【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及石英基板清洗，具體為一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝。
技術介紹
1、石英基板清洗是指使用特定的方法和技術來清除附著在石英基板表面的污染物和雜質的過程。
2、公告號為cn105127142b的專利申請公開了一種激光薄膜元件用超光滑表面熔石英光學基板超聲波清洗方法，主要通過在正式超聲清洗前，運用旋涂1μm~3μm人工氧化硅小球的基板實驗獲得低頻段80khz超聲頻率對微米尺度顆粒有效去除的最低超聲功率、最佳超聲時間；利用旋涂0.3μm～1μm人工氧化硅小球的基板實驗獲得中頻段400khz超聲頻率時氨水、雙氧水和純水的最佳比例，結合原子力顯微鏡獲得最佳超聲時間；綜合上述兩個方面獲得最優超聲清洗參數后，實施對超光滑熔石英光學基板進行超聲波精細清洗，上述專利申請雖然解決了石英基板清洗的問題，但是在實際操作中還存在以下問題：
3、1.沒有根據石英基板的特征進行針對性的超聲波定量清洗方案制定，從而導致石英基板清洗效率不佳。
4、2.英基板進行超聲波清洗之前沒有將涉及的設備進行進一步的檢測，以及進行超聲波清洗時沒有將清洗過程進行及時的記錄，從而導致石英基板清洗流暢度不高以及清洗數據無法追溯。
5、3.沒有將超聲波定量清洗完成的石英基板進行最后的成品檢測，以及沒有根據最終的成品檢測結果進行清洗方案優化改良，從而導致清洗方案不夠靈活。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，在中頻段分析中，通
2、為實現上述目的，本專利技術提供如下技術方案：
3、一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，包括如下步驟：
4、s1：材料選擇：石英基板進行超聲波定量清洗之前，先將石英材料進行選擇，選擇完成后將石英基板進行檢測，檢測完成后得到待清洗石英基板；
5、s2：清洗方案設計：根據待清洗石英基板進行石英基板的特征分析，根據確認的特性進行超聲波定量清洗方案的制定，制定完成后的得到標準清洗方案；
6、s3：清洗設備檢測：將標準清洗方案中涉及的設備進行確認，將每個設備進行功能檢測，功能檢測均合格后進行石英基板的清洗準備；
7、s4：清洗實施：根據標準清洗方案將待清洗石英基板進行清洗，并將待清洗石英基板的清洗過程進行實時記錄，實時記錄后得到清洗過程數據；
8、s5：石英基板檢測：將超聲波定量清洗完成的石英基板進行清洗后的檢測，并將檢測結果標注為石英基板檢測數據；
9、s6：檢測數據調整和評估：將石英基板檢測數據進行分析，根據分析結果進行清洗調整，并將分析結果進行評估，最終將清洗調整數據和評估數據傳輸至顯示終端進行顯示。
10、優選的，針對s1中將石英材料進行選擇，選擇完成后將石英基板進行檢測，包括：
11、選擇sio2含量高于99.5%的材料作為石英基板的石英材料，石英材料確認完成后對采購的石英基板進行檢測；
12、檢測包括外觀檢查、純度檢測、尺寸檢測、形狀檢測、表面粗糙度檢測、光學性能檢測和化學穩定性檢測；
13、其中，外觀檢查為檢查石英基板表面的缺陷，缺陷包括裂紋、起泡和污點；純度檢測為利用傅里葉變換紅外光譜檢測sio2含量和雜質；尺寸檢測和形狀檢測為利用顯微鏡和投影儀檢測石英基板的尺寸和形狀是否符合預設規格；表面粗糙度檢測為使用原子力顯微鏡檢測石英基板表面的粗糙度；光學性能檢測為對石英基板進行透光率和折射率的檢測；化學穩定性檢測為對石英基板進行耐腐蝕性和化學穩定性的檢測；
14、外觀檢查、純度檢測、尺寸檢測、形狀檢測、表面粗糙度檢測、光學性能檢測和化學穩定性檢測均檢測完成并合格后將每個石英基板進行唯一編碼標號，唯一編碼標號后得到待清洗石英基板。
15、優選的，針對s2中根據待清洗石英基板進行石英基板的特征分析，根據確認的特性進行超聲波定量清洗方案的制定，包括：
16、根據待清洗石英基板中石英基板的檢測結果，將檢測結果進行特征分析；
17、特征分析之前先將石英基板上涂有的氧化硅小球尺寸進行確認；
18、將石英基板上涂有的氧化硅小球的尺寸為1μm-3μm的石英基板標注為低頻段分析；
19、將石英基板上涂有的氧化硅小球的尺寸為0.3μm-1μm的石英基板標注為中頻段分析；
20、低頻段分析和中頻段分析的石英基板包括物理特性分析、化學特性分析和聲學特性分析；
21、其中，物理特性分析為表面形貌和粘附力；化學特性分析為污染物類型和清洗劑選擇；聲學性分析為聲波傳播和空化效應。
22、優選的，針對s2中根據待清洗石英基板進行石英基板的特征分析，根據確認的特性進行超聲波定量清洗方案的制定，還包括：
23、將低頻段分析的石英基板進行超聲波定量清洗方案制定；
24、低頻段分析的石英基板的超聲波定量清洗方案如下：
25、s2011：實驗設備準備，實驗設備包括80khz超聲波清洗槽、leica顯微鏡、清潔純水系統、功率計和計時器；
26、s2012：將石英基板放入80khz超聲清洗槽中，超聲時間預設為3分鐘、6分鐘、9分鐘和12分鐘，共四次；
