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    先材深圳半導體科技有限公司專利技術

    先材深圳半導體科技有限公司共有2項專利

    • 本申請涉及一種金剛石基板、金剛石負載及其制備方法,金剛石基板的制備方法包括:提供具有相對的第一面和第二面的金剛石片;采用激光切割方法在金剛石片上開設通槽,得到開槽基板,開槽基板的表面的第一至少部分區域覆蓋碳附著物;將開槽基板置入氫等離子...
    • 本技術涉及化學氣相沉積設備技術領域,一種MPCVD真空腔體觀察窗結構,用于安裝在真空腔體上,所述真空腔體上具有對接插口,包括鋼鋁焊接件,其為管狀,鋼鋁焊接件分為相互焊接連接的鋼段和鋁段,其中鋁段焊接在所述真空腔體的插口上;刀口法蘭,通過...
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