本申請提供了一種張緊裝置以及網帶爐，涉及網帶爐技術領域，解決了網帶抖動的技術問題。張緊裝置包括：固定支架、調節支架、兩個第一軸承座、第一支撐軸、第一固定件、第一連接桿、第一彈性件、第一張緊輥輪、傳動輥輪；其中，網帶從第一張緊輥輪和傳動輥...

本申請提供一種半導體工藝設備的排氣系統及氣路系統，半導體工藝設備的排氣系統包括排氣主路、排氣支路、抽氣組件、控壓閥、第一截止組件、第一連接支路、第二連接支路、壓力檢測組件和控制器。反應腔室、排氣主路和抽氣組件依次連接。第一連接支路、第二...

本發明屬于半導體CVD技術領域，公開了沉積制備裝置及外延膜沉積制備方法，沉積制備裝置包括反應腔體、固定組件、進氣組件以及加熱體組件，反應腔體設置有排氣口，固定組件包括固定件，固定件倒懸于反應腔體內，固定件被配置為放置晶片，以使晶片的沉積...

本申請提供了一種爐裝置，用于對物料進行加工，爐裝置包括爐膛和氣簾組件，爐膛具有進料口和出料口。氣簾組件設置于爐膛的外壁上，氣簾組件包括第一進氣件和第二進氣件，第一進氣件相較于第二進氣件更靠近進料口，爐膛的外壁對應第一進氣件的區域為第一區...

本申請屬于窯爐技術領域，涉及一種爐體密封結構及窯爐，該爐體密封結構包括第一罩和供氣組件，第一罩焊接于爐體，并罩于通孔；供氣組件與所述第一罩相連通；供氣組件被配置為向第一罩內通入與爐體內成分一致的氣體。本申請的爐體密封結構不僅能夠通過第一...

本公開涉及窯爐技術領域，具體涉及一種爐門鎖定裝置和窯爐，解決了由于常規窯爐無二道鎖定結構，一旦爐門誤開啟，爐內高溫氣體泄漏容易對操作工人造成傷害，存在安全隱患的問題。該爐門鎖定裝置包括：第一連接件、第二連接件和第一鎖定組件。第一連接件與...

本發明屬于半導體制造技術領域，公開了一種熱爐溫控系統及熱爐控溫方法。該熱爐溫控系統包括第一控溫支路，第一控溫支路包括第一流量閥、第一冷媒流道結構、第二冷媒流道結構、第一三通調節閥和第二三通調節閥，第一流量閥用于調節冷媒流入第一控溫支路的...

本申請提供了一種承載舟。承載舟包括兩個舟壁和第一槽棒，兩個舟壁相對間隔設置，第一槽棒連接于兩個舟壁之間，從而與兩個舟壁共同形成用于容納片狀材料的容納空間，其中，兩個舟壁中的每個舟壁設有第一通孔和定位槽，第一通孔和定位槽均與容納空間相連通...

本申請提供了一種泄壓安全閥及爐設備，爐設備包括爐膛，爐膛上設有通孔，泄壓安全閥包括密封組件、轉軸和驅動件，密封組件設置于所述爐膛上，所述密封組件用于覆蓋并密封所述通孔；轉軸與所述密封組件連接；驅動件與所述轉軸連接，所述驅動件用于驅動所述...

本公開涉及馬弗爐技術領域，具體涉及一種冷卻裝置和馬弗爐，解決了由于馬弗爐冷卻區爐膛頂部和底部的溫差較大，導致的馬弗爐發生翹曲變形的問題。本公開的實施例提供的一種冷卻裝置包括：環狀冷卻結構。環狀冷卻結構具有供物料通過的運輸通道。環狀冷卻結...

本公開涉及半導體技術領域，具體涉及一種測溫設備，解決了相關技術中用于測溫件移動的設備通常移動和收納占用空間大的問題。本公開的測溫設備包括測溫件、移動機構、升降機構和旋轉機構，可以實現測溫件的移動和升降，滿足擴散設備的測溫需求，通過測溫設...

本發明屬于半導體技術領域，公開了一種密封門結構以及加工設備，加工設備包括裝載室和密封門結構，密封門結構包括門框和門板組件，門框用于安裝在裝載室的開口處，門框的內周設置有密封組件，門板組件可鎖止地連接于門框，以打開或關閉門框的開合口，門板...

本申請提供了一種冷卻裝置以及燒結爐系統，涉及半導體材料加工領域，解決了加工后的基板冷卻效果差的技術問題。冷卻裝置包括：承載結構，被配置為承載基板；冷卻管，設置于承載結構上方，被配置為對基板上方的空氣進行降溫；風機，設置于承載結構上方，被...

本申請涉及排膠技術領域，尤其涉及一種壓力調節裝置和排膠爐，以解決泄壓裝置設置在工藝腔室上，導致凈化腔室泄壓遲緩，可能會引起凈化腔室爆裂等安全隱患的問題。通過第一壓力傳感器檢測凈化腔室內的第一壓力，中心控制器接收第一壓力傳感器檢測到的第一...

本技術屬于半導體加工設備技術領域，公開了一種冷卻機構及熱處理設備。該冷卻機構能夠用于熱源的冷卻。冷卻機構包括支架、導流組件以及換熱組件。支架用于容納熱源。導流組件設置于支架內，且間隔圍設于熱源外部。換熱組件設置于支架的頂部。其中，導流組...

本申請涉及傳輸系統技術領域，尤其涉及一種金屬網帶張緊裝置傳輸系統，以解決當金屬網帶在運行過程中出現卡死等異常時，金屬網帶張緊裝置容易損壞的問題。該金屬網帶張緊裝置中，第一張緊輪將金屬網帶壓緊于主動輪，第一彈性件的第一端與滑動組件連接，第...

本公開涉及半導體或光伏材料制造技術領域，具體涉及一種爐門開合裝置和反應爐，解決了由于爐門開合速度慢，導致爐膛通道關閉不及時，進而導致爐膛內熱量流失多，熱利用率低的問題。本公開實施例提供的一種爐門開合裝置包括：支撐板、活動臂和驅動結構。支...

本公開涉及半導體和太陽能電池制造技術領域，具體涉及一種爐門裝置和反應爐，解決了由于現有的爐門開合裝置部件眾多和爐門開合速度慢，導致裝置占用空間大、安裝維護成本高以及爐膛內熱量流失多的問題。本公開的實施例提供的一種爐門裝置，包括：支撐組件...

本申請屬于排膠設備技術領域，涉及一種排膠爐，該排膠爐包括爐體、多個加熱組件和多個止擋件，爐體被配置為放置待排膠產品；加熱組件包括支撐桿和纏繞于支撐桿的第一加熱絲，多個加熱組件的支撐桿間隔地設置于爐體內；各止擋件設置于爐體，相鄰兩個支撐桿...

本申請提供一種爐膛冷卻系統包括爐體、蓋板和導流組件。爐體設有爐腔。蓋板圍繞連接于爐體的外周，并與爐體圍設形成腔體。導流組件設置于腔體內，并分割腔體以形成沿蛇形路徑延伸的通道，且使腔體內充滿冷卻液。爐膛冷卻系統中，腔體內充滿冷卻液，且冷卻...