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丁愛琴專利技術

丁愛琴共有1項專利

一種使用耐高溫密封新材料的邏輯器件側墻蝕刻機臺制造技術

本發明具體涉及一種使用耐高溫密封新材料的邏輯器件側墻蝕刻機臺，其主要部件包括：蝕刻腔體，射頻發生裝置，電極與高壓單元，氦氣冷卻系統，溫度控制系統，磁場控制系統，氣體裝置，真空系統，傳送系統，以及電源和控制柜；所述的蝕刻腔體包括上、下腔體...

最后更新日期：2018-09-12 03:24 訪問量：33

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