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    浙江創(chuàng)芯集成電路有限公司專(zhuān)利技術(shù)

    浙江創(chuàng)芯集成電路有限公司共有168項(xiàng)專(zhuān)利

    • 本公開(kāi)提供一種廢水處理系統(tǒng)、方法、存儲(chǔ)介質(zhì)及程序,其中,廢水處理系統(tǒng)包括:混凝裝置,所述混凝裝置包括:混凝槽,所述混凝槽的第一端與廠務(wù)端連接;混凝管,所述混凝管與所述混凝槽的第二端連接;混凝閥,所述混凝閥設(shè)置于所述混凝管;沉積裝置,所述...
    • 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法、反相器電路,其中方法包括:形成漏摻雜層,漏摻雜層包括第一漏摻雜區(qū)、隔離結(jié)構(gòu)和第二漏摻雜區(qū),隔離結(jié)構(gòu)位于第一漏摻雜區(qū)和第二漏摻雜區(qū)之間,第一漏摻雜區(qū)和第二漏摻雜區(qū)的導(dǎo)電類(lèi)型不同;在第一漏摻雜區(qū)上形成第一體區(qū),在...
    • 本發(fā)明實(shí)施例提供了一種缺陷檢測(cè)裝置、方法、光刻機(jī)、設(shè)備、介質(zhì)及程序產(chǎn)品,缺陷檢測(cè)裝置用于對(duì)設(shè)置于光罩上的薄膜的缺陷進(jìn)行檢測(cè),缺陷檢測(cè)裝置包括:探測(cè)模塊,用于承載所述光罩并對(duì)所述光罩上的薄膜進(jìn)行掃描,以獲取所述薄膜上的缺陷信息,所述缺陷信...
    • 本發(fā)明實(shí)施例提供一種制造方法及光刻機(jī)設(shè)備,制造方法包括:提供半導(dǎo)體襯底,所述半導(dǎo)體襯底被劃分為第一區(qū)域和第二區(qū)域,所述第一區(qū)域包含多個(gè)完整曝光區(qū)域,所述第二區(qū)域包含多個(gè)非完整曝光區(qū)域;在所述第一區(qū)域以及第二區(qū)域的半導(dǎo)體襯底上形成前層對(duì)準(zhǔn)...
    • 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法,其中形成方法包括:提供襯底;在所述襯底上形成電荷存儲(chǔ)層;在所述電荷存儲(chǔ)層上形成柵極結(jié)構(gòu);在所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的所述襯底內(nèi)形成源極和漏極;對(duì)所述電荷存儲(chǔ)層進(jìn)行熱載流子注入處理,使電子或空穴進(jìn)入所述電荷存儲(chǔ)層內(nèi)。本...
    • 本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法,其中,形成方法包括:提供基底,所述基底包括襯底,以及位于所述襯底上的溝道層;在所述溝道層上形成控制柵極和極性柵極,所述控制柵極位于所述極性柵極的一側(cè);采用離子注入的方式,在所述極性柵極另一側(cè)露出的溝...
    • 本發(fā)明實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的形成方法,半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)應(yīng)用于閃存器件,半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的形成方法包括:提供基底;在所述基底上形成第一氧化層;在所述第一氧化層上形成種子層;在所述種子層上形成氮化層;在所述氮化層上形成第二氧化層。采用上述技術(shù)方案,...
    • 本發(fā)明一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的形成方法,包括:提供襯底,所述襯底包括NMOS區(qū)和PMOS區(qū),所述NMOS區(qū)和所述PMOS區(qū)的所述襯底表面分別具有柵極層和形成于所述柵極層兩側(cè)的所述襯底內(nèi)的源漏區(qū);在所述襯底的表面以及所述柵極層的側(cè)壁和頂部表面形成...
    • 一種半導(dǎo)體LDD擴(kuò)展寬度測(cè)試結(jié)構(gòu)及其形成方法、計(jì)算方法,包括:確定測(cè)試結(jié)構(gòu)的寬度,所述測(cè)試結(jié)構(gòu)的寬度基于所述第一阱的寬度和/或第一LDD的寬度確定;測(cè)試所述第一阱得到第一阱的實(shí)測(cè)電阻;測(cè)試所述第一LDD得到第一LDD的實(shí)測(cè)電阻;測(cè)試所述...
    • 一種OPC模型的建立方法和裝置、光學(xué)臨近修正方法和設(shè)備、存儲(chǔ)介質(zhì),所述建立方法包括:形成半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)具有圖形化層;獲得所述圖形化層中圖形的輪廓;根據(jù)所獲得圖形的輪廓,對(duì)所述圖形化層的量測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行篩選。基于所獲得所述圖形化層...
