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    下載人工晶體生長(zhǎng)爐及包括人工晶體生長(zhǎng)爐的人工晶體爐系統(tǒng)的技術(shù)資料

    文檔序號(hào):44454830

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    一種人工晶體生長(zhǎng)爐及包括人工晶體生長(zhǎng)爐的人工晶體爐系統(tǒng),涉及人工晶體制備技術(shù)領(lǐng)域,本發(fā)明通過(guò)在晶棒冷卻裝置主體上設(shè)置氣流導(dǎo)流裝置,通過(guò)氣流導(dǎo)流裝置將氣流導(dǎo)流至冷卻盤(pán)主體上的晶體提拉孔內(nèi),有效的避免了揮發(fā)物粘附到晶棒及晶體提拉孔上等,由于下導(dǎo)...
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