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    一種EUV光清洗裝置制造方法及圖紙

    技術編號:42461012 閱讀:15 留言:0更新日期:2024-08-21 12:49
    本發明專利技術公開了一種EUV光清洗裝置,屬于3D眼鏡生產技術領域,其技術方案要點包括工作臺,工作臺上設置有龍門架,龍門架上設置有光清洗組件,工作臺上設置有豎向導軌,豎向導軌上移動設置有治具組件,工作臺上移動設置有上料搬運組件,上料搬運組件將產品搬運至治具組件上,光清洗組件對治具平臺上的產品進行清洗,龍門架上還設置有用于搬運清洗后產品的下料搬運組件;本發明專利技術的優點在于實現了產品的自動清洗與自動上下料,減少人力,沒有二次污染的風險,且提高了清洗效率與清洗質量。

    【技術實現步驟摘要】

    本專利技術涉及3d眼鏡生產,更具體地說它涉及一種euv光清洗裝置。


    技術介紹

    1、euv紫外線光清洗技術:是利用有機化合物的光敏氧化作用,達到去除黏附在工件表面上的有機物質,其可達到“原子清潔度”,隨著光電子產業的迅猛發展,光清洗工藝在光電產品中是必不可少的。

    2、在3d眼鏡生產過程中,透鏡lens噴墨前,會對lens的側面進行清洗,去除表面的有機物,以提高lens表面的親水性,避免噴墨脫落,然而傳統采用的plasma線外非接觸式清洗的方式還存在以下問題:

    3、1、需要人工上下料,浪費人力;2、人工上下料,有二次污染lens的風險;3、清潔完成的產品如果超過15分鐘未進入下道工序,有超過清洗效果有效期的風險;4、plasma清洗良率低,增加了重工成本和報廢成本。因此,需要設計一種新的清洗裝置加以解決。


    技術實現思路

    1、針對現有技術存在的不足,本專利技術的目的在于提供一種euv光清洗裝置,其優點在于實現了產品的自動清洗與自動上下料,減少人力,沒有二次污染的風險,且提高了清洗效率與清洗質量。

    2、為實現上述目的,本專利技術提供了如下技術方案:

    3、一種euv光清洗裝置,包括工作臺,所述工作臺上設置有龍門架,所述龍門架上設置有光清洗組件,所述工作臺上設置有豎向導軌,所述豎向導軌上移動設置有治具組件,所述工作臺上移動設置有上料搬運組件,所述上料搬運組件將產品搬運至治具組件上,所述光清洗組件對治具平臺上的產品進行清洗,所述龍門架上還設置有用于搬運清洗后產品的下料搬運組件;

    4、所述治具組件包括滑動連接于導軌上的安裝板,所述安裝板上轉動連接有治具平臺,所述治具平臺包括支架,所述支架的上下兩端分別對稱設置有夾持件,兩所述夾持件其中之一沿支架上下移動,所述夾持件上轉動連接有若干用于放置產品的夾持塊,當所述上料搬運組件將產品放置于夾持塊上時,所述夾持件向下移動將產品夾持固定。

    5、本專利技術進一步設置為:所述光清洗組件包括水平設置于龍門架上的第一橫向導軌,所述第一橫向導軌與豎向導軌相垂直,所述第一橫向導軌上移動設置有升降導軌,所述升降導軌上移動設置有euv燈,所述euv燈在升降導軌上沿豎直方向移動,所述升降導軌通過伺服電機驅動euv燈移動。

    6、本專利技術進一步設置為:所述工作臺上平行設置有兩條豎直導軌,兩所述豎直導軌上均移動設置有治具組件。

    7、本專利技術進一步設置為:所述上料搬運組件包括水平設置于工作臺上的搬運導軌,所述搬運導軌與豎向導軌相垂直,所述搬運導軌上移動設置有上料搬運頭,所述上料搬運頭將產品依次放置于夾持塊上,所述上料搬運組件還包括設置于工作臺上的掃碼槍,所述掃碼槍依次對產品進行掃描。

    8、本專利技術進一步設置為:所述下料搬運組件包括水平設置于龍門架上的第二橫向導軌,所述第二橫向導軌與豎向導軌相垂直,所述第二橫向導軌上移動設置有下料搬運頭,所述下料搬運頭將治具組件內清洗后的產品沿第二橫向導軌送出。

    9、本專利技術進一步設置為:所述夾持件上設置有驅動電機,所述驅動電機的輸出軸上設置有主動輪,所述夾持塊的轉動軸上設置有從動輪,所述主動輪與從動輪之間連接有同步帶,從而帶動夾持塊轉動,夾持件上設置有用于控制驅動電機的感應開關。

    10、本專利技術進一步設置為:所述主動輪與從動輪之間,以及相鄰從動輪之間均設置有張緊輪。

    11、本專利技術進一步設置為:所述夾持件上設置有用于檢測同步帶是否斷裂的檢測感應器。

    12、本專利技術進一步設置為:所述夾持件上設置有用于檢測夾持塊轉動是否同步的感應組件,所述感應組件包括分別設置于夾持塊轉動軸上的感應片,所述感應片上開設有缺口,還包括分別設置于感應片一側的槽形感應器,當感應片轉動至缺口與槽形感應器對齊時,所述槽形感應器接收到檢測信號。

    13、與現有技術相比,本專利技術至少具有以下優點:

