一種真空微腔干涉儀芯片、制造方法及低漂移光學壓力傳感器,在第一基底的上表面形成有膜島結構，所述膜島結構包括凸出部和環繞所述凸出部的壓力敏感薄膜，所述第一基底的下表面沿徑向方向依次設置有第一側壁部、吸氣劑腔、第二側壁部和位于中心的F?P干...

本申請涉及一種真空微腔干涉儀芯片、制造方法及超高精度光學壓力傳感器，包括第一基底的下表面刻蝕形成有凹腔，當所述第一基底和所述第二基底鍵合后，所述凹腔形成為F?P干涉腔，在所述F?P干涉腔內的所述第一基底的表面設置有第一反射面，在所述F?...

本發明涉及一種真空微腔干涉儀芯片、制造方法及寬量程光學壓力傳感器。包括第一基底和第二基底，第二基底與第一基底鍵合成一體，第一基底上制作有壓力敏感薄膜，壓力敏感薄膜上沉積有第一反射面，第二基底上沉積有與第一反射面對應設置的第二反射面，當兩...

一種微腔干涉儀原理的寬溫高精度光學加速度敏感芯片、傳感器及其制造方法，包括第一基底、第二基底和第三基底，在所述第一基底上加工形成光纖安裝座和通光孔，在所述第二基底上加工有梁結構和慣性質量塊，所述第一基底、第二基底和第三基底均采用雙拋超平...

本公開涉及一種白光干涉式MEMS光纖位移傳感器。該白光干涉式MEMS光纖位移傳感器包括：位移部件，內管被構造成長條形管狀結構；外套管被設置成套設在內管的外表面；外套管的內表面與內管的外表面貼靠形成可相對位移結構，并且內管的中心軸線與外套...

本公開涉及一種溫度自補償的MEMS光纖應變傳感器。該MEMS光纖應變傳感器包括：支撐基體，被構造成對角線相互垂直且四條邊長度相等的四邊形框架結構；第一器件，包括第一器件自由端和第一器件約束端，第一器件約束端被設置成固定在支撐基體的四邊形...

本發明提供一種風機葉片彎矩載荷測量方法。首先獲取從機艙坐標系到葉片坐標系的變換矩陣；在4組不同工況下，根據變換矩陣將目標葉片自重在機艙坐標系下產生的彎矩載荷轉換至葉片坐標系下的彎矩載荷，并利用4組不同工況下的構造彎矩載荷矩陣，獲得所述4...

本公開涉及一種差分式MEMS光纖差壓傳感器芯片及其制造方法。該差分式MEMS光纖差壓傳感器芯片包括：第一壓力敏感結構，第二壓力敏感結構，中間敏感層結構，第一光纖準直器對，第二光纖準直器對；中間敏感層結構被設置在第一壓力敏感結構的底表面與...

本技術涉及一種流量控制電磁閥，包括閥體和設在閥體上的密封蓋，密封蓋與閥體之間存在一密閉空間或者密封蓋內部存在一密閉空間；還包括第一端位于閥體內的閥桿、設在閥體上的配置為驅動閥桿移動的壓電式驅動器、設在閥桿第二端上的第一光纖插芯以及第二光...

本申請涉及一種GRIN光纖準直器的設計方法，屬于光通信技術領域。本方法通過測算Grin光纖的剖面折射率擬合漸變常數并計算出節距；采用光束傳播模型的方法計算出Grin光纖準直器的工作距離即束腰位置；通過仿真軟件對結果進行驗證，計算結果與仿...

本公開涉及復合測量探頭結構及光纖壓力變送器。該探頭結構包括：殼體；被設置在殼體一側的探測面；被設置在殼體內部的探測機構；其中，探測面被設置有探測孔，探測孔被構造成連通該探測面與殼體內部，探測孔內被布置有MEMS光纖測壓芯片，并且MEMS...

本公開涉及一種光纖壓力變送器。該光纖壓力變送器包括取壓單元和傳出單元，取壓單元包括：承壓底座、探頭組件和探頭壓座；傳出單元包括：出纜座和出纜端口；承壓底座，第一側面被構造有壓力獲取口，第二側面被構造有探頭組件容納孔；探頭組件，探測面被構...

本發明提供一種旁壓式張力測量裝置，其特征在于：包括：底座和壓條，所述壓條可拆卸的安裝在所述底座的中部位置以將待測量線纜無損壞的夾持在所述底座和壓條之間；搭邊輪，其分別轉動設置在所述底座的兩端，所述搭邊輪與所述線纜抵接；張力測量單元，其設...

本發明提供一種角度測量裝置及其制造方法，包括：可彎曲基板以及固定于所述可彎曲基板一端的懸臂梁，其中所述的可彎曲基板安裝于被測量物體的表面；懸臂梁的自由端設置有閃耀光柵芯片；可彎曲基板的上方靠近懸臂梁自由端的位置設置有準直單元，所述準直單...

本發明涉及一種MEMS光纖懸臂式稱重傳感器及稱重模塊，屬于稱重測量技術領域。所述MEMS光纖懸臂式稱重傳感器用于測量被測物體的重量或施力，具有懸臂梁，所述懸臂梁的內部具有容納腔，所述懸臂梁的一端處于固定位置，另一端處于加載位置，被測物體...

一種MEMS光纖表面式應變計，用于固定在被測物體表面測量物體在相應載荷情況下的應變，具有左側固定部、右側固定部和設置在所述左側固定部和右側固定部之間的四邊形結構，所述四邊形結構通過對角線連接部連接于左側固定部和右側固定部，設置在所述四邊...

本公開涉及光纖FP傳感器的過量程標定方法和過量程測量方法。該標定方法包括：利用解調儀對光纖FP傳感器的小量程壓力傳感器進行波長解調；將小量程壓力傳感器置于無壓強條件，使得小量程壓力傳感器在給定檢測波長范圍段內解調得到第一內波峰和第二內波...

本發明涉及傳感檢測領域，特別是用于傳感薄膜的組合物、傳感薄膜、傳感器、制備方法及應用，所述組合物包括復合的聚合物和碳納米管；所述聚合物的陽離子為聚乙烯基芐基3?甲基咪唑鎓、聚乙烯基芐基3?乙基咪唑鎓、聚乙烯基芐基3?丙基咪唑鎓、聚乙烯基...

本發明提供一種風力發電機葉片載荷的標定方法，包括：選取任一葉片作為目標葉片，并調整所述的目標葉片的展長方向與重力方向大致平行；安裝標定工裝的模具至所述的目標葉片；經所述的標定工裝的模具向所述的目標葉片施加預定載荷，并收集葉根處的載荷測量...

本發明實施例提供的一種多元傳感器數據處理方法、裝置及系統，具有以下有益效果：通過對監測數據按照數據元分組，得到多個數據組，所述數據元包括多個物理參量；將所述多個數據組分別進行擬合，從每個數據組中選擇擬合誤差最小的數據，組合得到訓練集；利...