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    化合積電廈門半導(dǎo)體科技有限公司專利技術(shù)

    化合積電廈門半導(dǎo)體科技有限公司共有52項(xiàng)專利

    • 本技術(shù)提供了一種高導(dǎo)熱金剛石IGBT散熱結(jié)構(gòu),包括金剛石層和IGBT層,金剛石層一表面設(shè)有銅層,IGBT層至少一面設(shè)有覆有銅層的金剛石層,IGBT層與部分銅層貼合連接。本申請利用金剛石優(yōu)異的導(dǎo)熱率、絕緣性、化學(xué)惰性,設(shè)計(jì)出新型IGBT的...
    • 本技術(shù)公開了一種具有散熱和檢測功能的金剛石基體及金剛石設(shè)備。該金剛石基體包括層疊設(shè)置的多個金剛石片,相鄰兩個金剛石片固定結(jié)合,多個金剛石片包括相鄰設(shè)置的第一金剛石片與第二金剛石片以及相鄰設(shè)置的第三金剛石片與第四金剛石片,第一金剛石片與第...
    • 本技術(shù)公開了一種用于制備單晶金剛石傾斜面的銅夾咀;包括固定部、中間部、安裝口;所述固定部與中間部固定連接;所述安裝口置于中間部的端面上;所述安裝口用于放置單晶金剛石;所述安裝口在端面上凹陷設(shè)置,并且所述安裝口的凹陷底面呈傾斜設(shè)計(jì);包括固...
    • 本發(fā)明公開了一種金剛石/單晶硅復(fù)合立體基板、其制備方法與應(yīng)用。所述金剛石/單晶硅復(fù)合立體基板包括單晶硅基底和設(shè)置在單晶硅基底上的金剛石層,所述金剛石層遠(yuǎn)離所述單晶硅基底的一側(cè)表面上形成有微納結(jié)構(gòu),所述微納結(jié)構(gòu)包括間隔分布的多個凸起部。本...
    • 本發(fā)明公開了一種金剛石/硅復(fù)合襯底及其制法、金剛石基硅芯片的制造方法。金剛石/硅復(fù)合襯底的制備方法包括:在硅片的第一表面生長形成碳化物層,碳化物層包括多個間隔排布的碳化物微結(jié)構(gòu);對碳化物層進(jìn)行表面改性處理,以將碳化物層的表面官能團(tuán)轉(zhuǎn)化為...
    • 本發(fā)明提供了一種具有散熱結(jié)構(gòu)的碟片激光器的制備方法,包括:對硅片進(jìn)行清洗,清洗后放入金剛石微粉溶液中進(jìn)行超聲、烘干后得到預(yù)處理的硅片;在預(yù)處理的硅片表面生長多晶金剛石;腐蝕掉硅襯底,得到多晶金剛石;對多晶金剛石依次進(jìn)行研磨與拋光處理后;...
    • 本技術(shù)提供了一種MPCVD設(shè)備的測溫傳感器支架,包括固定座、導(dǎo)軌、滑塊、安裝架、測角儀和傳感器,固定座為圓環(huán)型,導(dǎo)軌徑向固定于固定座的圓環(huán)上,滑塊設(shè)于安裝架下端與導(dǎo)軌連接,測角儀豎直安裝于安裝架內(nèi)側(cè),傳感器豎直設(shè)于測角儀上。該安裝架整體...
    • 本技術(shù)提供了一種基于金剛石散熱的光通訊結(jié)構(gòu),其金剛石基板設(shè)于銅鎢底座上表面或側(cè)面,至少金剛石基板上下表面設(shè)有金屬化層,光芯片設(shè)于金剛石基板上,光芯片與金剛石基板和金剛石基板與銅鎢底座之間設(shè)有焊料層,銅鎢底座底面設(shè)于TEC制冷器上。該光通...
    • 本發(fā)明提供了一種GaN芯片的封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法,其中,一種GaN芯片的封裝結(jié)構(gòu)包括:GaN芯片;電極,所述電極設(shè)置在GaN芯片上端面;第一DBC散熱結(jié)構(gòu),所述第一DBC散熱結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述電極上端面;金剛石微通道,所述金剛石微通道設(shè)置在...
