本發明提供一種干式清洗裝置及干式清洗方法，適于清洗半導體制程容器的容器部件，以及適于以二氧化碳雪花清洗容器部件。干式清洗裝置可先檢驗清洗前后的容器部件，依照預定的清洗工作集，以二氧化碳雪花清洗容器部件，直至容器部件完成清洗后，再將容器部...

本發明提供一種提供有吸收下壓力的光罩支撐件的光罩盒，包含：具有吸收下壓力的至少一光罩支撐件，該光罩支撐件具有一彈性手段；其中，當該光罩支撐件承受的一下壓力小于或等于一臨界值時，該光罩支撐件的一高度維持在一預定高度；其中，當該光罩支撐件承...

本發明提供一種具有導位機構的雙層盒，包括一內盒及一外盒。該內盒的相對外側具有至少一嚙合部。該外盒界定用于容置該內盒的一收容空間，該外盒的相對內側設有至少一導位機構，該導位機構受導引而限位于該嚙合部，使該內盒在該外盒內受到偏移限制。本發明...

本發明提供一種上開式基板容器的固持裝置，包含固持組件用以推抵基板活動件作動，基板活動件設置于基板的外側部。固持組件包括固持本體及推抵活動件，推抵活動件包括：第一導引斜面，用以抵持容器門體的內表面的第二導引斜面，第一導引斜面依據容器門體的...

本發明提供一種基板容器保護裝置，適用于一基板容器。所述基板容器保護裝置包含容器門體及限制器用于抵持固定基板，以及支撐件及彈性連接件用于與容器本體相勾合固定，以及防靜電元件的彈性干涉以提供一靜電消散路徑，作為基板的靜電防護。本發明的基板容...

本發明提供一種具有擴散管安裝結構的基板載具，包括：一殼體，界定一晶圓存放空間；及至少一安裝結構，一體成型于該殼體的一內壁，用于固持至少一擴散管，使至少一該擴散管設置于一機械手臂前端的操作范圍之外。本發明的基板載具簡化了基板載具安裝擴散管...

本發明提供一種具備背面靜電消除的光罩盒，具有一內盒的容置空間用以容置一光罩。多個彈性導位元件分別對應配置于內盒的外側安裝部，將內盒的內蓋與內基座進行導位而不相對位移。多個導電固持元件對應配置于容置空間中，多個導電固持元件用以抵持光罩的一...

本發明提供一種具有栓鎖穩定機構的門及基板載具，所述門適用于一基板載具，門包含一底板、一封蓋及一限位結構。該底板與該封蓋相互配合形成一收容空間，以收容多個栓鎖結構，每一個栓鎖結構配置成在一解鎖位置與一鎖定位置之間移動。限位結構介于該栓鎖結...

本發明公開了一種支撐中柱檢測系統及支撐中柱檢測方法，用于檢測一基板載具的至少一支撐中柱，支撐中柱檢測系統包括：推移件、動力模塊以及偏移傳感器。推移件用于施加預設的推力至支撐中柱。動力模塊用以帶動推移件朝支撐中柱移動，使推移件施加推力于支...

本發明提供一種用于測量具有開口端且內設至少氣體流通管的晶圓載具測量裝置，其具有承載界面用以固定晶圓載具。該晶圓載具的開口端面向晶圓載具測量裝置的檢測空間。該承載界面具有供氣組件，其連接晶圓載具的底盤，由此該承載界面供應氣體至晶圓載具的一...

本發明揭示了一種非矩形光罩的容器及光罩儲存盒，非矩形光罩的容器適用于容納一橢圓形光罩，非矩形光罩的容器包括：一蓋及一基座，蓋包括一內側表面和自內側表面向下延伸的一分隔壁，內側表面和分隔壁界定出一橢圓形空間；多個光罩保持器，部分延伸至橢圓...

本發明公開一種光罩裝載系統及光罩載入方法和光罩卸除方法，包含：一第一接口；一第二接口；一第一升降設備，配置成使該光罩傳送盒能于一頂部位置和一底部位置之間升降，當該光罩傳送盒抵達該底部位置時，該光罩傳送盒的一容置空間被開啟而暴露于該裝載環...

本發明公開一種光罩儲柜系統及光罩載入方法和光罩卸除方法，該系統包含：一儲放柜，包含多個存放架，每一個存放架用于承載一專用光罩儲存盒；及一機械手臂，配置成與該儲放柜配合以搬運所述專用光罩儲存盒；其中，所述專用光罩儲存盒用于該儲放柜中的儲藏...

本發明提出一種鎖附導正結構，適用于半導體載具門。該鎖附導正結構包括上閂鎖部、下閂鎖部、至少一彈性組件以及一驅動組件。上閂鎖部的第一導正部與下閂鎖部的第二導正部為匹配設置，并界定出用以容置彈性組件的容置空間。驅動組件用以同步驅動第一導正部...

本發明涉及一種具強化結構的載板傳送盒，包含：容器本體、兩個夾取部及至少兩個強化結構，容器本體具有頂板、底板、連接頂板及底板的多數個側板及側開口，頂板、底板及側板夾合形成容置空間，兩個夾取部分別設置于容器本體的相對兩側，至少兩個強化結構分...

本發明公開了一種探針卡的定位環及保護盒，保護盒包括定位環、盒體、上蓋及開關件，定位環有快拆件，盒體設有對應快拆件配置的配置槽，用來與快拆件對接，以將定位環可拆卸地扣合于盒體內，定位環包括斜槽，探針卡上連接有保護蓋，保護蓋包括用以卡扣于探...

本發明公開了一種基板容器，包括一殼體及一覆蓋元件。殼體內界定一容置空間并具有一底部，至少一抽氣孔形成于該底部，該抽氣孔靠近該殼體的一開口；覆蓋元件連接至該殼體的底部，并與該殼體的底部界定出一負壓氣室，該負壓氣室界位于該至少一抽氣孔的上方...

本發明公開了一種支撐結構及檢測設備與檢測設備的校正治具，支撐結構的龍骨上等間隔設有支持部，支持部間界定有容置槽用于容置支撐件，支持部設有第一限位部，支撐件上對應設有第二限位部，平行鍵設置于第一與第二限位部間，用于限制支撐件的相對位移，檢...

本發明公開了一種氣閥蓋和應用氣閥蓋的基板載具，基板載具包括殼體與配置于殼體的底部的基座，底部可容置氣閥，基座設置有氣體開口，氣閥蓋包括：氣閥蓋本體及多個彈性扣臂，氣閥蓋本體設置于基座上，彈性扣臂設置于氣閥蓋本體上，彈性扣臂位于氣體開口處...

本發明提供一種上開式載板載具，包含：容器本體、門構件及至少一個閂鎖機構。閂鎖機構包括旋轉驅動件、第一從動凸輪、第二從動凸輪、第一連接桿、第二連接桿、兩個縱向閂鎖臂及兩個橫向閂鎖臂。第一從動凸輪及第二從動凸輪設置于旋轉驅動件的兩側，旋轉驅...