本發明涉及傳感器的技術領域，本發明提供一種傳感器的隔離組件，隔離組件適于設在傳感器的殼體的內腔中且與內腔的底壁相連，隔離組件包括鏤空孔和鏤空件，鏤空孔為多個，鏤空件具有在第一方向上相對布置的第一面和第二面，第一面相對第二面鄰近內腔的底壁...

本發明涉及角速度傳感器技術領域，提供一種角速度傳感器，角速度傳感器包括蓋板、殼體、隔離件、角速度檢測件、電子模塊和解調模塊，殼體包括主體和階梯腔，階梯腔包括在第一方向上依次連通的第一腔、第二腔和第三腔，第一腔、第二腔和第三腔的橫截面積依...

本發明涉及檢測垂直方向的陀螺儀技術領域，本發明提供一種檢測垂直方向的陀螺儀，所述檢測垂直方向的陀螺儀包括殼體、角速度敏感檢測件、信號屏蔽組件和信號解調模塊，殼體具有階梯腔，階梯腔包括在第一方向上依次連通的第一子腔、第二子腔和第三子腔，第...

本申請涉及力測量技術領域，提供一種壓力傳感器敏感結構，包括感壓層、振梁層、應力隔離層和基底層。感壓層包括感壓膜，感壓膜設有第一凹腔、第二凹腔和凸臺，第一凹腔設于感壓膜第一側，第二凹腔設于感壓膜第二側，感壓膜第一側和感壓膜第二側相對，凸臺...

本申請涉及力測量技術領域，提供一種壓力傳感器敏感結構及其封裝方法，包括感壓層、振梁層、應力隔離層和基底層，感壓層包括感壓膜；振梁層包括振梁基體和振梁結構，振梁基體連接于感壓膜，振梁結構連接于振梁基體；應力隔離層包括應力隔離環結構，應力隔...

本申請涉及力測量技術領域，提供一種壓力傳感器敏感結構及其封裝方法，壓力傳感器敏感結構包括感壓層、振梁層和基底層，感壓層包括感壓膜，感壓膜設有第一凹腔和凸臺，凸臺設于第一凹腔之中，第一凹腔和凸臺形成應力隔離槽結構；振梁層包括振梁基體和多個...

本發明提供一種檢測電路，該電路包括：功能選擇模塊和檢測模塊，其中：所述功能選擇摸塊與所述檢測模塊連接；所述功能選擇模塊，用于基于用戶的選擇指令，生成所述檢測模塊的功能指令，所述功能指令包括：檢測加速度的功能指令或者檢測固有頻率參數的功能...

本發明提供一種加速度計電路，該加速度計電路包括：主控芯片、表芯結構和運放電路，其中：主控芯片與表芯結構連接，表芯結構與運放電路連接；運放電路與主控芯片連接；主控芯片，用于生成互補的兩路脈寬調制方波信號，向表芯結構發送兩路脈寬調制方波信號...

本發明提供一種三維電感制作方法和濾波器，涉及電感制造領域。該方法包括：在襯底的目標平面上制作多個第一平面電極，其中，多個第一平面電極依次間隔排列且互不連通；對每個第一平面電極，將靠近襯底上邊緣的端部作為第一鍵合點，從靠近襯底下邊緣的端部...

本發明提供一種IPD電容制作方法和濾波器，涉及硅基器件制造領域。該方法包括：提供襯底；在所述襯底上開設第一孔和第二孔，所述第一孔和所述第二孔的間距等于目標電容所需介質層的長度；在所述第一孔和所述第二孔覆蓋金屬形成第一金屬孔和第二金屬孔；...

本發明提供一種基于GaN單片集成的二倍頻器、驅動源，其中二倍頻器包括肖特基二極管、匹配電路以及電路基板；肖特基二極管與匹配電路采用單片集成于電路基板上；匹配電路是基于三角形漸變結構和二項式匹配結構的微帶線得到的，三角形漸變結構包括首端和...

本發明提供一種石英晶體振蕩器G靈敏度測試方法、系統及虛擬裝置，所述方法包括：獲取待測石英晶體振蕩器在不施加外部振動情況下的靜態相噪，以及獲取所述待測石英晶體振蕩器在施加具有預設振動方向的外部振動情況下的動態相噪；對所述靜態相噪進行解析，...

本發明提供一種用于高黏度粘接膠涂覆矩形結構的蘸膠頭和粘片機，涉及裝配制造技術領域。其中所述蘸膠頭包括：蘸膠頭基體及凸出于蘸膠頭基體的蘸膠部；蘸膠部包括主黏膠部和輔助蘸膠部；主黏膠部設置于蘸膠頭基體底部的中心區域，輔助蘸膠部包括分別設置于...

本發明提供一種用于測試石英音叉的參數的方法，該方法包括：對石英音叉施加激勵信號；在石英音叉的驅動端檢測基于激勵信號產生的驅動位移信號，利用兩路驅動解調信號分別對驅動位移信號進行同相解調和正交解調，得到驅動端同相信號和驅動端正交信號；在石...

本發明涉及傳感器技術領域，提供一種諧振壓力傳感器及其制造方法，諧振壓力傳感器包括：封帽層、感壓層和諧振音叉組件，所述感壓層用于感應輸入力的變化，所述感壓層連接所述封帽層，所述封帽層和所述感壓層之間形成有真空腔室，所述感壓層設置有至少兩個...

本發明涉及傳感器技術領域，提供一種諧振壓力傳感器及其制造方法，諧振壓力傳感器包括：封帽層、感壓層和諧振音叉組件，感壓層用于感應輸入力的變化，感壓層連接封帽層，封帽層和感壓層之間形成有真空腔室，感壓層設置有至少兩個凸臺和至少兩個第一凹槽，...

本發明提供一種硅陀螺校正方法及裝置，所述方法包括：生成兩路脈寬調制波；所述兩路脈寬調制波用于使硅陀螺表芯中的正交耦合對消梳齒，在y軸方向上產生用于抵消驅動模態和檢測模態間的耦合剛度的校正力；將所述兩路脈寬調制波分別施加到所述正交耦合對消...

本發明涉及電子器件制備技術領域，提供了一種改善蒸發鍍膜的臺階覆蓋的方法，包括以下步驟：提供一立體結構的基材，基材包括相鄰異面上的正向鍍膜面和側向鍍膜面，基材上還設有間隔物，間隔物與側向鍍膜面之間形成有縫隙；對基材進行蒸發鍍膜，蒸鍍粒子的...

本發明提供一種基于硅微機械陀螺儀的驅動方法及裝置，涉及陀螺儀技術領域，所述方法包括：生成兩路驅動信號；兩路驅動信號為頻率相等、電壓幅值相等以及相位相差90°的無直流偏置的交流電壓；頻率為諧振頻率的一半；將兩路驅動信號分別施加于硅微機械陀...

本發明提供一種石英腐蝕液配比控制方法、裝置、電子設備及存儲介質，應用于石英結構組件，所述方法包括：獲取所述石英結構組件的組件結構信息，其中，所述石英結構組件設置在待刻蝕石英產品的上表面；基于所述組件結構信息，對腐蝕所述待刻蝕石英產品的石...