本發明公開了一種卷對卷式原子層沉積設備，包括：用于傳動帶狀的待沉積樣品的至少兩個卷筒裝置；用于向所述卷筒裝置輸出動力的動力裝置，所述動力裝置與所述卷筒裝置聯接；反應腔體，所述反應腔體的內部具有多個氣道、以及與所述氣道的方向相交的用于所述...

本實用新型公開了一種等離子體增強原子層沉積設備，包括：相互貫通的等離子體產生腔體、擴散腔體、反應腔體以及抽氣腔體，其中：所述等離子體產生腔體具有等離子體產生氣體進氣口以及使來自所述等離子體產生氣體進氣口的等離子體產生氣體產生等離子體的等...

本實用新型公開了一種卷對卷式原子層沉積設備，包括：用于傳動帶狀的待沉積樣品的至少兩個卷筒裝置；用于向所述卷筒裝置輸出動力的動力裝置，所述動力裝置與所述卷筒裝置聯接；反應腔體，所述反應腔體的內部具有多個氣道、以及與所述氣道的方向相交的用于...

本實用新型公開了一種一體化電極系統，與采集系統相連接，該電極系統包括：用于采集生理信息的多點分布的傳感元件及傳感器，所述每個傳感元件及所述傳感器分別連接有引線；用于包覆所述多條引線的絕緣外皮；以及用于連接所述一體化電極系統及所述采集系統...

本實用新型公開了一種醫用監護裝置，包括：供電單元；用于采集生理信息的采集單元，所述采集單元包括電極、和/或傳感器；用于傳輸所述生理信息的傳送單元，所述傳送單元包括有線傳送模塊、和/或無線傳送模塊；用于處理所述生理信息的處理單元，所述處理...