本發明提供一種發光氣體的回收方法和發光氣體的回收裝置，從作為廢棄對象的燈效率地回收發光氣體。發光氣體的回收方法包括：工序(a)，準備包括封入有發光氣體的狀態的管體的廢棄對象燈；工序(b)，將所述廢棄對象燈設置于腔室的內部空間；工序(c)...

本發明提供一種能夠抑制觸發管的黑化的閃光放電燈以及閃光照射裝置。閃光放電燈具備：發光管，在第一方向上延伸，對光顯示透射性；一對電極，在發光管的內側在第一方向上對向配置；以及觸發管，沿著發光管的外側以遍及一對電極間地延伸的方式配置，觸發管...

提供能夠對于光出射面高效地形成凹凸形狀并且即使在以較大的電流驅動的情況下發光效率也難以降低的紅外LED元件。具備：導電性的支承基板；以及半導體層疊體，配置于支承基板的上層，由能夠對于InP晶格匹配的材料構成，半導體層疊體具有：第一半導體...

本發明提供提高了對人體的影響極小的波長頻帶的紫外光的強度、并且維持或抑制了擔心影響人體的波長頻帶的紫外光的強度的不活化裝置。其具備：準分子燈，該準分子燈具有封入有包含稀有氣體及鹵素氣體的發光氣體的發光管和一對電極，若在一對電極之間施加電...

提供消除框體的撓曲所引起的問題的光處理裝置。光處理裝置具備：對沿輸送路徑輸送的被處理體照射紫外光的光源；框體，在內部具有所述光源，并且具有搬入或者搬出所述被處理體的開口；以及減少包圍所述開口的所述框體的熱撓曲的熱撓曲減少部。

課題在于提供抑制了涂敷工序中的可靠性降低的半導體激光元件。半導體激光元件(100)具備沿第一方向相鄰而集成化的三個以上的多個激光共振器(200＿1～200＿4)。各激光共振器(200)具有獨立的供電用電極(150)，并且以第二方向為長度...

本減振構造體具備第1支承部件、第2支承部件和1個以上的減振單元。1個以上的減振單元連接在第1支承部件及第2支承部件之間，抑制對第1支承部件及第2支承部件作用的第1方向的振動。1個以上的減振單元分別包括經由鉸鏈與第1支承部連接的第1減振芯...

提供能夠以縱向單模獲得高輸出的半導體激光元件。在分布反饋型的半導體激光元件(100)中，層疊結構(110)包括GaN基板(112)、n型半導體層(120)、活性層(114)、p型半導體層(130)，形成有脊型波導。第一衍射光柵(150)...

本發明提供一種閃光放電燈和閃光照射裝置，能夠進一步提高點亮時的光輸出，并且長期抑制觸發管的變色。閃光放電燈具備：發光管，在第一方向上延伸并對光顯示出透射性；一對電極，在發光管的內側，在第一方向上相對配置；及觸發管，接近發光管而配置，觸發...

提供即使在燈絲在管軸方向上伸長的情況下也可抑制燈絲的短路從而壽命時間優異的白熾燈。白熾燈具備：發光管，在第一端部側形成有供電部；燈絲，具有多個線圈部和連結部，在一對供電部之間線圈部和連結部交替地連接；支承構件，固定于發光管的第二端部側；...

本發明涉及一種處理裝置，能夠早期調整工件周圍的環境氣且生產率較大。處理裝置具備：載放工件的支承臺；收納有所述支承臺的第一單元；第二單元，相對于所述第一單元對置地配置，收納由放電燈或者等離子體產生裝置構成的放電部；以及向所述第一單元內導入...

本發明提供能夠以更少的能量將完成吸收的二氧化碳從吸收材脫離的完成吸收的二氧化碳的回收方法及適合于該方法的利用的系統。完成吸收的二氧化碳的回收方法包括：對吸收了二氧化碳的吸收液照射光的工序(a)；對上述吸收液供給熱的工序(b)；和將經由上...

提供能夠保護受光器的光測定裝置。光源裝置(200)產生波長掃描光(L1)。照射光學系統(310)將波長掃描光(L1)照射到測定位置(4)。輸送裝置(330)將試樣(2)以通過測定位置(4)的方式輸送。受光裝置(320)測定透過了試樣(2...

本發明涉及照明光學系統、曝光裝置、照射方法以及部件的制造方法，能夠實現曝光的析像度提高。本發明的一個方式的照明光學系統為，將來自光源部的光向對象物照射，具備集成光學系統、輸入透鏡、帶通濾波器、光圈、以及聚光透鏡。集成光學系統配置在從光源...

本發明提供一種長壽命的放電燈。放電燈包括：發光管；一對電極，在所述發光管內對向配置；以及兩個引線棒，連接于所述一對電極中的各個電極；且所述放電燈包括：集氫器，將吸附所述發光管內的氫的吸氣材料封入至密閉容器內；罩，覆蓋所述集氫器，且固定于...

本發明提供一種曝光裝置，能夠提高掩模與工件的對位精度，實現較高的曝光精度。本曝光裝置所具備的光射出部射出曝光用光。掩模臺保持曝光用掩模。工件臺保持工件。投影光學系統將從光射出部射出并透過了曝光用掩模的曝光用光向工件臺所保持的工件照射。反...

本技術提供一種紫外線治療儀，即使在使照射區域為狹小的范圍的情況下，也能夠抑制相對于對象區域的紫外線的照度的變化。其特征在于，具備：光源，發出紫外線；殼體，收容光源，并包括將紫外線取出的光出射窗；及筒狀的附件，相對于殼體裝卸自如地安裝，附...

提供具有寬的光譜寬度的半導體激光裝置。半導體激光裝置(100)具備驅動電路(110)及半導體激光元件(200)。在端面發光型的半導體激光元件(200)中，在通過脈沖驅動進行激光振蕩時從一個發光部出射的光的光譜的包絡線通過合成多個單一峰值...

本發明提供一種紫外線治療儀，即使在使照射區域為狹小的范圍的情況下，也能夠抑制相對于對象區域的紫外線的照度的變化。紫外線治療儀的特征在于，具備：光源，發出紫外線；殼體，收容光源，并包括將紫外線取出的光出射窗；及筒狀的附件，相對于殼體裝卸自...

提供一種能夠抑制碎片的影響的光源裝置。本發明的一方式的光源裝置具備束獲取部、板部件、原料供給部、及放射線取出部。所述束獲取部獲取能量束。所述板部件具有表面以及背面，配置于所獲取的所述能量束入射到所述表面的位置，以與所述表面正交的方向作為...