溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
一種人工晶體生長爐及包括人工晶體生長爐的人工晶體爐系統，涉及人工晶體制備技術領域，本發明通過在晶棒冷卻裝置主體上設置氣流導流裝置，通過氣流導流裝置將氣流導流至冷卻盤主體上的晶體提拉孔內，有效的避免了揮發物粘附到晶棒及晶體提拉孔上等，由于下導...該專利屬于洛陽長纓新能源科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過洛陽長纓新能源科技有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
一種人工晶體生長爐及包括人工晶體生長爐的人工晶體爐系統，涉及人工晶體制備技術領域，本發明通過在晶棒冷卻裝置主體上設置氣流導流裝置，通過氣流導流裝置將氣流導流至冷卻盤主體上的晶體提拉孔內，有效的避免了揮發物粘附到晶棒及晶體提拉孔上等，由于下導...