【技術實現步驟摘要】
本公開屬于分子束外延，具體涉及一種分子束外延裝取樣裝置和方法。
技術介紹
1、傳統分子束外延取樣時，通常包括以下操作過程：托盤先需要在進樣室內加載晶片，然后經過烘烤等處理步驟后再進入生長室進行晶生長；然而，在晶片取樣過程中，托盤長時間暴露在空氣中，托盤容易吸附空氣中的雜質，且取樣過程中操作人員容易誤觸托盤，造成托盤受到外部污染的影響；盡管托盤在進入生長室前會在進樣室內經過烘烤等預處理步驟，但由于這些預處理通常只能進行中低溫烘烤，無法完全消除托盤表面的雜質，承載晶片的托盤上吸附有大量雜質，直接將該托盤及晶片送入生長室內進行生長時，高溫生長時雜質從托盤上釋放，進而影響晶片的生長質量；因此，現有技術中存在著托盤進行晶片取樣時長時間暴露于空氣中容易吸附雜質，進而影響后續晶片在生長室內的生長效果的問題。
技術實現思路
1、針對現有技術的不足，本公開的目的在于提供一種分子束外延裝取樣裝置和方法，解決了現有技術中存在著托盤進行晶片裝取樣時長時間暴露于空氣中容易吸附雜質，進而影響后續晶片在生長室內的生長效果的問題。
2、本公開的目的可以通過以下技術方案實現：
3、一種分子束外延裝取樣裝置，包括交接室和襯底托盤；
4、襯底托盤的數量至少為兩個，至少任一襯底托盤儲存于真空環境中，至少任一襯底托盤用于進入進樣室裝取晶片；
5、襯底托盤上均開設有多個第一圓通孔，第一圓通孔內側周壁固定有承托件，承托件上端用于放置晶片；
6、交接室內設有用于水平放置
7、交接室內設有位于托盤架正下方的升降板，升降板上端面設有多個交接架，交接架與任一襯底托盤上第一圓通孔數量相等且一一對應，交接架均包括固定于升降板上的底部架，底部架上端均放置有可拆卸式連接的頂部架；
8、交接室底部設有升降單元，升降單元與升降板底部連接并用于驅動升降板上下移動，升降單元驅動升降板上移時，交接架均可穿過對應位置的第一圓通孔并推動承托件上的晶片上移；
9、交接室內設有支撐件，支撐件的下端面高于托盤架上襯底托盤的上端面，交接室側壁上設有用于驅動支撐件水平移動的驅動單元，驅動單元與支撐件連接，驅動單元可驅動支撐件同時伸入各頂部架中；
10、交接室任一側壁上設有第一閥門，當第一閥門打開時，襯底托盤可穿過第一閥門進出交接室；
11、頂部架均包括一對上下對稱放置的固定盤，固定盤中心軸線均呈豎直放置，支撐件可伸入兩固定盤之間，兩固定盤外側設有繞固定盤中心軸線呈環形均勻分布的固定桿，兩固定盤周壁均與各固定桿固定，頂部架還包括頂托件，頂托件位于兩固定盤正上方，各固定桿上端均與頂托件下端固定；
12、底部架均包括用于放置位于下方的固定盤的支撐盤，支撐盤通過支撐桿固定于升降板上；
13、固定盤上均開設有第二圓通孔，支撐盤上端固定有與第二圓通孔相適配的第一凸塊，第一凸塊與下方固定盤的第二圓通孔滑動連接；
14、支撐件上端面固定有多個第二凸塊，第二凸塊與第一凸塊規格相同，且第二凸塊與交接架數量相等且一一對應；
15、襯底托盤上均設有定向標記，交接室內設置有用于檢測定向標記位置的定向探頭；
16、交接室頂部設置有用于驅動托盤架在水平平面內轉動的旋轉單元；
17、交接室外側安裝有真空泵，真空泵的抽氣管與交接室內部貫通連接；
18、承托件及頂托件均呈同軸向放置的圓環狀，且承托件與對應第一圓通孔呈同軸線放置，頂托件外側直徑小于承托件內側直徑；
19、承托件呈與對應第一圓通孔呈同軸線放置的圓環狀，頂托件包括多個頂片，多個頂片繞固定盤中心軸線呈環形均勻分布，頂片與對應交接架中固定桿數量相等且一一對應，各頂片分別固定于各固定桿上端，且頂片均可從對應承托件內側穿過；
20、承托件呈圓環狀，承托件上設有環形均勻分布的多個缺口，缺口數量與固定桿數量相等且一一對應；
21、頂托件包括多個頂片，頂片與缺口數量相等且一一對應，頂片均固定于對應固定桿上，頂片均可穿過對應缺口；
22、承托件均包括繞對應第一圓通孔中心軸線環形均勻分布的多個托片，托片均固定于第一圓通孔內側周壁上；頂托件包括環形均勻分布的多個頂片，頂片與固定桿一一對應，頂片均固定于對應固定桿上端，且頂片與托片呈交錯放置狀態。
23、本公開的有益效果：
24、通過裝樣托盤在進樣室內進行裝取晶片，裝樣托盤在裝取晶片時會直接暴露于空氣中，此時裝樣托盤會吸附空氣中的雜質，然后通過在交接室內將裝樣托盤上的晶片交接至生長托盤上，實現對承載晶片的襯底托盤進行更換，將晶片從吸附有雜質的裝樣托盤上交接轉移至干凈的生長托盤上，有效保證在生長室內承載晶片的襯底托盤的潔凈程度，提高晶片的生長質量；
25、且裝樣托盤與生長托盤上晶片交接時，每次可同時進行多個晶片的交接，晶片交接工作效率高，且交接過程處于交接室內，可減少交接過程中生長托盤被污染的可能性，從而進一步提高后續晶片的生長質量。
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1.一種分子束外延裝取樣裝置，包括交接室（13）和襯底托盤（51），其特征在于：
2.根據權利要求1所述的分子束外延裝取樣裝置，其特征在于，頂部架均包括一對上下對稱放置的固定盤（43），固定盤（43）中心軸線均呈豎直放置，支撐件（48）可伸入兩固定盤（43）之間，兩固定盤（43）外側設有繞固定盤（43）中心軸線呈環形均勻分布的固定桿（42），兩固定盤（43）周壁均與各固定桿（42）固定，頂部架還包括頂托件（41），頂托件（41）位于兩固定盤（43）正上方，各固定桿（42）上端均與頂托件（41）下端固定；
3.根據權利要求2所述的分子束外延裝取樣裝置，其特征在于，固定盤（43）上均開設有第二圓通孔（45），支撐盤（44）上端固定有與第二圓通孔（45）相適配的第一凸塊（46），第一凸塊（46）與下方固定盤（43）的第二圓通孔（45）滑動連接。
4.根據權利要求3所述的分子束外延裝取樣裝置，其特征在于，支撐件（48）上端面固定有多個第二凸塊（49），第二凸塊（49）與第一凸塊（46）規格相同，且第二凸塊（49）與交接架數量相等且一一對應。
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