本申請提出了一種反應腔頂蓋板和廢氣處理裝置，所述反應腔頂蓋板內部形成有中空的冷卻腔，所述冷卻腔內設置有限定出流體通道的若干導流翅片，所述頂蓋板上設有與所述冷卻腔流體連通的進口和出口。通過向冷卻腔內持續通入低溫流體，經由導流翅片對低溫流體...

本技術提供了一種用于真空泵的密封結構及真空泵，涉及真空設備領域。該用于真空泵的密封結構包括第一密封件和第二密封件；其中，第一密封件用于設置于第一密封面，第二密封件用于設置于第二密封面，第一密封面與第二密封面相交錯，第一密封件的端部設置有...

本技術公開了一種用于真空泵的軸承板及具有其的真空泵和泵送裝置，所述軸承板包括：板體，板體包括具有軸孔的軸承凸臺和環繞軸承凸臺的固定座，在沿軸孔的軸向上，軸承凸臺的寬度大于固定座的寬度，在軸承凸臺凸出固定座的一側，軸承凸臺與固定座之間形成...

本發明公開了鋁合金表面缺陷修復的方法其應用，涉及鋁合金表面修復技術領域，鋁合金表面缺陷修復用組合物包括氧化鎂粉末和鋁碳酸鎂粉末。采用本申請實施方式中的鋁合金表面缺陷修復用組合物對鋁合金件表面進行修復，可以在缺陷處生成棒狀與層片狀鑲嵌存在...

本申請涉及一種真空泵組及廢氣處理系統。該真空泵組包括主泵和前級泵，主泵與前級泵呈臥式布置，主泵位于前級泵的上方，且主泵與前級泵平行；主泵包括一主泵輸出口，前級泵包括一前級泵吸入口；主泵輸出口與前級泵吸入口上下對齊設置，并通過法蘭結構直接...

本技術涉及一種控溫系統及半導體設備，涉及控溫系統領域。本實施例提出的一種控溫系統，包括第一微通道扁管組件、半導體制冷片組件、回液管、供液管、供水管、出水管和壓縮機。通過設置半導體制冷片組件，利用冷通道段對第一冷卻液進行降溫，還通過設置第...

本申請提供了一種溫控系統及控制方法，涉及半導體溫控技術領域。該溫控系統包括制冷制熱系統和循環系統，循環系統包括可變換熱器、循環泵和膨脹箱，可變換熱器的第一出口與循環泵的進口連通，循環泵的出口用于與負載的入口端連通，膨脹箱用于與負載的出口...

本申請提出了一種溫控系統，包括制冷系統、循環冷卻系統，其中，制冷系統包括壓縮機、冷凝器、經濟器、輔助電子膨脹閥、儲液器、蒸發換熱系統以及氣液分離器；蒸發換熱系統包括至少兩條并聯連接的蒸發換熱支路，每條蒸發換熱支路上沿制冷劑流向依次設有主...

本發明的實施例提供了一種溫控設備及溫控方法，涉及半導體加工技術領域。該溫控設備包括制冷系統和循環系統，制冷系統包括壓縮機、冷凝器、第一膨脹閥、儲液器、蒸發器和氣液分離器，壓縮機的出口與冷凝器的入口連通，冷凝器的出口與儲液器的入口連通，儲...

本技術公開了一種泵送裝置，包括上泵和下泵，所述上泵設在所述下泵的上方；連接通道，所述連接通道分別與所述上泵的排氣口和所述下泵的進氣口連通；至少一減震部件，所述上泵和所述連接通道之間以及所述下泵與所述連接通道之間中至少一處設有所述減震部件...

本申請公開了一種干式真空泵及廢氣處理系統，所述干式真空泵包括泵體和氮氣吹掃裝置，泵體具有多個氮氣注入口，氮氣吹掃裝置包括分配器、多個單向限流件以及多條配氣管路，單向限流件安裝于分配器的出氣口并連通在出氣口與配氣管路之間，多個配氣管路分別...

本申請涉及一種真空泵組及廢氣處理系統。該真空泵組包括主泵、前級泵以及連通主泵與前級泵的泵間連接機構；主泵與前級泵呈臥式布置，主泵位于前級泵的上方，且主泵與前級泵平行；主泵包括一主泵輸出口，前級泵包括一前級泵吸入口，主泵輸出口與前級泵吸入...

本申請公開了一種用于廢氣處理設備的水箱組件和廢氣處理設備，所述水箱組件包括：水箱，所述水箱頂壁設有與廢氣處理設備的廢氣處理單元連通的進氣口；過濾斜板，所述過濾斜板傾斜設在所述水箱內且位于所述進氣口的下方，以用于過濾從所述進氣口進入的粉塵...

本技術公開了一種真空泵和具有其的泵送裝置，所述真空泵包括：泵體，所述泵體兩端分別設有第一油箱和第二油箱，所述第一油箱設有第一接口，所述第二油箱設有第二接口；第一冷卻器，所述第一冷卻器從所述第一接口伸入至所述第一油箱內以用于對所述第一油箱...

本申請提供了一種可調式換熱器、溫控系統及控制方法，涉及換熱器技術領域。該可調式換熱器包括外殼、換熱件、滑閥、溫度檢測裝置和滑閥控制系統，換熱件設置于外殼內，換熱件將外殼分隔為第一換熱空間和第二換熱空間，熱流體入口和滑閥伸出口通過第一換熱...

本申請提供了一種廢氣處理設備，包括端蓋，端蓋設有廢氣入口和點火器；反應釜，反應釜連接于端蓋的下方，反應釜包括多級反應腔體，多級反應腔體內限定出沿上下方向層疊設置且與廢氣入口連通的多級反應腔，每級反應腔體包括外腔體和內腔體，內腔體的上端部...

本申請提出了一種溫控系統及其溫控方法，所述溫控系統包括制冷系統和循環系統，其中，制冷系統包括依次串聯形成制冷回路的壓縮機、冷凝器、儲液器、電子膨脹閥組、蒸發器的第一側以及氣液分離器，電子膨脹閥組包括并聯設置的第一電子膨脹閥和第二電子膨脹...

本申請提供了一種半導體溫控裝置和半導體溫控方法，所述半導體溫控裝置包括制冷系統和循環系統，制冷系統包括壓縮機、過熱器、冷凝器、過冷器、蒸發器和第一電子膨脹閥，壓縮機的出口、過熱器的降溫端和冷凝器依次連接，冷凝器的出口分別與過冷器的升溫端...

本申請提出了一種真空泵組及泵送系統，該真空泵組包括主泵和前級泵；主泵輸出口與前級泵吸入口上下對齊設置；主泵包括轉子軸、泵體、兩個軸承板和兩個油箱；兩個軸承板沿轉子軸軸向分別設置于泵體的軸向兩端；兩個軸承板的軸向外側分別固定連接有一油箱；...

本技術提供了一種羅茨轉子及真空泵，涉及真空技術領域。羅茨轉子包括兩個型線相同的轉子；轉子包括轉子本體和旋轉軸，第一圓弧段或第二圓弧段上設置有葉峰點，轉子本體沿軸向的多個端面型線上的葉峰點連接形成葉峰線，葉峰線呈螺旋狀；在轉子本體靠近旋轉...