一種薄膜電容器，其特征在于，形成下電極、將組合物涂覆至下電極上而沒有進(jìn)行溫度高于300℃的退火過程、在從環(huán)境溫度至500℃的預(yù)定溫度下干燥，并且在500至800℃且高于干燥溫度的預(yù)定溫度下煅燒。從涂覆至煅燒的過程進(jìn)行一次或至少兩次，或者...