    • 本發(fā)明實(shí)施例提供一種檢測(cè)電路及電壓轉(zhuǎn)換電路,檢測(cè)電路與電壓轉(zhuǎn)換器耦接,檢測(cè)電路包括:第一檢測(cè)模塊,被配置為根據(jù)第一反饋電壓,以及預(yù)設(shè)的第一參考電壓,生成第一檢測(cè)信號(hào),第一反饋電壓基于電壓轉(zhuǎn)換器的輸出端的輸出電壓生成;第二檢測(cè)模塊,被配置...
    • 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法,包括:提供基底;在所述基底上形成柵極結(jié)構(gòu);形成刻蝕阻擋層,所述刻蝕阻擋層覆蓋所述柵極結(jié)構(gòu)和所述基底;采用多輪工藝,形成覆蓋所述刻蝕阻擋層的填充層,每輪工藝至少包含:采用沉積工藝,形成填充子層,自第二層填充子層...
    • 一種圖形修正方法、存儲(chǔ)介質(zhì)和存儲(chǔ)終端,方法包括:提供測(cè)試版圖,包括若干測(cè)試圖形;基于測(cè)試版圖,獲取卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型,包括:若干第一線段在測(cè)試版圖上的周?chē)牡谝画h(huán)境分布矩陣,以及測(cè)試版圖經(jīng)過(guò)光學(xué)鄰近效應(yīng)修正后的若干第一線段的第一偏移量,若...
    • 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法,其中方法包括:采用第一低壓化學(xué)氣相沉積工藝,在襯底表面形成第一初始柵材料層,第一初始柵材料層的材料為多晶硅;采用第二低壓化學(xué)氣相沉積工藝,在第一初始柵材料層表面形成第二初始柵材料層,第二初始柵材料層的材料為多...
    • 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法,其中形成方法包括:提供襯底;在襯底上形成具有第一摻雜類(lèi)型的第一外延層;在第一外延層內(nèi)形成若干對(duì)超結(jié)結(jié)構(gòu),所述超結(jié)結(jié)構(gòu)包括具有第二摻雜類(lèi)型的第一柱和具有第一摻雜類(lèi)型的第二柱,第一柱和第二柱沿水平方向交替連接設(shè)置...
    • 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法,其中半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包括:提供襯底;在襯底上沉積形成第一絕緣層;在第一絕緣層上沉積形成柵極層;在柵極層上形成具有柵極層圖案的第一光刻膠層;以第一光刻膠層為掩膜,在第一絕緣層上以及柵極層的側(cè)壁表面沉積形成第二絕緣層,...
    • 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的形成方法,包括:提供襯底;采用濕氧氧化工藝對(duì)所述襯底進(jìn)行第一氧化處理,在所述襯底表面形成第一氧化層,所述濕氧氧化工藝具有第一工藝溫度和第一氧化速率;在所述濕氧氧化工藝之后,采用干氧氧化工藝對(duì)所述襯底進(jìn)行第二氧化處理,在所...
    • 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法、存儲(chǔ)陣列,其中形成方法包括:提供襯底;對(duì)襯底進(jìn)行離子注入,形成阱區(qū)以及位于阱區(qū)上的摻雜區(qū);在摻雜區(qū)上形成具有控制柵圖案的第一光刻膠層;以第一光刻膠層為掩膜,依次刻蝕摻雜區(qū)以及阱區(qū),在襯底內(nèi)形成第一開(kāi)口、以及位...
    • 本發(fā)明公開(kāi)一種靜態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器的讀取靜態(tài)噪聲容限測(cè)量方法、計(jì)算設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)。本發(fā)明獲取靜態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器的測(cè)試數(shù)據(jù),提取各芯片的測(cè)試電壓;然后對(duì)測(cè)試電壓進(jìn)行格式轉(zhuǎn)換;對(duì)格式轉(zhuǎn)換后測(cè)試電壓利用曲線擬合插值獲取第一擬合曲線和第二擬合曲線...
    • 一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及其形成方法,其中方法包括:形成襯底結(jié)構(gòu),襯底結(jié)構(gòu)包括漏摻雜區(qū)和位于漏摻雜區(qū)上的漂移區(qū),襯底結(jié)構(gòu)包括相鄰的第一區(qū)和第二區(qū),第一區(qū)和第二區(qū)沿平行于第一面或第二面的方向排布;在第一區(qū)的漂移區(qū)內(nèi)形成第一體區(qū),第一體區(qū)自第一面向第...
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