本技術提供了一種電感耦合等離子體質譜儀的搖片裝置，包括圍壁部和底座部，所述底座部包括用以放置碳化硅晶片的支撐部分和環繞所述支撐部分設置的邊緣部分；所述圍壁部環繞連接于所述邊緣部分的外側，并沿軸向延伸；所述圍壁部的內圈側壁設置有若干沿徑向...

本申請公開了一種表面色差檢測方法、裝置、電子設備和存儲介質，該方法和裝置應用于電子設備，用于對碳化硅晶片的表面色差進行檢測。該表面色差檢測方法具體為采集碳化硅晶片經光源照射的透射光，得到碳化硅晶片的全局形貌數據；基于預設背景灰度值和灰度...

本技術公開了一種清洗設備，包括：水箱，用于承裝稀釋液；清洗原料儲存倉，用于承裝清洗原料；供液倉，所述供液倉具有能夠將所述稀釋液及所述清洗原料混合形成清洗液的混合腔，所述混合腔具有能夠與所述水箱的輸出端及所述清洗原料儲存倉的輸出端連接的進...

本申請涉及碳化硅晶片轉移技術領域，公開了一種碳化硅晶片轉移裝置，包括第一平臺、第二平臺、升降導向組件、鎖緊組件；升降導向組件設置在第一平臺一側，第二平臺滑動設置在升降導向組件上，鎖緊組件與第二平臺連接且用于將第二平臺鎖緊在升降導向組件上...

本申請公開了一種碳化硅拋光片崩邊的檢測方法及相關產品，可應用于半導體技術領域，該方法包括：將待檢測拋光片的第一平面朝上放置在載物臺上；基于光源對所述第一平面進行圖像采集，得到第一待測圖像；基于崩邊檢測模型，將所述第一待測圖像與崩邊數據庫...

本申請提供了一種碳化硅晶體切割線斷裂檢測系統、方法及介質，涉及碳化硅襯底多線切割技術領域。該系統包括斷線報警器和阻抗檢測桿，斷線報警器用于，若通過阻抗檢測桿檢測到，阻抗檢測桿對目標參考點的阻抗值小于預設阻抗閾值時，觸發報警指示。本申請的...

本申請公開一種碳化硅單晶體缺陷的檢測方法和系統，系統包括表面缺陷檢測模塊，自動切換模塊，內部缺陷檢測模塊和中控模塊；表面缺陷檢測模塊用于獲得碳化硅單晶體的表面圖像，并根據表面圖像獲得碳化硅單晶體的表面缺陷檢測結果；自動切換模塊用于在獲得...

本技術提供了一種碳化硅原料粉塵剝離裝置，在需要對碳化硅原料進行除粉塵時，先將碳化硅原料放入第二箱體，然后通過晃動機構帶動第二箱體晃動，使團簇的碳化硅原料變為單個碳化硅顆粒，最后通過晃動機構帶動第二箱體移動至輸送機構的進料端上方進行卸料，...

本發明涉及碳化硅晶片加工領域，具體是再造金剛石研磨液和廢棄金剛石研磨液的回收再利用方法及應用該方法的裝置。本發明提供的再造金剛石研磨液，其包括添加劑和廢棄金剛石研磨液；所述添加劑選自分散劑或者潤滑劑中的一種或多種；所述添加劑的臨界膠束濃...

本發明提供了一種碳化硅襯底的槽式清洗方法，包括如下步驟：A）依次將碳化硅襯底采用SPM?O3清洗、HF清洗、SC1清洗、SC2清洗；所述SPM?O3包括硫酸、雙氧水和臭氧；B）將上述清洗完畢的碳化硅襯底進行干燥，即得。本發明通過對清洗和...

本發明公開了一種SiC籽晶粘結加熱固定裝置，包括石墨盤、石墨底托、壓坨和壓塊，石墨底托放置于所述石墨盤上，所述石墨底托遠離所述石墨盤的面上設置有用于放置石墨紙的放置腔；壓坨放置于所述放置腔內，所述壓坨的側面與所述放置腔的腔壁對應設置；壓...

本發明提供了一種碳化硅晶片的清洗方法，包括以下步驟：將待清洗的碳化硅晶片在清洗液中浸泡，得到清洗后的碳化硅晶片；所述清洗液包括非質子極性溶劑與水。與現有技術相比，本發明在濕法清洗工藝前將碳化硅晶片在包括非質子極性溶劑與水的清洗液中進行浸...

本申請公開了一種外延生長系統，所述生長系統包括：供氣控制子系統，用于輸入多種不同氣體，輸出

本實用新型公開了一種摻V碳化硅降低包裹物的石墨件，包括：晶體邊緣石墨件；所述晶體邊緣石墨件的側壁內設有第一槽，所述第一槽的槽口位于所述晶體邊緣石墨件的側壁的底部。本方案在晶體邊緣石墨件的側壁內設有第一槽；由于相同條件下，氣體熱導率小于固...

本實用新型公開了一種碳化硅晶片清洗卡塞裝置，包括：清洗卡塞底座、卡塞支撐橫梁、卡塞前連接件和卡塞后連接件；所述卡塞支撐橫梁用于支撐晶片，所述清洗卡塞底座和若干根所述卡塞支撐橫梁分別連接于所述卡塞前連接件和卡塞后連接件之間，所述清洗卡塞底...

本實用新型公開了一種保證碳化硅生長溫場穩定性的保溫筒，包括：筒體和筒蓋；所述筒體包括：第一導熱環、發熱筒和卷筒固態石墨氈；所述第一石墨環設置于所述發熱筒的頂部，所述卷筒固態石墨氈包裹所述小導熱環和所述發熱筒；所述筒蓋扣合于所述第一石墨環...

本實用新型公開了一種摻V碳化硅增強氣體流入均勻性的裝置，包括：氣盤、第一通氣桿和第二通氣桿；所述第一通氣桿的一端用于連接反應腔室底部的進氣孔，另一端連接于所述氣盤的側面，所述氣盤的頂面與所述第二通氣桿的底端連接，所述第二通氣桿的頂端位于...

本實用新型公開了一種碳化硅籽晶的粘接模具，包括：模具本體和石墨底托；所述模具本體安裝于所述石墨底托；所述模具本體的內徑大于籽晶的直徑，所述籽晶偏心粘接在所述石墨底托。本方案的模具本體內徑略大于籽晶直徑，一方面可以確保模具在安裝過程中不會...

本實用新型公開了一種防夾痕的透窗卡塞裝置，包括：盒蓋；所述盒蓋開設有卡槽，且所述卡槽位于所述盒蓋的中央。本方案將傳統卡塞盒蓋兩處夾槽位置更改為主定位邊一處部分，并降低卡槽深度，可有效提升晶圓有效面積，且不會影響產品品質；在不需要重新打開...

本申請公開了一種晶棒的切割方法以及切割裝置，所述切割方法包括：在切割晶棒的過程中，獲取切割線相對于所述晶棒的當前切割位置；基于所述切割位置，控制所述切割線的運行速度與所述切割線和所述晶棒的圓心之間的距離為正相關。在所述方法中，基于所述切...