本技術公開了晶圓片處理技術領域的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，包括輸送帶，輸送帶的下端安裝有支撐架，輸送帶的中部設置有無塵干燥機構，輸送帶的上方設置有承載機構，輸送帶的中部固定安裝有無塵倉，該用于晶圓片清洗后的干燥裝置由輸送帶、支撐架...

本技術公開了一種晶圓清洗設備用供液系統，屬于晶圓清洗供液技術領域，其技術方案要點包括主殼體，所述主殼體的頂部設置有端蓋，所述主殼體的內部設置有多級過濾組件，所述主殼體的底部設置有恒溫組件，主殼體內部的清洗液會在高速旋轉下依次通過一級過濾...

本技術涉及吹掃裝置技術領域，具體為一種間歇式晶圓吹掃系統的過濾結構，包括晶圓吹掃系統主體，過濾組件的內部固定安裝有第一過濾層，第一過濾層的下方固定安裝有第二過濾層，第二過濾層的右側安裝有出風連接口，第二過濾層的下方固定安裝有高溫燃燒室，...

本技術涉及晶圓清洗技術領域，公開了一種晶圓清洗液防堵供液裝置，包括清洗箱，所述清洗箱的上端外表面活動連接有頂蓋，所述頂蓋的上端外表面固定連接有拉手，所述清洗箱的上端外表面固定連接有進液口，所述清洗箱的上端外表面活動套接有防堵疏通裝置，在...

本技術公開了一種晶圓表面干燥吹掃設備，包括底板，底板上固定安裝有安裝架，安裝架內轉動連接有連接軸，連接軸的外側套設有旋轉架，旋轉架上位于連接軸的外側設置有多個放置槽，多個放置槽內均插接有卡件，多個卡件靠近連接軸一側均設置有限位槽，多個卡...

本技術涉及承載裝置技術領域，具體為一種晶圓吹掃用承載盒，包括晶圓吹掃用承載盒主體，承載組件的上方固定安裝有工作臺，工作臺的上方安裝有過濾板，過濾板的上方右側固定安裝有第二固定器，第二固定器的左側安裝有第一固定器，第一固定器的下方固定安裝...

本技術涉及吹掃裝置技術領域，具體為一種間歇式晶圓吹掃裝置，包括間歇式晶圓吹掃裝置主體，吹掃組件的后端固定安裝有風機，風機的輸出端固定安裝有第一吹掃器，第一吹掃器的外側安裝有安裝板，安裝板的下方安裝有吹掃清理區，吹掃清理區的前端安裝有第二...

本技術涉及元件清洗設備領域，公開了一種節水型半導體元件清洗設備，包括主體清潔箱，所述主體清潔箱的下端外表面嵌入式連接有清潔箱支架，所述主體清潔箱的一側外表面固定連接有設備控制箱，所述主體清潔箱的下端外表面固定連接有廢水排水管道，所述主體...

本實用新型公開了一種晶圓基板側面清洗裝置，屬于晶圓基板加工設備技術領域，包括晶圓清洗設備和晶圓烘干設備，還包括底座板、基板邊緣夾持裝置和基板翻轉裝置，所述基板邊緣夾持裝置設置在底座板上，所述基板翻轉裝置設置在底座板上且位于基板邊緣夾持裝...

本實用新型公開了一種晶圓清洗設備的烘干機構，屬于烘干設備技術領域，包括烘干腔體、全方位旋轉裝置、外部上料裝置和收集裝置，所述烘干腔體上設有上料口，所述全方位旋轉裝置設置在烘干腔體的內部，所述外部上料裝置設有若干個，若干個所述外部上料裝置...

本實用新型公開的屬于晶圓清洗設備技術領域，具體為一種晶圓噴淋清洗裝置，包括第一供液管、第二供液管和噴淋管，所述第二供液管的頂端通過軸承轉動連接第二支撐塊，所述第二供液管的底端通過軸承轉動連接第一支撐塊，所述第一供液管通過旋轉接頭轉動連接...

本實用新型公開了一種石英治具清洗液的過濾裝置，屬于過濾處理技術領域，包括振動分離裝置、過濾托板、剝離組件、回轉控制裝置、承接盒和過濾處理箱，所述過濾處理箱上設有進液口，設備使用時，先將清洗液由進液口向過濾處理箱內輸送，然后通過振動分離裝...

本實用新型公開了一種高效晶圓清洗花籃，屬于清洗設備技術領域，包括清洗腔體、支撐底座、花籃調節設備、花籃升降設備和清洗花籃架，所述花籃升降設備設置在清洗腔體的內部，所述支撐底座套設在花籃升降設備上，所述花籃調節設備設置在支撐底座上，所述清...

本實用新型公開了一種晶圓清洗面板高效折彎設備，屬于晶圓清洗面板加工技術領域，包括安裝臺、循環機構和加熱機構，所述安裝臺呈水平設置，所述安裝臺的頂部設有加熱槽，所述加熱機構位于安裝臺內的加熱槽內，所述循環機構位于安裝臺上，所述循環機構與加...

本實用新型公開了一種高效硅片烘干裝置，屬于烘干設備技術領域，包括底座、烘干箱、熱風機、夾持組件、轉動組件、驅動組件和封閉件，所述烘干箱設置在底座的頂端，所述熱風機設有若干個，若干個所述熱風機呈兩兩對稱安裝在烘干箱的兩側，所述轉動組件設有...

本實用新型公開了一種非接觸式搬運晶圓的機構，屬于晶圓運輸設備技術領域，包括四向移動機構，還包括聯動批量夾取裝置和推料裝置，所述聯動批量夾取裝置設置在四向移動機構上，所述推料裝置設置在聯動批量夾取裝置上，所述聯動批量夾取裝置包括聯動組件和...

本實用新型公開了一種晶圓清洗液廢液循環利用系統，屬于晶圓清洗設備技術領域，包括底座板和廢液處理設備，還包括定量循環加注裝置、輸水管、定量關閉裝置和儲液箱，所述定量循環加注裝置設置在底座板上，所述廢液處理設備設置在底座板上且位于定量循環加...

本實用新型公開了一種晶圓清洗設備的夾持機構，屬于夾持設備技術領域，包括工作臺、晶圓夾持裝置、底座板、翻轉調節裝置和升降裝置，所述升降裝置設有兩個，兩個所述升降裝置對稱設置在工作臺上，所述翻轉調節裝置的兩端固定連接在兩個所述升降裝置的一側...

本實用新型公開了一種晶圓清洗設備的消泡儲液槽，涉及晶圓清洗技術領域，包括泡沫驅趕裝置、泡沫擋板組件、清洗液引流板、泡沫處理裝置、清洗液存放室和儲液槽體，當清洗液由進液口并通過清洗液引流板向清洗液存放室輸送時，會有泡沫產生，此時，泡沫驅趕...

本實用新型公開了一種晶圓清洗設備的噴淋裝置，屬于噴淋設備技術領域，包括承載底座、上料臺、電動滑軌、取料組件、夾持組件、噴淋組件和輸送組件，所述電動滑軌和上料臺對稱安裝在承載底座上，所述取料組件處于電動滑軌和上料臺之間，所述夾持組件固定安...