本文中描述用于選擇晶片上用于特性化整個晶片的后續詳細測量的測量位置的方法及系統。在晶片上的相對大數目個測量位點處執行高通量測量。測量信號經變換到新數學基底且在所述新基底中經縮減為顯著更小維度。基于分析所述高通量測量信號的變化來選擇代表性...

一種電子束裝置包含上柱電子光學器件及下柱電子光學器件。所述上柱電子光學器件包含孔隙陣列以將電子束劃分成多個電子子束。所述上柱電子光學器件還包含具有多個透鏡的透鏡陣列以調整所述多個電子子束的焦點。所述多個透鏡的相應透鏡用以調整所述多個電子...

公開一種用于激光持續等離子體(LSP)光源中的等離子體燈。所述等離子體燈包含：氣體收容結構，其用于收容氣體；氣封，其定位于所述氣體收容結構的基座處；氣體入口；及氣體出口。所述等離子體燈包含：氣體旋流器，其包含經配置以產生渦流氣流的一組噴...

一種設備包含：上部件；下部件，其安置于所述上部件下方；及彈簧，其安置于所述上部件與所述下部件之間。所述上部件具有從其向下延伸的銷。所述下部件具有經配置以接收所述銷的自由端的座部。所述彈簧包圍所述銷，且具有小于所述銷的長度的自由長度。在卸...

一種方法在制造設施中的制造工具的計算機系統處執行。所述方法包含將展示所述制造工具的數據的一系列幀發送到客戶端裝置用于顯示。所述客戶端裝置遠離所述制造設施。所述方法進一步包含從所述客戶端裝置接收與所述客戶端裝置的用戶互動的指示及響應于所述...

根據本公開的一或多個實施例，公開一種圖案化晶片。所述圖案化晶片可包含至少第一材料及至少第二材料，其中所述第一材料可不同于所述第二材料。所述圖案化晶片可進一步包含光致發光材料，其經配置以選擇性地結合到所述第一材料或所述第二材料中的一者以增...

一種多光束系統包含：光源，其經配置以發射光；光纖束，其連接到所述光源；及相機，其經配置以擷取包含對應于連接到所述光源的每一光纖的圖像的圖像集。所述光纖束包含具有連接到所述光源的一端的中心光纖及包圍所述中心光纖的N個光纖層。第一光纖層包含...

提供其包括用以選擇性測量和監控用于鐵系三元金屬和其合金的加工溶液中的鹵化物濃度的方法和設備的技術。方法包括例如基于第一分析方法、例如導電率來監控鹵素離子；且對主要金屬濃度結果進行補償，例如鐵系三元金屬(例如鎳(Ni))濃度的第二分析測量...

本發明公開一種等離子體燈。所述等離子體燈包含氣體收容結構，所述氣體收容結構經配置以收容氣體且在所述氣體收容結構內產生等離子體。所述氣體收容結構由對于來自泵浦激光器的照明及由所述等離子體發射的寬帶輻射透明的玻璃材料形成。所述氣體收容結構包...

可使用正規化互相關改進圖像對準或圖像對設計對準。對準設置圖像與運行時圖像且確定正規化互相關分數。所述圖像的圖像投影可經確定且在垂直x及y方向上對準。所述圖像投影的對準可包含找到投影峰值位置及在所述x及y方向上調整所述投影峰值位置。

一種用于固定襯底的設備包含經配置以可逆地附接到卡盤的基底的可拆卸板。所述卡盤的所述基底包含一或多個基底?襯底真空入口通道及一或多個基底?板入口通道。所述可拆卸板包含一或多個第一真空儲存器及第二真空儲存器。所述可拆卸板經進一步配置以在所述...

一種晶片形狀計量系統包含經配置以對經接合晶片對執行一或多個無應力形狀測量的晶片形狀計量子系統，其中所述經接合晶片對使用接合工具接合。所述晶片形狀計量子系統包含通信地耦合到所述晶片形狀計量子系統的控制器。所述控制器經配置以接收來自所述晶片...

一種系統包含經配置以對接合后晶片對執行一或多個形狀測量的晶片形狀計量子系統。所述系統包含通信地耦合到所述晶片形狀計量子系統的控制器。所述控制器接收一組經測量失真圖案。所述控制器將接合器控制模型應用到所述經測量失真圖案以確定一組覆蓋失真特...

一種電子束裝置包含用于發射電子的冷場發射源及相對于所述冷場發射源正偏置以從所述冷場發射源中提取所述電子的提取器電極。所述提取器電極具有用于所述電子的第一開口。所述電子束裝置還包含具有用于所述電子的第二開口的鏡電極。所述鏡電極能夠配置為在...

非晶層用作用于吸濕性非線性光學晶體的保護涂層。所述非晶層由一或多種堿金屬硼酸鹽及/或堿土金屬硼酸鹽組成。所述非晶層減緩或防止水及/或氧擴散到所述吸濕性非線性光學晶體中，從而簡化處置、存儲及操作環境要求。一或多個額外涂層可放置于所述非晶層...

對于一種電子束系統，維恩濾波器位于轉移透鏡與載物臺之間的電子束的路徑中。所述系統包含：接地電極，其在所述維恩濾波器與所述載物臺之間；電荷控制板，其在所述接地電極與所述載物臺之間；及加速電極，其在所述接地電極與所述電荷控制板之間。所述系統...

本申請涉及在半導體制造中使用隨機故障度量。隨機計算引擎從半導體檢驗工具或半導體檢視工具接收輸入。所述隨機計算引擎從所述輸入確定異常位置及圖案變化且從所述輸入確定隨機故障。與所述隨機計算引擎連接的電子數據存儲單元可包含具有已知隨機行為及已...

一種可調諧激光器組合件使用1μ

公開一種具有反向渦流的激光維持等離子體

多個電子細束從單個電子束中分離