    • 本發(fā)明提供了一種復(fù)合金剛石光學(xué)窗口材料的制備方法,包括:將硅片進(jìn)行清洗,將清洗后放入金剛石微粉溶液中進(jìn)行超聲處理,超聲后取出烘干;采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備在附著金剛石微粉的硅片表面生長多晶金剛石,生長后在多晶金剛石正中間放上金屬...
    • 本發(fā)明公開了一種金剛石?陶瓷復(fù)合基板的制備方法,屬于復(fù)合材料技術(shù)領(lǐng)域,本發(fā)明包括如下步驟:S1、襯底預(yù)處理;S2、通過MPCVD裝置生長金剛石;本發(fā)明通過在陶瓷基板上利用MPCVD的方式在表面生長一層20?200微米厚的多晶金剛石薄膜,...
    • 本申請?zhí)峁┝艘环N采用燒結(jié)方式在金剛石上覆銅的方法,包括以下步驟:準(zhǔn)備高熱導(dǎo)率的多晶金剛石熱沉片和銅粉;2)將熱沉片進(jìn)行磁控濺射得到鍍薄銅沉片;將熱沉片置于模具內(nèi),倒入銅粉,震平,施加壓力,得到覆銅金剛石的預(yù)制件;連同模具放入保護(hù)氣氛燒結(jié)...
    • 本發(fā)明提供了一種在碳化硅表面鍍膜的方法,包括:吸附納米金剛石步驟:對碳化硅基材表面進(jìn)行清洗,清洗后吹干碳化硅基材表面,得到清潔干凈的樣品;將樣品放入等離子清潔機(jī)中,使樣品表面附帶上靜電,附帶上靜電后將其浸泡于納米金剛石溶液中,使其表面電...
    • 本申請?zhí)峁┝艘环N用于集成電路的金剛石散熱基板,包括金剛石層,以及依次鍍射于金剛石層上的種子層和金屬化層,所述種子層為能與C元素形成碳化物的金屬。其通過利用MPCVD在硅襯底上生長多晶金剛石薄膜;再將金剛石片采用熱蒸鍍或PVD對其鍍射種子...
    • 本發(fā)明屬于材料科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種覆銅金剛石熱沉片的制備方法,包括:在金剛石熱沉片的每一面分別依次濺射氮化鋁膜層、純金屬鈦層和銅層,制得預(yù)制件;將預(yù)制件放入真空退火爐內(nèi)退火,得到退火后的預(yù)制件,將退火后的預(yù)制件進(jìn)行電鍍覆銅,制得覆...
    • 本發(fā)明屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種壓力傳感器芯片及其制備方法,包括:彈性膜;四個壓敏電阻,四個所述壓敏電阻設(shè)置在所述彈性膜上;以及電極,四個所述壓敏電阻和所述電極形成惠斯通電橋結(jié)構(gòu)。金剛石具有超寬禁帶寬度、超高電子遷移率、高硬度和超...
    • 本發(fā)明公開了一種基于靜電自組裝法的金剛石薄膜沉積方法,包括以下步驟:提供基板,對基板進(jìn)行清洗和干燥,將干燥后的基板進(jìn)行預(yù)處理,使預(yù)處理后的基板帶有電荷,預(yù)處理的方式包括加熱處理或者浸漬處理;提供金剛石微粒,對金剛石微粒進(jìn)行預(yù)處理,使預(yù)處...
    • 本發(fā)明屬于材料科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種生長凸面金剛石的鉬臺與生長方法,一方面,一種生長凸面金剛石的鉬臺,包括:碗狀殼體;至少四層圓環(huán);以及凹槽,所述凹槽設(shè)置在碗狀殼體內(nèi)側(cè)的底部。另一方面,一種生長凸面金剛石的生長方法,包括:將襯底材料...
    • 本申請涉及一種金剛石膜片制備方法及金剛石膜片,其包括S1:提供基板;S2:對基板進(jìn)行清潔,具體為利用等離子體對基板材料表面進(jìn)行轟擊蝕刻清潔;S3:在基板上生長金剛石膜片;S4:將金剛石膜片與基板分離,其中,金剛石膜片與基板的熱膨脹系數(shù)不...
    • 本發(fā)明公開了一種氮化鎵激光器及其加工工藝,包括基座
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