【技術實現步驟摘要】
【】本專利技術涉及一種可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構。
技術介紹
0、
技術介紹
1、準分子激光器是以準分子為工作物質的一類氣體激光器件，在激光腔體內充入2bar至5bar的工作氣體，通過放電電極放電來實現激勵，以射出準分子激光。目前的準分子激光廣泛應用于工業生產中的精細精密加工，例如光纖光柵刻寫等，對于此類加工，準分子激光器射出激光的指向穩定性非常重要，激光指向不穩定可能導致光纖光柵刻寫不穩定或者失敗。而目前的準分子激光器工作時，放電電極放電和循環風機轉動會不斷產生熱量，產生的熱量一部分通過散熱結構帶走，但仍有一部分熱量積累在激光腔體內，這部分熱量導致激光腔體內的工作氣體溫度升高，溫度升高就使工作氣壓升高，導致激光腔體上激光射出口位置的調整架位置受到氣壓的影響，安裝在調整架上的光學鏡片就會出現細微的偏移，從而導致激光的指向發生變化，最終導致加工質量不穩定或出現殘次品。因此，目前的準分子激光器在精細精密加工中仍然存在改進的空間。
2、因此，本專利技術正是基于以上的不足而產生的。
技術實現思路
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技術實現思路
1、本專利技術目的是克服了現有技術的不足，提供一種可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，從而確保精細精密加工的穩定性。
2、本專利技術是通過以下技術方案實現的：
3、一種可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，包括激光腔體，所述的激光腔體內設置有放電電極和循環風機，所述的激光腔
4、所述的調整架與激光腔體之間還設有波紋管，所述的波紋管包括左連接座和右連接座，所述的左連接座和右連接座之間設有管體，所述的左連接座抵靠連接在激光腔體上，所述的右連接座抵靠連接在調整架上。
5、所述的左連接座與激光腔體之間設有第一密封圈，所述的右連接座與調整架之間設有第二密封圈。
6、所述的調整架上設有臺階，所述的光學鏡片一側抵靠在臺階上，所述的光學鏡片另一側設有用于將其壓緊在調整架上的鏡片壓板。
7、所述的光學鏡片與臺階表面之間設有第三密封圈。
8、所述的光學鏡片與鏡片壓板之間設有緩沖墊片。
9、所述的光學鏡片為諧振鏡片。
10、所述的第一鎖緊螺母、第二鎖緊螺母和第三鎖緊螺母與調整架的接觸面為球面或錐面接觸，所述的抵靠部與調整架的接觸面為球面或錐面接觸。
11、所述的第一防松螺母與調整架的接觸為球面與平面接觸；所述的第二防松螺母與調整架的接觸為球面與平面接觸。
12、與現有技術相比，本專利技術有如下優點：本專利技術的激光腔體上設置有第一拉桿、第二拉桿和第三拉桿，調整架則套設在第一拉桿、第二拉桿和第三拉桿上，第一拉桿的抵靠部則與調整架直接抵靠，壓簧設置在調整架與激光腔體之間，通過第一鎖緊螺母與第一拉桿配合可以鎖緊調整架與第一拉桿，然后通過第二鎖緊螺母與第二拉桿配合以及通過第三鎖緊螺母與第三拉桿配合可以調節調整架的偏斜位置，在調整的過程中調整架對壓簧施加壓力，壓簧則對調整架施加向外側的反向推力，使得第二鎖緊螺母和第三鎖緊螺母在頂推調整架時調整架另一側也具有與之相對的反作用力，從而使調整架能夠平穩地調整到合適的位置，當調整架調節到合適位置時，最后擰動第一防松螺母和第二防松螺母，使得第一防松螺母和第二鎖緊螺母夾持住調整架，同時第二防松螺母與第三鎖緊螺母也夾持住調整架，調整架被雙向夾持，確保了調整架的位置不會受到激光腔體內的氣壓影響，從而提高傳統準分子激光器的激光指向穩定性，確保工業加工的質量穩定。
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1.一種可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，包括激光腔體(1)，所述的激光腔體(1)內設置有放電電極(2)和循環風機，所述的激光腔體(1)上開設有激光射出口(3)，所述的激光射出口(3)位置設置有透鏡組件(4)，其特征在于：所述的透鏡組件(4)包括與激光腔體(1)連接的調整架(41)，所述的調整架(41)具有激光射出孔(42)，所述的調整架(41)上并位于激光射出孔(41)位置設有光學鏡片(43)，所述的激光腔體(1)上設有相互間隔的第一拉桿(51)、第二拉桿(52)和第三拉桿(53)，所述的調整架(41)上設有套設到第一拉桿(51)、第二拉桿(52)和第三拉桿(53)上的第一連接孔(61)、第二連接孔(62)和第三連接孔(63)，所述的第一拉桿(51)上設有與調整架(51)一側抵靠的抵靠部(511)，所述的調整架(41)另一側設有與第一拉桿(51)連接的第一鎖緊螺母(71)，所述的第二拉桿(52)上并位于調整架(41)與激光腔體(1)之間設有能相對其移動的第一防松螺母(81)，所述的第二拉桿(52)上還設有與其螺紋連接并能與第一防松螺母(81)夾持鎖緊調整架(41)
