本發(fā)明涉及一種高精度自校準(zhǔn)楔形角測(cè)量系統(tǒng)，包括光源、第一CCD相機(jī)、聚光片、分光片、反射片、凸透鏡、待測(cè)樣品和上位機(jī)，其中，所述上位機(jī)與第一CCD相機(jī)連接。本發(fā)明構(gòu)建的自校準(zhǔn)楔形角測(cè)量系統(tǒng)能夠?qū)哂薪嵌鹊耐该骰虬胪该鞑牧系奈矬w（即待測(cè)樣...

本發(fā)明涉及一種籽晶晶圓選擇方法和系統(tǒng)，其中，方法包括：步驟S1：獲取第一籽晶晶圓對(duì)應(yīng)的第一圖像，以及第二籽晶晶圓對(duì)應(yīng)的第二圖像，并獲取所述第一圖像和第二圖像的分析數(shù)據(jù)；步驟S2：對(duì)所述第一籽晶晶圓和第二籽晶晶圓進(jìn)行晶體生長(zhǎng)，得到關(guān)于第一...

本發(fā)明涉及應(yīng)用于物理測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域的一種晶圓厚度檢測(cè)器及其檢測(cè)方法，通過(guò)采用伸縮直桿連接轉(zhuǎn)桿和厚度傳感器，并通過(guò)活塞移動(dòng)將氣體擠入伸縮直桿中使其長(zhǎng)度改變，檢測(cè)過(guò)程中，厚度傳感器在轉(zhuǎn)桿帶動(dòng)下做緩慢圓周運(yùn)動(dòng)，經(jīng)過(guò)不同晶圓的上側(cè)，實(shí)現(xiàn)對(duì)多個(gè)晶圓...

本發(fā)明提出了一種基于超景深的大尺寸SiC晶圓應(yīng)力測(cè)量裝置及方法，解決了傳統(tǒng)圓偏光瞬時(shí)光彈測(cè)量方法在測(cè)量精度上受光學(xué)系統(tǒng)的限制及環(huán)境因素干擾的局限，其主要方案包括：由上至下依次同軸設(shè)置的偏振相機(jī)、雙遠(yuǎn)心光路、中心鏤空的機(jī)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)、1/4波片...

本發(fā)明涉及應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的一種晶圓缺陷檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法，包括供風(fēng)測(cè)壓機(jī)構(gòu)等，在上述供風(fēng)測(cè)壓機(jī)構(gòu)等的聯(lián)合作用下，使得在檢測(cè)晶圓的尺寸是否存在缺陷時(shí)，工作人員只需將晶圓放置在支撐平臺(tái)上并按壓檢測(cè)按鈕，智能控檢器便會(huì)控制供風(fēng)測(cè)壓機(jī)構(gòu)、圍晶...

本發(fā)明提供了用于晶圓生產(chǎn)的質(zhì)量檢測(cè)方法及系統(tǒng)，涉及質(zhì)量檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，包括：采集獲取目標(biāo)晶圓的三維面型參數(shù)信息，進(jìn)行可視化建模，生成晶圓三維面型模型，獲取晶圓生產(chǎn)設(shè)計(jì)圖，確定晶圓面型設(shè)計(jì)參數(shù)信息，生成標(biāo)準(zhǔn)晶圓三維面型模型，進(jìn)行遍歷比對(duì)獲得...

本申請(qǐng)涉及數(shù)據(jù)處理技術(shù)領(lǐng)域，提供一種晶圓翹曲度優(yōu)化方法及系統(tǒng)

本申請(qǐng)涉及數(shù)據(jù)處理技術(shù)領(lǐng)域，提供一種晶圓材料內(nèi)部應(yīng)力分布檢測(cè)方法及系統(tǒng)。所述方法包括：根據(jù)晶圓材料應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)，獲得內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)因素集合；依據(jù)內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)因素集合對(duì)晶圓內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行分類(lèi)，獲取晶圓檢測(cè)因素樣本數(shù)據(jù)集；利用深度學(xué)習(xí)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)對(duì)...

本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓的三維表面微觀測(cè)量方法及系統(tǒng)，屬于集成電路制造領(lǐng)域，其中方法包括：確定第一晶圓的原始表面層，將第一晶圓放置在測(cè)量移動(dòng)平臺(tái)上，記錄第一放置位置；基于第一預(yù)設(shè)軌跡控制測(cè)量移動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行測(cè)量移動(dòng)，對(duì)第一晶圓進(jìn)行表面數(shù)據(jù)采集，...

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種球罩厚度測(cè)量裝置，涉及球形厚度測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，包括工作臺(tái)以及設(shè)置在所述工作臺(tái)頂部的球罩，所述工作臺(tái)的頂部一側(cè)固定連接有支撐桿，所述工作臺(tái)的內(nèi)部及頂部設(shè)置有測(cè)量機(jī)構(gòu)，所述工作臺(tái)內(nèi)部及頂部另一側(cè)還設(shè)置有調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，本實(shí)用新型...