27、s2013：將80khz超聲波清洗槽的超聲輸出功率進行設置，其中，初始超聲輸出功率為100％，每次實驗時降低10％的功率，直至將功率降至10％，并且，每組功率設置重復至少3次；
28、s2014：將石英基板在不同功率下的清洗效果進行確認，并將最終清洗效率達到95％以上，并且石英基板表面無損傷的超聲輸出功率作為最終超聲清洗方案的最佳功率；
29、s2015：根據最佳功率將待清洗石英基板進行實際超聲波定量清洗，并將實際超聲波定量清洗的清洗數據進行數據匯總。
30、優選的，針對s2中根據待清洗石英基板進行石英基板的特征分析，根據確認的特性進行超聲波定量清洗方案的制定，還包括：
31、將中頻段分析的石英基板進行超聲波定量清洗方案制定；
32、中頻段分析的石英基板的超聲波定量清洗方案如下：
33、s2021:試驗設備準備，實驗設備包括400?khz超聲波清洗槽、超聲清洗發生器、計時器、溶液容器、移液器、磁力攪拌器和原子力顯微鏡；
34、s2022：將石英基板放入400?khz超聲波清洗槽中，超聲時間本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，包括如下步驟：
2.根據權利要求1所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對S1中將石英材料進行選擇，選擇完成后將石英基板進行檢測，包括：
3.根據權利要求2所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對S2中根據待清洗石英基板進行石英基板的特征分析，根據確認的特性進行超聲波定量清洗方案的制定，包括：
4.根據權利要求3所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對S2中根據待清洗石英基板進行石英基板的特征分析，根據確認的特性進行超聲波定量清洗方案的制定，還包括：
5.根據權利要求4所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對S2中根據待清洗石英基板進行石英基板的特征分析，根據確認的特性進行超聲波定量清洗方案的制定，還包括：
6.根據權利要求5所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對S2中根據待清洗石英基板進行石英基板的特征分析，根據確認的特性進行超聲波定量清洗方案的制定，還
7.根據權利要求6所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對S3中將標準清洗方案中涉及的設備進行確認，將每個設備進行功能檢測，包括：
8.根據權利要求7所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對S4中根據標準清洗方案將待清洗石英基板進行清洗，并將待清洗石英基板的清洗過程進行實時記錄，包括：
9.根據權利要求8所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對S5中將超聲波定量清洗完成的石英基板進行清洗后的檢測，包括：
10.根據權利要求9所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對S6中將石英基板檢測數據進行分析，根據分析結果進行清洗調整，并將分析結果進行評估，最終將清洗調整數據和評估數據傳輸至顯示終端進行顯示，包括：
...【技術特征摘要】
1.一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，包括如下步驟：
2.根據權利要求1所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對s1中將石英材料進行選擇，選擇完成后將石英基板進行檢測，包括：
3.根據權利要求2所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對s2中根據待清洗石英基板進行石英基板的特征分析，根據確認的特性進行超聲波定量清洗方案的制定，包括：
4.根據權利要求3所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對s2中根據待清洗石英基板進行石英基板的特征分析，根據確認的特性進行超聲波定量清洗方案的制定，還包括：
5.根據權利要求4所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量清洗工藝，其特征在于，針對s2中根據待清洗石英基板進行石英基板的特征分析，根據確認的特性進行超聲波定量清洗方案的制定，還包括：
6.根據權利要求5所述的一種石英基板光滑表面超聲波定量...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李加海，高偉東，曹榮府，
申請(專利權)人：安徽禾臣新材料有限公司，
類型：發明
國別省市：
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