    14、1、上料搬運組件依次將產品搬運至夾持塊上,夾持件向下移動將產品夾持固定,隨后治具平臺翻轉90°使產品lens呈豎直狀態,漏出清洗區域,龍門架上的光清洗組件對產品進行清洗,同時夾持塊帶動產品轉動,使產品整個側壁受到清洗,清洗完成后治具平臺沿豎直導軌將產品移動至下料區,下料搬運組件將產品輸送至下道工序;實現了產品的自動清洗與自動上下料,減少人力,沒有二次污染的風險,且提高了清洗效率與清洗質量。

    15、2、將euv燈設置在升降導軌上,euv燈可以在升降導軌上沿豎直方向移動,使得euv燈可以隨產品的不規則輪廓進行升降,始終保持相同清洗高度,提高清洗質量。

    16、3、通過設置檢測感應器,可以實時監測同步帶是否有斷裂痕跡;還設置有感應組件,槽形感應器通過檢測感應片上的缺口,可以檢測出若干夾持塊是否有同步轉動,還可檢測出同步帶斷裂造成的角度偏差。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種EUV光清洗裝置,其特征在于:包括工作臺,所述工作臺上設置有龍門架,所述龍門架上設置有光清洗組件,所述工作臺上設置有豎向導軌,所述豎向導軌上移動設置有治具組件,所述工作臺上移動設置有上料搬運組件,所述上料搬運組件將產品搬運至治具組件上,所述光清洗組件對治具平臺上的產品進行清洗,所述龍門架上還設置有用于搬運清洗后產品的下料搬運組件;

    2.根據權利要求1所述的一種EUV光清洗裝置,其特征在于:所述光清洗組件包括水平設置于龍門架上的第一橫向導軌,所述第一橫向導軌與豎向導軌相垂直,所述第一橫向導軌上移動設置有升降導軌,所述升降導軌上移動設置有EUV燈,所述EUV燈在升降導軌上沿豎直方向移動,所述升降導軌通過伺服電機驅動EUV燈移動。

    3.根據權利要求2所述的一種EUV光清洗裝置,其特征在于:所述工作臺上平行設置有兩條豎直導軌,兩所述豎直導軌上均移動設置有治具組件。

    4.根據權利要求1所述的一種EUV光清洗裝置,其特征在于:所述上料搬運組件包括水平設置于工作臺上的搬運導軌,所述搬運導軌與豎向導軌相垂直,所述搬運導軌上移動設置有上料搬運頭,所述上料搬運頭將產品依次放置于夾持塊上,所述上料搬運組件還包括設置于工作臺上的掃碼槍,所述掃碼槍依次對產品進行掃描。

    5.根據權利要求1所述的一種EUV光清洗裝置,其特征在于:所述下料搬運組件包括水平設置于龍門架上的第二橫向導軌,所述第二橫向導軌與豎向導軌相垂直,所述第二橫向導軌上移動設置有下料搬運頭,所述下料搬運頭將治具組件內清洗后的產品沿第二橫向導軌送出。

    6.根據權利要求1所述的一種EUV光清洗裝置,其特征在于:所述夾持件上設置有驅動電機,所述驅動電機的輸出軸上設置有主動輪,所述夾持塊的轉動軸上設置有從動輪,所述主動輪與從動輪之間連接有同步帶,從而帶動夾持塊轉動,夾持件上設置有用于控制驅動電機的感應開關。

    7.根據權利要求6所述的一種EUV光清洗裝置,其特征在于:所述主動輪與從動輪之間,以及相鄰從動輪之間均設置有張緊輪。

    8.根據權利要求6所述的一種EUV光清洗裝置,其特征在于:所述夾持件上設置有用于檢測同步帶是否斷裂的檢測感應器。

    9.根據權利要求8所述的一種EUV光清洗裝置,其特征在于:所述夾持件上設置有用于檢測夾持塊轉動是否同步的感應組件,所述感應組件包括分別設置于夾持塊轉動軸上的感應片,所述感應片上開設有缺口,還包括分別設置于感應片一側的槽形感應器,當感應片轉動至缺口與槽形感應器對齊時,所述槽形感應器接收到檢測信號。

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    【技術特征摘要】

    1.一種euv光清洗裝置,其特征在于:包括工作臺,所述工作臺上設置有龍門架,所述龍門架上設置有光清洗組件,所述工作臺上設置有豎向導軌,所述豎向導軌上移動設置有治具組件,所述工作臺上移動設置有上料搬運組件,所述上料搬運組件將產品搬運至治具組件上,所述光清洗組件對治具平臺上的產品進行清洗,所述龍門架上還設置有用于搬運清洗后產品的下料搬運組件;

    2.根據權利要求1所述的一種euv光清洗裝置,其特征在于:所述光清洗組件包括水平設置于龍門架上的第一橫向導軌,所述第一橫向導軌與豎向導軌相垂直,所述第一橫向導軌上移動設置有升降導軌,所述升降導軌上移動設置有euv燈,所述euv燈在升降導軌上沿豎直方向移動,所述升降導軌通過伺服電機驅動euv燈移動。

    3.根據權利要求2所述的一種euv光清洗裝置,其特征在于:所述工作臺上平行設置有兩條豎直導軌,兩所述豎直導軌上均移動設置有治具組件。

    4.根據權利要求1所述的一種euv光清洗裝置,其特征在于:所述上料搬運組件包括水平設置于工作臺上的搬運導軌,所述搬運導軌與豎向導軌相垂直,所述搬運導軌上移動設置有上料搬運頭,所述上料搬運頭將產品依次放置于夾持塊上,所述上料搬運組件還包括設置于工作臺上的掃碼槍,所述掃碼槍依次對產品進行掃...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:王志峰,王永超
    申請(專利權)人:廈門普誠半導體科技有限公司,
    類型:發明
    國別省市:

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