利用平臺式機床在扁平基片上印刷圖案層的方法和設備技術

一種印刷圖案層的方法包括（圖４中的步驟３１）利用其上面的對準標記來檢測在印刷機（參見圖５）的機床上的子臺上支撐的底板的位置和對準。根據所檢測的樣品玻璃的區域的對準和位置以及底板的位置和對準（圖４中的步驟３２），調整子臺的位置。然后，對底板上墨（參見圖４的步驟３３）。作為選擇，步驟３２和３３（順序）可以顛倒。將墨水從印刷機子臺上支撐的底板傳送（圖４中的步驟３４）到（滾筒）毯１６（參見圖２（ｂ））。毯１６上的材料被傳送（步驟３５，圖４）到樣品玻璃上（如圖２（ｃ）中）。新穎的印刷機床（４１，圖５）包括可單獨在公共平面上對準的子臺（圖５中的４２－４５）的陣列。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及把圖案層(patterned layer)印刷到基片(substrate)上的方法，并涉及印刷機床(bed)和涉及印刷機。
技術介紹
TFT被廣泛用于包括有源矩陣LCD(AMLCD)的液晶和其它的平板顯示器，以控制或檢測顯示器中每個像素的狀態。TFT結構是通過連續地提供不同材料層而形成的。可以使用光刻法來以圖案裝飾(構圖)(pattern)這些層。作為選擇，可以利用印制的光刻(感光)膠層來以圖案裝飾這些層，或可以把圖案層本身直接印刷到基片上。現在，參照圖1和圖2描述一種合適的印刷技術。參見圖1，用于制造器件諸如薄膜晶體管的設備1包括印刷裝置2，例如照相凹版膠印機；用于支撐層結構4的裝置3，在這個實例中是剛性載物臺(stage)；用于相對層結構4移動印刷裝置1的裝置5，在這個實例中是電機；用于檢測印刷裝置1相對于層結構4的位置的裝置6，在這個實例中是光學顯微鏡和數字照相機；以及用于控制印刷裝置2和移動裝置5的裝置7，在這個實例中是編程的通用計算機。蝕刻在下游方向進行。印刷裝置2被安排為連續地印刷多個圖案層。使用膠印處理，并且每個層的印刷通常包括如下的三個步驟。參見圖2(a)，第一步驟包括上墨。圖案承載(carrying)裝置9在這個實例中是玻璃板形式的底板(cliché)，其包括被安排成定義圖案11的多個槽10。墨水12被施加到圖像承載裝置9的表面13，并且經常被稱作刮(墨)刀(doctor blade)(在該實例中是金屬刮刀)的填充裝置14越過圖案承載裝置9的表面13，以便利用墨水12來填充槽10，并從槽10之間的區域15中清除墨水12。參見圖2(b)，第二步驟包括從圖案承載裝置9傳送圖案11。圖案傳送裝置16(例如，具有大直徑圓筒形毯的形式(包括圍繞金屬滾筒固定的聚合物))通過滾動被施加在圖案承載裝置9的表面13，以便在每個槽10中拾取一些墨水12。通常，大約一半的墨水被提取。圖案11被保存在圖案傳送裝置15上。參見圖2(c)，第三步驟包括印刷圖案11。攜帶墨水12的圖案傳送裝置16例如通過滾動被施加到層結構14的表面17上。因而，墨水12被從圖案傳送裝置16傳送到層結構4的表面17。US-A-5352634描述了有源矩陣陣列的印刷。US-A-6576378描述了大規模LCD器件制造中對準標記的使用。US-A-5407763公開了成形標記的使用，以允許對準被檢測到。US-A-6583854和US-A-6146796公開了用于在較大顯示器件上中間裝配(interfit)標記圖案的技術。在制造用于電視機或計算設備顯示器的有源矩陣LCD屏幕時使用的層結構4例如被稱為樣品玻璃(mother glass)。常見的情況是，將多個離散陣列包括在單個樣品玻璃4上。在AMLCD顯示器的領域中，加工后的離散陣列可以被稱作“顯示器”，因為每個陣列涉及一個顯示器。在樣品玻璃上印刷時使用的底板通常至少與樣品玻璃一樣大，并且具有在其上面形成的相同數量的陣列。例如，可以利用其上面的16個陣列形成底板(和樣品玻璃)。可以使用大片玻璃來生產底板。存在樣品玻璃尺寸增加的趨勢。大于一平方米的樣品玻璃是公知的，這可以利用數十個離散陣列來提供。然而，隨著樣品玻璃尺寸增加，玻璃變形的程度也增加，這對于設計處理具有負面影響。特別地，AMLCD中層的不對準可以使性能和光學孔徑降級，并且隨著樣品玻璃尺寸增加，這使得避免降級變得更加困難。較之利用某些其它的層構圖技術，利用層印刷的效果較差，盡管印刷具有與之相關聯的明顯的成本優點。為了有助于對準沉積在樣品玻璃上的諸層，趨于在樣品玻璃4和在底板9上提供多個對準標記。圖3中示出了一種典型安排。在此，樣品玻璃或者底板20(它們都具有相同的總體布置)被顯示為具有第一至第四對準標記21-24和十六個陣列26，被安排為4深*4寬。底板9和樣品玻璃4上的對準標記的位置被檢測，并且在印刷之前，為了最佳匹配，按照需要，電調整底板和樣品玻璃彼此相對的位置，并且然后利用(滾筒)毯(blanket)16傳送圖案。這有助于確保在正確位置上印刷陣列26。
