本技術提供了一種兼容晶圓貼片環的晶圓手指，安裝部，以及設置在所述安裝部前端的吸附部，所述吸附部表面設有至少一個晶圓吸附孔，所述吸附部的兩側均向外延伸出一個貼片環支撐板，所述貼片環支撐板表面設有至少一個貼片環吸附孔；所述吸附部遠離所述安裝...

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種提供氮氣保護環境的晶圓盒裝載裝置及其使用方法，該晶圓盒裝載裝置由背板、電氣控制模塊、驅動模塊、開蓋模塊、氮氣保護腔室、定位組件、開鎖組件、壓蓋組件、密封圈和密封包體組成。本申請通過設置氮氣保護腔室，...

本技術涉及一種機械手指吸盤和機械手指，屬于半導體制造技術領域；本技術機械手指吸盤包括吸盤下本體、吸盤上本體和空心螺釘，吸盤上本體為盤部和柱體部，吸盤下本體和吸盤上本體中心處具有通孔，將空心螺釘旋入通孔使吸盤上本體固定至吸盤下本體上；吸盤...

本技術公開了一種半導體行業抓取石墨盤的鋁合金手指，包括石墨盤抓取模塊，所述石墨盤抓取模塊包括支撐板以及支撐板一端伸出的兩組手指，一組所述手指的內部開設有激光器孔且激光器孔的內部容置有激光器，另一組所述手指的內部開設有接收器孔且接收器孔的...

本發明提供了一種電機驅動的石墨圓盤定位裝置及其控制方法，包括箱體、定位機構、夾持機構以及控制模塊；所述定位機構包括第一平移組件，運動傳遞組件以及第二平移組件；所述第一平移組件能夠沿著所述箱體底面中軸線做往復直線運動；所述第二平移組件對稱...

本技術涉及一種應用于Load?port載臺的晶舟放置裝置，包括放置板；所述放置板頂面設有與所述晶舟底部卡角數量與位置均適配的第一限位塊；所述放置板頂面還設有與所述Load?port載臺的在位檢測傳感器數量與位置均適配的下壓裝置，用于放置...

本技術涉及半導體制造技術領域，尤其是涉及一種FOUP盒鎖緊機構及FOUP定位板。FOUP盒鎖緊機構設置在FOUP定位板上；FOUP盒鎖緊機構包括為位置檢測裝置、開關盒氣缸、連桿組件和夾爪；所述位置檢測裝置的觸發端位于FOUP定位板的上側...

本發明涉及手指氣壓檢測技術領域，尤其涉及一種多功能手指氣壓檢具；包括底板，所述底板上放置有待檢測手指，所述待檢測手指的寬度方向上設有水平調節結構，所述待檢測手指的長度方向上設有豎直調節結構，所述底板上對應待檢測手指氣孔的位置開設有至少一...

本技術涉及一種應用于Load?port載臺的8英寸晶舟放置裝置，包括放置板；放置板頂面設有第一限位塊、第二限位塊，晶舟被限位在第一限位塊、第二限位塊間；第二限位塊前方的放置板頂面設有護罩磁吸；護罩磁吸和第二限位塊間的放置板頂面設有護罩開...

本技術提供了一種半導體晶圓非接觸式分離轉移裝置，包括升降機構、分離機構和托盤支撐機構，所述分離機構固定在所述升降機構上，所述托盤支撐機構包括晶圓托盤，所述分離機構設有用于吸附晶圓的吸附機構和限位機構。本技術通過吸附機構不接觸的特性，通過...

本發明提供一種基于晶圓末端執行器的晶圓校準方法及裝置，涉及半導體技術領域，方法包括：獲取至少兩個觸發位置信息；其中，觸發位置信息是基于晶圓末端執行器抓取晶圓觸發晶圓末端執行器端部的傳感器得到的位置信息；基于至少兩個觸發位置信息，對晶圓進...

本發明涉及半導體生產設備技術領域，提供一種密封鋼帶防偏位機構以及直線模組。密封鋼帶防偏位機構包括至少兩個滾動接觸組件，至少兩個滾動接觸組件分置于密封鋼帶兩側，滾動接觸組件固定設置于相應側的安裝部，并適于與密封鋼帶的相應側滾動接觸。本發明...

本技術涉及一種晶圓ID視覺識別裝置，包括視覺相機，用于識別晶圓ID；還包括底座；所述底座滑動設置有支撐桿及固定設置有驅動裝置；所述驅動裝置與所述支撐桿連接，驅動所述支撐桿左、右移動；所述支撐桿通過連接座和所述視覺相機連接。本技術具有結構...

本發明涉及半導體生產設備技術領域，提供一種傳片機械手。傳片機械手包括執行末端、旋轉驅動機構、升降機構和平移驅動機構；執行末端用于獲取及釋放產品；旋轉驅動機構連接所述執行末端，用于驅動所述執行末端水平旋轉；升降機構包括升降座和升降驅動結構...

本技術提供了一種用于SMIF?Port的到位傳感器安裝結構，涉及集成電路制造設備技術領域，解決了現有技術中存在的SMIF?Port沒有設置到位傳感器，存在晶圓損壞的風險的技術問題。該用于SMIF?Port的到位傳感器安裝結構包括SMIF...

本發明提供了一種晶圓傳輸機械手及晶圓傳輸方法，其中晶圓傳輸機械手包括機械手本體、ARM橫梁、上手臂和下手臂，機械手本體包括本體底座、Z軸中段和Z軸上段，Z軸上段與Z軸中段之間可伸縮連接，Z軸中段與本體底座之間可伸縮連接；Z軸上段與ARM...

本發明涉及料盒領域，提供一種自動導正的方片料盒。自動導正的方片料盒包括料盒組件，料盒組件包括料盒本體，料盒本體中設置有沿著料盒本體的高度方向排布且沿著料盒本體的寬度方向延伸的支撐塊，支撐塊用于支撐方片，在料盒本體的底部設置有至少三個腰型...

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種半導體玻璃方片歸正裝置，包括支撐組件和定位組件，支撐組件適于承托玻璃方片，定位組件包括驅動器、連接板和定位塊，定位塊設置于支撐組件的上方，驅動器設置于支撐組件的下方，兩個定位塊適于沿玻璃方片的對角線...

本發明涉及同步帶領域，提供一種雙同步帶張緊調節裝置及雙同步帶傳動系統。雙同步帶張緊調節裝置包括底座；基板，連接于所述底座，所述基板上可活動地設置有壓板組件，所述壓板組件之間形成有可供雙同步帶穿過的過孔；水平調節件，可活動地連接于所述底座...

本發明公開了一種防水型晶圓搬運機械手，包括機械手，所述機械手包括機械臂、防水增高筒、翻轉機構和晶圓夾持手，所述機械臂、防水增高筒、翻轉機構和晶圓夾持手配合運動并供晶圓夾持搬運；防水部，所述防水部包括死防水分部和活防水分部；以及預警部，所...