2.根據權利要求1所述的可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，其特征在于：所述的調整架(41)與激光腔體(1)之間還設有波紋管(10)，所述的波紋管(10)包括左連接座(101)和右連接座(102)，所述的左連接座(101)和右連接座(102)之間設有管體(103)，所述的左連接座(101)抵靠連接在激光腔體(1)上，所述的右連接座(102)抵靠連接在調整架(41)上。
3.根據權利要求2所述的可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，其特征在于：所述的左連接座(101)與激光腔體(1)之間設有第一密封圈(104)，所述的右連接座(102)與調整架(41)之間設有第二密封圈(105)。
4.根據權利要求1所述的可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，其特征在于：所述的調整架(41)上設有臺階(44)，所述的光學鏡片(43)一側抵靠在臺階(44)上，所述的光學鏡片(43)另一側設有用于將其壓緊在調整架(41)上的鏡片壓板(45)。
5.根據權利要求4所述的可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，其特征在于：所述的光學鏡片(43)與臺階(44)表面之間設有第三密封圈(46)。
6.根據權利要求4所述的可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，其特征在于：所述的光學鏡片(43)與鏡片壓板(45)之間設有緩沖墊片(47)。
7.根據權利要求1所述的可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，其特征在于：所述的光學鏡片(43)為諧振鏡片。
8.根據權利要求1所述的可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，其特征在于：所述的第一鎖緊螺母(71)、第二鎖緊螺母(72)和第三鎖緊螺母(73)與調整架(41)的接觸面為球面或錐面接觸，所述的抵靠部(511)與調整架(41)的接觸面為球面或錐面接觸。
9.根據權利要求1所述的可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，其特征在于：所述的第一防松螺母(81)與調整架(41)的接觸為球面與平面接觸；所述的第二防松螺母(82)與調整架(41)的接觸為球面與平面接觸。
...【技術特征摘要】
1.一種可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，包括激光腔體(1)，所述的激光腔體(1)內設置有放電電極(2)和循環風機，所述的激光腔體(1)上開設有激光射出口(3)，所述的激光射出口(3)位置設置有透鏡組件(4)，其特征在于：所述的透鏡組件(4)包括與激光腔體(1)連接的調整架(41)，所述的調整架(41)具有激光射出孔(42)，所述的調整架(41)上并位于激光射出孔(41)位置設有光學鏡片(43)，所述的激光腔體(1)上設有相互間隔的第一拉桿(51)、第二拉桿(52)和第三拉桿(53)，所述的調整架(41)上設有套設到第一拉桿(51)、第二拉桿(52)和第三拉桿(53)上的第一連接孔(61)、第二連接孔(62)和第三連接孔(63)，所述的第一拉桿(51)上設有與調整架(51)一側抵靠的抵靠部(511)，所述的調整架(41)另一側設有與第一拉桿(51)連接的第一鎖緊螺母(71)，所述的第二拉桿(52)上并位于調整架(41)與激光腔體(1)之間設有能相對其移動的第一防松螺母(81)，所述的第二拉桿(52)上還設有與其螺紋連接并能與第一防松螺母(81)夾持鎖緊調整架(41)的第二鎖緊螺母(72)，所述的第三拉桿(53)上并位于調整架(41)與激光腔體(1)之間設有能相對其移動的第二防松螺母(82)，所述的第三拉桿(53)上還設有與其螺紋連接并能與第二防松螺母(82)夾持鎖緊調整架(41)的第三鎖緊螺母(73)，所述的調整架(41)與激光腔體(1)之間設有能向外頂推調整架(41)的壓簧(9)。
2.根據權利要求1所述的可以提高激光指向穩定性的準分子激光光路調整結構，其特征在于：所述的調整架(41)與激光腔體(1)之間還設有波紋管(10)，所述的波紋管(10)包括左連接座(101)和右連接座(102)，所述的左連接座(101)和右連接座(102)之間設有...
【專利技術屬性】
技術研發人員：朱能偉，
申請(專利權)人：深圳盛方科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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