技術實現思路
根據本專利技術的第一方面，提供一種把圖案層印刷到基片上的方法，該方法包括檢測基片上多個區域之中每一個的對準；根據所檢測的對準，單獨定位印刷機的子臺(subbed)；把材料從子臺上支撐的底板傳送到公共載體(carrier)上；以及把材料從公共載體傳送到第一基片上。根據本專利技術的第二方面，提供一種把圖案層印刷在第一基片上的方法，該方法包括檢測第二基片上多個區域之中每一個的對準；根據所檢測的對準，單獨定位印刷機的子臺；把材料從子臺上支撐的底板傳送到公共載體上；以及把材料從公共載體傳送到第一基片上。這些方法能夠附加包括檢測子臺上所支撐的底板的對準，以及也根據底板的檢測對準來定位子臺。這允許補償子臺上底板的位置。在一個實施例中，使用方法來把墨水的層印刷在樣品玻璃基片上，盡管本專利技術具有比這更寬闊的應用。定位步驟可以包括調整子臺的位置和/或定向。本專利技術還提供一種基片，通過上述方法給該基片提供印刷的圖案層，并且本專利技術還提供一種包括這樣的基片的一部分的器件。本專利技術的第三方面提供一種印刷機床，包括可單獨在公共平面中對準的子臺的陣列。印刷機床可以例如包括四個或更多個單獨可對準子臺的陣列。然而，印刷機床可以包括兩個或三個子臺或者代之以任何其它數量的子臺。印刷機床最好可用于液晶顯示器例如有源矩陣的組成部件的印刷。子臺的對準可以包括調整子臺的位置和/或定向。本專利技術第四方面提供了一種印刷機，包括上述的機床以及可用于控制子臺對準的控制器。附圖說明現在，將參照附圖僅通過舉例來描述本專利技術的實施例，其中圖1是用于利用照相凹版膠印來制造器件的設備的示意圖；圖2(a)、2(b)和2(c)示出了利用圖1印刷設備實施的處理中的步驟；圖3示出了典型的底板或樣品玻璃布局；圖4是顯示根據本專利技術一個方面形成圖案層的方法的流程圖；圖5示意地圖示了在圖4方法中使用的并且根據本專利技術另一方面和印刷機；和圖6是顯示根據本專利技術一方面形成圖案層的方法的流程圖。具體實施例方式現在，將參照圖4描述根據本專利技術一個方面的印刷圖案層以及根據另一方面的利用印刷機床的方法。在此，該方法開始于步驟30，即檢測樣品玻璃上陣列的位置和對準。例如，樣品玻璃4(參見圖2(c))在概念上被分成四個區域，每個區域包含四個陣列。四個區域之中的每個具有與之相關聯的對準標記，以致于可以自動檢測每個區域的位置和對準，并由此可以檢測其中的陣列。然而，樣品玻璃4被保持為單個部件。位置和對準檢測可以以任何合適方式發生。在步驟31，在印刷機的機床的子臺上支撐的底板的位置和對準(下面參照圖5描述)是利用其上面的對準標記進行電子檢測的。在步驟32，根據所檢測的對準和樣品玻璃上區域的位置以及底板的位置和對準，調整子臺的位置。然后，在步驟33對底板上墨。作為選擇，步驟32和步驟33(的順序)可以顛倒，即，可以在調整子臺位置之前，對底板上墨。在步驟34，將墨水從印刷機子臺上支撐的底板傳送到(滾筒)毯16(如圖2(b)所示)。最后，在步驟35，把滾筒毯16上的材料傳送到樣品玻璃上(如圖2(c)所示)。在圖5中顯示了本專利技術一個方面的包括印刷機床41的印刷機40。印刷機40被本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種把圖案層印刷到基片（４）上的方法，該方法包括：檢測（３０）基片上多個區域之中每一個的對準；根據所檢測的對準，單獨地定位（３２）印刷機（４０）的子臺（４２－４５）；從子臺上支撐的底板傳送（３４）材料到公共載體（１６）上；和從公共載體（１６）傳送（３５）材料到基片上。

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...

【專利技術屬性】
技術研發人員：JA查普曼，
申請(專利權)人：皇家飛利浦電子股份有限公司，
類型：發明
國別省市：NL[荷蘭]