本技術提供了一種可變手指數量的末端執行器及其制成的機械人，其中該末端執行器，包括：上臂單元，復數搬運手指，驅動器，其中搬運手指上設有鎖定孔，所述搬運手指等距間隔層疊設置，以使鎖定孔同軸布設，所述上臂單元包括：上伸縮器、上架體、上驅動軸，...

本技術提供了一種晶圓校正器，其包括：凸輪單元，基板，從動輪單元，主動輪單元，復數直線模組，缺口檢測單元，其中各直線模組在基板上呈環狀間隔布設，所述從動輪單元與主動輪單元分別與各直線模組的移動端連接，以至少定義出三個檢測支撐位來形成對應的...

本發明實施例公開了一種晶圓搬送裝置。本發明的晶圓搬送裝置，與預載腔體配合使用，所述預載腔體內設有第一容納腔，所述第一容納腔的側面設有開口，包括：移動腔體、密封底板、晶圓架和聯動機構；所述移動腔體的外形與所述第一容納腔相適配，所述移動腔體...

本技術提供了一種夾持晶圓翻轉的防水機械手，其包括：基座、手指件、限位件、防水套、翻轉單元、伸縮單元，其中翻轉單元包括：旋轉傳動機構、花鍵單元、主法蘭件，基座上設有主軸孔，花鍵單元與基座配接，主法蘭件后端穿過主軸孔與花鍵單元的螺母端連接，...

本技術公開了一種控制器內置的機器人，包括機器人本體以及位于機器人本體內部的控制器，所述控制器包括固定在機器人本體內部的主板，所述主板上設置有電源組件和運動控制板卡，所述電源組件連接所述運動控制板卡，所述運動控制板卡通過通訊接口分別連接機...

本技術提供了一種可變間距的晶圓搬運裝置，其包括：剪叉架、臂架、直線電機模組、直線導軌，其中所述剪叉架包括：雙叉臂、變距架，鉸鏈件，其中變距架上設有變距條孔，所述雙叉臂上設有引導件，所述變距架經變距條孔與引導件配接，以在雙叉臂上層疊構成多...

本發明提供了一種晶圓夾持翻轉裝置及方法，其中裝置包括：主架、驅動單元、基板、定位板、傳動輪、連桿、滑軌組件，夾爪，其中所述定位板架在基板后側以隔出轉輪隔道，所述基板前側設有引導窗，所述傳動輪上設有轉軸及引導柱，所述傳動輪設置在轉輪隔道內...

本發明提供了一種用于真空環境的晶圓翻轉裝置及翻轉方法，該裝置包括：同心雙軸件、旋轉驅動器、第一滑動架、第二滑動架、叉架、導向滑動組件、安裝架，其中所述第一、第二滑動架的第一側設有捻指件、第二側設有齒條，所述第一、第二滑動架經導向滑動組件...

本發明提供了一種氣路噴嘴單元及其制成的氣體吹掃裝置、裝載埠，其中該氣路噴嘴單元包括：噴嘴件、支架組件，所述噴嘴件上部設有軸肩、軸頸、底部設有承接部，所述支架組件成對設置于噴嘴件兩側，并與噴嘴件承接部彈性連接，其中各所述支架組件包括：支架...

本技術的實施例提供了一種一體式視窗結構，包括：承載件，所述承載件具有腔體，所述腔體底部設置有開口；透明視窗，設置在所述腔體內；以及O型圈，所述O型圈設置在所述透明視窗上，構造為壓緊所述透明視窗以形成一體結構。根據本技術的一體式視窗結構便...

本發明提供了一種晶圓疊層和分離裝置及方法，該裝置包括：第一吸附手指、第二吸附手指、升降單元、真空控制單元、主架，所述第二吸附手指與主架連接，所述升降單元的升降端與第一吸附手指連接，以調整第一、第二吸附手指的相對平行距離，其中所述第一吸附...

本技術公開了一種嵌套式的滾珠絲桿驅動裝置及其形成的真空傳輸設備，包括平行設置的第一滾珠絲桿和第二滾珠絲桿，其中，一級絲母固定在第一滾珠絲桿中，二級絲母固定在第二滾珠絲桿中；所述第一滾珠絲桿連接驅動件，所述一級絲母和第二滾珠絲桿通過第二傳...

本發明公開了一種晶圓標識碼讀取裝置和方法及其形成的晶圓檢測系統，包括讀碼組件和反射組件，所述讀碼組件設置在晶圓放置位邊緣的上方或下方，所述反射組件位于晶圓放置位邊緣的下方或上方，所述反射組件包括反射調整件和反射面，所述反射面正對所述讀碼...

本發明揭示一種調平機構以及真空設備。所述調平機構包括：波紋管，環繞真空機器人，包括上法蘭、下法蘭以及位于所述上法蘭和所述下法蘭之間的第一波紋段，所述上法蘭和所述下法蘭之間的間距可隨所述第一波紋段的伸縮發生變化；多個升降調節桿，環繞所述波...

本發明揭示一種翻轉機構以及真空設備。所述翻轉機構包括：旋轉臂，與蓋板固定；翻轉箱體，可與所述旋轉臂相對轉動；轉軸，與所述旋轉臂固定，所述轉軸的兩端設置于所述翻轉箱體上且可相對于所述翻轉箱體帶動所述旋轉臂同步轉動，所述轉軸包括凸輪槽，所述...

本發明涉及半導體設備，公開了一種用于立式爐晶圓搬運機器人的多功能組裝測試臺架，包括按照測試距離要求設置的移動式晶舟測試單元、移動式機器人組裝單元、移動式FOUP測試單元，所述移動式機器人組裝單元采用L型結構，其內側能夠拆卸地與待測機器人...

本技術提供了一種減震結構及具有該減震結構的晶圓手指、機器人，其中該減震結構，設置在機械手末端執行器的尾端，其包括：底板、蓋板、減震組件，所述底板及蓋板上分別設有第一及第二緩震槽，以當底板與蓋板相合時經第一及第二緩震槽定義出減震腔，所述減...

一種不同尺寸晶圓的半導體傳輸裝置、系統和傳輸方法，包括晶圓承載機械手模塊、晶圓尺寸調整模塊和晶圓尺寸掃片模塊；晶圓承載機械手模塊包括機械手本體和位于機械手本體上的兩個晶圓擋塊和N對晶圓支撐塊組每一對晶圓支撐塊組至少對應承載一種尺寸的晶圓...

一種晶圓傳輸設備機械手與Loadport互鎖系統，包括安全光柵、對射傳感器以及控制模塊；安全光柵安裝在裝卸端口Loadport安裝面往后距離M的位置上，用于檢測晶圓傳輸設備機械手是否在所述裝卸端口Loadport啟閉動作的位置上；對射傳...

本技術提供了一種高溫真空吸附手指，用于搬運物料，其中所述物料包括物料自身及其適配的固定載體，其中該高溫真空吸附手指包括：承載本體，吸附組件，熱交換組件，所述吸附組件包括：數個布設在承載本體指端的吸盤，以及用于連通吸盤與抽真空裝置的真空管...