【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體制備技術及使用裝備，特別涉及硅片制備使用裝備，具體的，是一種地軌機器人。
技術介紹
1、邊拋機上下片籃全部是人工操作完成，每臺邊拋機存在4個端口，當數量較多的拋邊機同時做業時，需要上下片籃的端口數量多，邊拋機設備體型寬大，這就導致跑遍每臺邊拋機的行程遙遠，做業人員做業強度大，同時存在不及時上下片籃問題。
2、因此，需要提供一種地軌機器人來解決上述問題。
技術實現思路
1、本技術的目的是提供一種地軌機器人。
2、本技術通過如下技術方案實現上述目的：
3、一種地軌機器人，包括滑動設置的機器人主體，機器人主體包括下方驅動箱，下方驅動箱上轉動設置有機械手基臺，機械手基臺上設置有模擬人手取放片籃的多軸機械臂，多軸機械臂端部設置有片籃抓取裝置；
4、機器人主體上設置有若干片籃暫存臺，若干片籃暫存臺部分用作滿片片籃暫存部，其余用做空片片籃暫存部；
5、下方驅動箱上設置有片籃取放響應裝置，片籃取放響應裝置接收片籃取放端口信號，滑動至對應片籃取放端口，多軸機械臂通過片籃抓取裝置，配合空片片籃暫存部和滿片片籃暫存部，進行當前端口的上下片籃，形成高效自動上下片籃結構。
6、進一步的，滿片片籃暫存部和空片片籃暫存部其中之一包括暫存板，暫存板下方設置有下支撐架，上方設置有上方輔助加強架。
7、進一步的，滿片片籃暫存部和空片片籃暫存部另一包括對應設置的一組暫存臺，一組暫存臺上對應的卡槽板組合形成暫存槽放置區，暫
8、進一步的，片籃抓取裝置包括片籃抓取設定臺，片籃抓取設定臺上對應設置有張合式抓取塊a和張合式抓取塊b。
9、進一步的，張合式抓取塊a和張合式抓取塊b上均設置有片籃夾持對應槽。
10、進一步的，下方驅動箱滑動設置于地軌滑動部上。
11、進一步的，地軌滑動部內設置有下方驅動箱驅動結構。
12、進一步的，下方驅動箱驅動結構由電機、絲杠、絲杠螺絲連接臺組合形成。
13、與現有技術相比，本技術的多軸機械臂端部通過片籃抓取裝裝置，配合空片片籃暫存部和滿片片籃暫存部，進行當前端口的上下片籃，形成高效自動上下片籃，減少人力資源占用，保證邊拋做業高效有序的進行。
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1.一種地軌機器人，其特征在于：包括滑動設置的機器人主體，機器人主體包括下方驅動箱，下方驅動箱上轉動設置有機械手基臺，機械手基臺上設置有模擬人手取放片籃的多軸機械臂，多軸機械臂端部設置有片籃抓取裝置；
2.根據權利要求1所述的一種地軌機器人，其特征在于：滿片片籃暫存部和空片片籃暫存部其中之一包括暫存板，暫存板下方設置有下支撐架，上方設置有上方輔助加強架。
3.根據權利要求2所述的一種地軌機器人，其特征在于：滿片片籃暫存部和空片片籃暫存部另一包括對應設置的一組暫存臺，一組暫存臺上對應的卡槽板組合形成暫存槽放置區，暫存槽放置區內設置有暫存槽板。
4.根據權利要求1所述的一種地軌機器人，其特征在于：片籃抓取裝置包括片籃抓取設定臺，片籃抓取設定臺上對應設置有張合式抓取塊A和張合式抓取塊B。
5.根據權利要求4所述的一種地軌機器人，其特征在于：張合式抓取塊A和張合式抓取塊B上均設置有片籃夾持對應槽。
6.根據權利要求1所述的一種地軌機器人，其特征在于：下方驅動箱滑動設置于地軌滑動部上。
7.根據權利要求6所述的一種地軌
8.根據權利要求7所述的一種地軌機器人，其特征在于：下方驅動箱驅動結構由電機、絲杠、絲杠螺絲連接臺組合形成。
...【技術特征摘要】
1.一種地軌機器人，其特征在于：包括滑動設置的機器人主體，機器人主體包括下方驅動箱，下方驅動箱上轉動設置有機械手基臺，機械手基臺上設置有模擬人手取放片籃的多軸機械臂，多軸機械臂端部設置有片籃抓取裝置；
2.根據權利要求1所述的一種地軌機器人，其特征在于：滿片片籃暫存部和空片片籃暫存部其中之一包括暫存板，暫存板下方設置有下支撐架，上方設置有上方輔助加強架。
3.根據權利要求2所述的一種地軌機器人，其特征在于：滿片片籃暫存部和空片片籃暫存部另一包括對應設置的一組暫存臺，一組暫存臺上對應的卡槽板組合形成暫存槽放置區，暫存槽放置區內設置有暫存槽板。
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【專利技術屬性】
技術研發人員：肖帥，魏松，劉暢，蔣歡，曹錦偉，
申請(專利權)人：中環領先半導體科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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