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一種人工晶體生長爐及包括人工晶體生長爐的人工晶體爐系統,涉及人工晶體制備技術領域,本發明通過在晶棒冷卻裝置主體上設置氣流導流裝置,通過氣流導流裝置將氣流導流至冷卻盤主體上的晶體提拉孔內,有效的避免了揮發物粘附到晶棒及晶體提拉孔上等,由于下導...該專利屬于洛陽長纓新能源科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過洛陽長纓新能源科技有限公司授權不得商用。
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一種人工晶體生長爐及包括人工晶體生長爐的人工晶體爐系統,涉及人工晶體制備技術領域,本發明通過在晶棒冷卻裝置主體上設置氣流導流裝置,通過氣流導流裝置將氣流導流至冷卻盤主體上的晶體提拉孔內,有效的避免了揮發物粘附到晶棒及晶體提拉孔上等,由于下導...