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種眼罩應(yīng)力測(cè)量裝置，包括裝置底座，所述裝置底座上端的一側(cè)設(shè)置有一對(duì)第一支撐架；所述支撐傳動(dòng)桿外部的下端設(shè)置有螺紋壁，所述第四扇形齒輪下端的一側(cè)設(shè)置有第三扇形齒輪，所述第二扇形齒輪的一側(cè)設(shè)置有第一扇形齒輪，所述支撐傳動(dòng)桿...

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種眼罩厚度測(cè)量裝置，涉及眼罩厚度檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，包括眼罩測(cè)量固定工作臺(tái)，眼罩測(cè)量固定工作臺(tái)的上端設(shè)置有防護(hù)眼罩，眼罩測(cè)量固定工作臺(tái)的一側(cè)固定設(shè)置有測(cè)量裝置支架，測(cè)量裝置支架中貫穿設(shè)置有厚度檢測(cè)機(jī)構(gòu)，本實(shí)用新型解決了現(xiàn)如今...

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種眼罩棱鏡度測(cè)量裝置，涉及眼罩測(cè)量裝置技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)臺(tái)和設(shè)置在機(jī)臺(tái)上表面的上表面設(shè)置有可調(diào)對(duì)位器，可調(diào)對(duì)位器的兩側(cè)設(shè)置有可調(diào)節(jié)固定組件，本實(shí)用新型解決了棱鏡度測(cè)試儀的對(duì)于眼罩的固定受限，實(shí)用性較低的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了當(dāng)對(duì)于...

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種具有中心定位功能的透鏡偏心測(cè)量裝置，涉及透鏡偏心測(cè)量裝置技術(shù)領(lǐng)域，包括底座，底座的上端安裝有固定座，底座的上端固定設(shè)置有連接柱，連接柱的一側(cè)安裝有射燈，底座的上端開(kāi)設(shè)有長(zhǎng)槽，固定座的上端開(kāi)設(shè)有滑槽，滑槽的內(nèi)部安裝有第...

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種具有翻轉(zhuǎn)功能的塑料鏡片三維面型測(cè)量裝置，涉及三維面型測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，包括支撐架，支撐架一側(cè)開(kāi)設(shè)有豎直槽，支撐架一側(cè)設(shè)置有托板，托板上端貼合設(shè)置有底板，底板上端開(kāi)設(shè)有一號(hào)條形槽和二號(hào)條形槽，底板上端設(shè)置有第一夾板，第一夾...

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種便攜式汽車(chē)前擋風(fēng)玻璃面型測(cè)量裝置，屬于擋風(fēng)玻璃測(cè)量裝置領(lǐng)域，包括放置箱和設(shè)置在放置箱上端的儲(chǔ)存組件，放置箱的下端滑動(dòng)連接有固定組件，固定組件包括內(nèi)移板和安裝在內(nèi)移板一端的限位板，內(nèi)移板的頂端安裝有夾持塊，轉(zhuǎn)動(dòng)夾持塊利...

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種眼罩屈光度測(cè)量裝置，包括第一支撐片，所述第一支撐片的下端設(shè)置有第二支撐片，所述第二支撐片上端的一側(cè)設(shè)置有縱向支撐架，所述縱向支撐架外部的一側(cè)設(shè)置有顯示屏；所述第一連接盤(pán)的外部設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)腔，所述轉(zhuǎn)動(dòng)腔的外部設(shè)置有固定環(huán)...

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種具有平行度控制功能的透鏡面型測(cè)量裝置，屬于透鏡面型測(cè)量裝置領(lǐng)域，包括加工臺(tái)和設(shè)置在加工臺(tái)上端的測(cè)量組件，處理盤(pán)的外壁上均勻設(shè)置有齒牙，處理盤(pán)的中心處還穿插有銜接軸，處理盤(pán)的內(nèi)部設(shè)置有研磨結(jié)構(gòu)，且研磨結(jié)構(gòu)設(shè)置有五組，均...

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種具有防刮蹭功能的近視防控鏡厚度測(cè)量裝置，涉及近視防控鏡測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，包括底座和設(shè)置在底座上端的支撐組件，支撐組件的上端一側(cè)設(shè)置放置組件，放置組件的中部活動(dòng)卡嵌有限位組件，支撐組件的上端另一側(cè)滑動(dòng)設(shè)置有測(cè)量組件，操作者...

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種球罩表面缺陷檢測(cè)裝置，包括立架，其設(shè)置在所述檢測(cè)臺(tái)的上方，所述立架上設(shè)置有第一工業(yè)相機(jī)；支撐柱，其設(shè)置在所述檢測(cè)臺(tái)的上方，所述支撐柱的上方設(shè)置有安裝架，所述安裝架上設(shè)置有第二工業(yè)相機(jī)；轉(zhuǎn)動(dòng)套，其設(shè)置在所述支撐柱的外部...