所述導軌(45)沿所述傳送方向延伸，所述移動載架(5)的兩側均設置有滾輪(52)，且兩側所述滾輪(52)能夠分別沿兩個所述導軌(45)滾動行走，所述齒條(51)設置于所述移動載架(5)的上側，所述滾輪(52)設置于所述移動載架(5)的下側。
17.根據權利要求14所述的蝕刻設備，其特征在于，所述上下料工位(13)和所述漂洗腔室(12)之間、以及所述漂洗腔室(12)和所述蝕刻腔室(11)之間均設置有可開閉的隔離門(61)。
18.根據權利要求14所述的蝕刻設備，其特征在于，所述機體(1)的側壁沿周向間隔設置有多個可拆卸的觀察窗(14)，且正對所述漂洗腔室(12)的位置以及正對所述蝕刻腔室(11)的位置均設置有至少一個所述觀察窗(14)。
19.折疊屏玻璃板，其特征在于，所述折疊屏玻璃板上設置有階梯溝槽，所述階梯溝槽采用如權利要求1-18任一項所述的蝕刻設備蝕刻而成。
20.蝕刻方法，其特征在于，采用如權利要求1-18任一項所述...
【技術特征摘要】
1.蝕刻設備，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述擋板單元(221)間隔設置有多組，所述蝕刻形態控制模塊(22)還包括：
3.根據權利要求2所述的蝕刻設備，其特征在于，所述蝕刻形態控制模塊(22)還包括：
4.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述蝕刻形態控制模塊(22)還包括安裝件(227)，所述安裝件(227)上開設有限位孔(2271)，所述第一擋板(2211)和所述第二擋板(2212)均至少部分伸入所述限位孔(2271)內，以使所述限位孔(2271)能夠限定所述第一擋板(2211)和所述第二擋板(2212)的移動距離。
5.根據權利要求4所述的蝕刻設備，其特征在于，所述安裝件(227)包括：
6.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述噴淋蝕刻單元(2)還包括升降機構(23)，所述升降機構(23)用于驅動所述被蝕刻件(100)或所述蝕刻形態控制模塊(22)升降，以使所述第一擋板(2211)和所述第二擋板(2212)與所述被蝕刻件(100)密封接觸。
7.根據權利要求6所述的蝕刻設備，其特征在于，所述升降機構(23)包括：
8.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述擋板單元(221)還包括密封件(2213)，所述第一擋板(2211)和所述第二擋板(2212)均通過所述密封件(2213)與所述被蝕刻件(100)抵接，所述密封件(2213)貼設于或嵌設于所述第一擋板(2211)和所述第二擋板(2212)上。
9.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述擋板單元(221)間隔設置有多組，所述噴淋模塊(21)包括間隔設置的多排第一噴嘴(211)，多排所述第一噴嘴(211)與多組所述擋板單元(221)一一正對設置，且單排所述第一噴嘴(211)的延伸方向與所述擋板單元(221)的延伸方向一致。
10.根據權利要求9所述的蝕刻設備，其特征在于，所述噴淋模塊(21)還包括第一噴淋管路(212)，所述第一噴淋管路(212)用于輸送蝕刻液，所述第一噴嘴(211)可拆卸連接于所述第一噴淋管路(212)上，且所述第一噴嘴(211)的噴射壓力、噴射流量以及噴射角度均可調。
11.根據權利要求1-10任一項所述的蝕刻設備，其...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張孝茂，范劍峰，全鵬，劉正，姜糧濤，
申請(專利權)人：成都拓米智能系統技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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