本技術公開了一種精密陶瓷表面粗糙多角度檢測設備，包括干涉儀主體及其上設置有的干涉顯微鏡和載物臺，所述的載物臺置于干涉儀主體上設置有的固定座頂部，所述的固定座頂部載物臺外圍環繞設置有活動架，所述的活動架包括第一活動架和第二活動架，所述的第...

本技術公開了一種半導體石英環加工裝置，包括裝置框架、框上底座以及座上操作箱體，所述框上底座安裝在所述裝置框架上，所述座上操作箱體安裝在所述框上底座上，所述座上操作箱體上安裝有加工強力除塵結構，所述裝置框架上安裝有組合抬升驅動組件；本技術...

本技術屬于陶瓷清洗技術領域，尤其為一種精密陶瓷高效清洗裝置，包括：皮帶傳輸機，兩個所述皮帶傳輸機相對稱分布，用于輸送陶瓷片；清洗組件，所述清洗組件位于兩個所述皮帶傳輸機之間，陶瓷片在轉移過程中通過所述清洗組件實現清洗；供水機構，用于向所...

本技術公開了一種石英玻璃多自由度鉆孔機，該鉆孔機包括鉆孔部件，所述的鉆孔部件通過多自由度機械臂連接有升降部件；所述的鉆孔部件包括鉆頭，所述的鉆頭轉動連接有第一驅動部，所述的鉆孔部件可拆卸連接有吸塵罩，所述的吸塵罩側部設置有吸塵接頭，所述...

本技術公開了一種半導體加熱器漏氣檢測設備，包括漏氣檢測儀、移動座以及固定架，所述的漏氣檢測儀固定在移動座上并設置有報警器，所述的移動座滑動設置在固定架上并通過固定架上設置有的第一驅動組件驅使滑動是一種新型的半導體加熱器漏氣檢測設備，本技...

本技術公開了一種半導體加熱器多角度吹掃裝置，包括吹掃箱，所述的吹掃箱內設置有清潔組件并通過第一驅動組件驅使呈橫向滑動，所述的吹掃箱頂部固定有第二驅動組件驅使第一驅動組件呈縱向滑動，所述的吹掃箱底部設置有清潔臺并通過其側壁上設置有的第三驅...

本發明涉及半導體領域，具體為一種半導體CVD工藝熱控制方法及其陶瓷加熱器，基于晶圓的表面初始溫度數據與期望表面溫度數據，確定預加熱操作的操作參數；并構建預加熱操作過程中陶瓷加熱部件與晶圓之間的熱傳輸模型，調整預加熱操作的施加狀態；基于C...

本技術公開了一種半導體加熱器維修用釬焊裝置，包括焊接頭，所述的焊接頭內設置有內芯并通過彈簧在其焊接頭內呈上下滑動，所述的焊接頭上開設有熔料腔，底部設置有開口且開口內設置有擋塊，所述的內芯側壁上設置有適配擋塊的滑槽，所述的內芯底部和側壁與...

本技術公開了一種石英玻璃快速裁切裝置，該裝置包括機架和裁切部件，機架上放置有多組吸附盤，吸附盤通過負壓管件連接有負壓裝置，機架上安裝有三軸移動導軌，三軸移動導軌安裝適配有裁切部件，裁切部件采用激光發生器。該裝置還采用了襯墊、冷卻噴嘴等冷...

本技術公開了一種石英玻璃透光率檢測裝置，包括固定座，所述的固定座兩端設置有夾持部件，所述的夾持部件卡接透光率儀的光源發射端和接受檢測端，所述的光源發射端和接受檢測端通過線束與透光率儀電連接，所述的固定座靠近光源發射端處可拆卸連接有第一支...

本技術公開了一種半導體陶瓷加熱器，包括半導體陶瓷片、散熱片和溫度傳感器，所述的散熱片設置在半導體陶瓷片兩側，所述的溫度傳感器設置在散熱片外側殼體上，穿設散熱片內部與半導體陶瓷片接觸是一種新型的半導體陶瓷加熱器，本技術中所述的半導體陶瓷片...

本技術公開了一種精密陶瓷拋光用設備，包括框架，所述的框架內部轉動設置有驅動組件，所述的驅動組件上通過可拆卸結構設置有拋光組件，所述的拋光組件上方框架上設置有固定組件，所述的框架一側還滑動設置有夾持組件是一種新型的精密陶瓷拋光用設備。