本實用新型公開了一種光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積真空設(shè)備，它包括有真空腔體（１０）、電極盒子（２０）；真空腔體（１０）為可分離式真空腔體，它包括一個位于中段部位的主體部（１１）和分別位于兩端部位的可分離部（１２、１３），主體部...

一種快開門壓力容器安全聯(lián)鎖裝置。　　本實用新型屬于壓力容器安全技術(shù)領(lǐng)域。　　本實用新型提供了一種快開門壓力容器安全聯(lián)鎖裝置。本裝置適用于端蓋與筒體的聯(lián)接采用端蓋法蘭齒與筒體齒圈齒嚙合結(jié)構(gòu)的壓力容器。其通過球閥開關(guān)與固定銷的聯(lián)動及固定銷與...

本實用新型公開了一種平板氮化硅薄膜ＰＥＣＶＤ沉積系統(tǒng)，包括沉積腔室、射頻引入電極、加熱器及抽氣系統(tǒng)，該沉積系統(tǒng)為平板式，沉積腔室為平板式真空腔體，射頻引入平板電極設(shè)于真空腔體上蓋的下方，加熱器設(shè)于真空腔體外部緊貼下電極的背面。真空腔體兩...

本發(fā)明公開了一種平板氮化硅薄膜ＰＥＣＶＤ沉積系統(tǒng)，包括沉積腔室、射頻引入電極、加熱器及抽氣系統(tǒng)，該沉積系統(tǒng)為平板式，沉積腔室為平板式真空腔體，射頻引入平板電極設(shè)于真空腔體上蓋的下方，加熱器設(shè)于真空腔體外部緊貼下電極的背面。真空腔體的兩側(cè)...

本發(fā)明公開了一種光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積真空設(shè)備，它包括有真空腔體（１０）、電極盒子（２０）；真空腔體（１０）為可分離式真空腔體，它包括一個位于中段部位的主體部（１１）和分別位于兩端部位的可分離部（１２、１３），主體部（１...