【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及晶圓劃片機(jī)領(lǐng)域，特別涉及一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩。
技術(shù)介紹
1、晶圓劃片機(jī)，簡稱劃片機(jī)，是用來將半導(dǎo)體晶圓(簡稱工件)切割成小尺寸芯片的關(guān)鍵設(shè)備。在制造過程中，它利用高速旋轉(zhuǎn)的金剛石刀片對晶圓上的芯片進(jìn)行切削和加工，將大尺寸的晶圓切割成小尺寸的芯片。這些芯片經(jīng)過切割后，便能從晶圓上分離，進(jìn)一步用于制造各種電子產(chǎn)品，如手機(jī)和計(jì)算機(jī)芯片等。
2、劃片機(jī)在切割晶圓時(shí)，由于刀片和工件會(huì)產(chǎn)生持續(xù)撞擊，因此會(huì)1.產(chǎn)生大量熱量積蓄于刀片以及工件、2.產(chǎn)生大量切割碎屑，3.片刀刃部的金剛石顆粒以及粘合劑的脫落；以上這些問題都會(huì)嚴(yán)重影響的切割精度，同時(shí)也會(huì)增加刀片刀刃的磨耗程度。因此，劃片機(jī)需要設(shè)置專用的刀片冷卻設(shè)備。
3、現(xiàn)有的劃片機(jī)裝備的刀片冷卻噴水罩機(jī)構(gòu)較為簡單，噴淋頭較少且位置固定，對刀片的冷卻沖洗能力不夠理想，刀身溫度不穩(wěn)定，且整個(gè)機(jī)構(gòu)需要手動(dòng)打開以更換刀片及維護(hù)該模塊。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了解決上述問題，本技術(shù)提供一種方便實(shí)用的劃片機(jī)刀片冷卻水罩。
2、本技術(shù)中的一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，所述冷卻水罩包括噴水罩機(jī)構(gòu)主體、刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)、刀片切向噴淋機(jī)構(gòu)和噴水罩展開機(jī)構(gòu)，所述噴水罩機(jī)構(gòu)主體固定在刀片主軸上，所述噴水罩機(jī)構(gòu)主體上設(shè)有刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)和刀片切向噴淋機(jī)構(gòu)，所述噴水罩機(jī)構(gòu)主體上還設(shè)有噴水罩展開機(jī)構(gòu)。
3、上述方案中，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)包括刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座、冷卻液噴淋管、冷卻液快插接頭和氮?dú)夤苈房觳褰宇^，所述刀片軸向...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述冷卻水罩包括噴水罩機(jī)構(gòu)主體、刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)、刀片切向噴淋機(jī)構(gòu)和噴水罩展開機(jī)構(gòu)，所述噴水罩機(jī)構(gòu)主體固定在刀片主軸上，所述噴水罩機(jī)構(gòu)主體上設(shè)有刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)和刀片切向噴淋機(jī)構(gòu)，所述噴水罩機(jī)構(gòu)主體上還設(shè)有噴水罩展開機(jī)構(gòu)，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)包括刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座、冷卻液噴淋管、冷卻液快插接頭和氮?dú)夤苈房觳褰宇^，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座設(shè)于噴水罩機(jī)構(gòu)主體上，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座上連接有兩根平行的冷卻液噴淋管，兩根平行的冷卻液噴淋管的中心線和刀片中心線重合，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座上設(shè)有冷卻液快插接頭和氮?dú)夤苈房觳褰宇^，所述冷卻液快插接頭與冷卻液噴淋管連接，冷卻液快插接頭用于連接冷卻液輸送軟管，氮?dú)夤苈房觳褰宇^用于連接氮?dú)廨斔蛙浌堋?/p>
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述冷卻液噴淋管的內(nèi)側(cè)面向刀刃的部分各開有3道細(xì)槽，通過調(diào)節(jié)水壓，噴出3路以60°扇形沖刷刀刃部分以及刀片側(cè)面的噴淋水。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述冷卻液噴淋管的末端安裝有堵頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座上設(shè)有氮?dú)鈬娮欤龅獨(dú)鈬娮炫c氮?dú)夤苈房觳褰宇^連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座上設(shè)有長腰形螺釘裝配槽孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述刀片切向噴淋機(jī)構(gòu)包括刀片切向噴淋機(jī)構(gòu)固定座、工件噴淋水噴嘴、刀片冷卻液噴嘴、工件噴淋水接頭和刀片冷卻液接頭，所述刀片切向噴淋機(jī)構(gòu)固定座下部設(shè)有工件噴淋水噴嘴和刀片冷卻液噴嘴，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座上設(shè)有工件噴淋水接頭和刀片冷卻液接頭，所述工件噴淋水噴嘴與工件噴淋水接頭連接，所述刀片冷卻液噴嘴與刀片冷卻液接頭連接，刀片冷卻液接頭用于連接刀片冷卻液輸水軟管，工件噴淋水接頭用于連接工件噴淋水輸水軟管。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述刀片冷卻液噴嘴為水平方向安裝，平行于刀片的切線，同時(shí)其中心線和刀片切向中心線重合。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述噴水罩展開機(jī)構(gòu)包括刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)連接座、氣缸活塞桿支架、氣缸和氣缸驅(qū)動(dòng)氣體接頭，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)連接座設(shè)于刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座上，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)連接座安裝于氣缸活塞桿支架上，所述氣缸固定于噴水罩機(jī)構(gòu)主體上，所述氣缸上設(shè)有氣缸驅(qū)動(dòng)氣體接頭。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述氣缸上設(shè)有氣缸位置傳感器。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述冷卻水罩包括噴水罩機(jī)構(gòu)主體、刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)、刀片切向噴淋機(jī)構(gòu)和噴水罩展開機(jī)構(gòu)，所述噴水罩機(jī)構(gòu)主體固定在刀片主軸上，所述噴水罩機(jī)構(gòu)主體上設(shè)有刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)和刀片切向噴淋機(jī)構(gòu)，所述噴水罩機(jī)構(gòu)主體上還設(shè)有噴水罩展開機(jī)構(gòu)，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)包括刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座、冷卻液噴淋管、冷卻液快插接頭和氮?dú)夤苈房觳褰宇^，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座設(shè)于噴水罩機(jī)構(gòu)主體上，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座上連接有兩根平行的冷卻液噴淋管，兩根平行的冷卻液噴淋管的中心線和刀片中心線重合，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座上設(shè)有冷卻液快插接頭和氮?dú)夤苈房觳褰宇^，所述冷卻液快插接頭與冷卻液噴淋管連接，冷卻液快插接頭用于連接冷卻液輸送軟管，氮?dú)夤苈房觳褰宇^用于連接氮?dú)廨斔蛙浌堋?/p>
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述冷卻液噴淋管的內(nèi)側(cè)面向刀刃的部分各開有3道細(xì)槽，通過調(diào)節(jié)水壓，噴出3路以60°扇形沖刷刀刃部分以及刀片側(cè)面的噴淋水。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述冷卻液噴淋管的末端安裝有堵頭。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種劃片機(jī)刀片冷卻水罩，其特征在于，所述刀片軸向噴淋機(jī)構(gòu)固定座上設(shè)有氮?dú)鈬娮欤龅獨(dú)鈬娮炫c氮?dú)夤苈房觳褰宇^連接。
5.根據(jù)權(quán)利要...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：姜道明，孫鐵彬，蔡黎嶸，
申請(專利權(quán))人：上海倍弗侖半導(dǎo)體設(shè)備有限公司，
類型：新型
國別省市：
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