一種標記板的定位系統(tǒng)技術(shù)方案

本實用新型專利技術(shù)涉及一種標記板的定位系統(tǒng)，包括固定裝置、影像儀和帶有定位標記的標記板，通過所述影像儀探測得所述定位標記的位置信息，傳遞給所述固定裝置，用于精確固定所述標記板。本實用新型專利技術(shù)能夠在有限的空間內(nèi)，簡單實現(xiàn)標記板的定位要求，降低標記板的定位成本，提高定位精度。（*該技術(shù)在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【專利摘要】本技術(shù)涉及一種標記板的定位系統(tǒng)，包括固定裝置、影像儀和帶有定位標記的標記板，通過所述影像儀探測得所述定位標記的位置信息，傳遞給所述固定裝置，用于精確固定所述標記板。本技術(shù)能夠在有限的空間內(nèi)，簡單實現(xiàn)標記板的定位要求，降低標記板的定位成本，提高定位精度。【專利說明】一種標記板的定位系統(tǒng)
本技術(shù)微電子光刻設備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種標記板的定位系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
在微電子光刻設備制造領(lǐng)域，對準和調(diào)焦調(diào)平傳感器裝置在制造集成過程中，應用到一種對準和調(diào)焦調(diào)平的模擬硅片基準板，該板通過微納加工，在其表面刻有高精度對準標記和對準圖案；上述傳感器在集成裝配過程中使用該標記板進行零部件的精確定位和裝配，其中標記板安裝定位的精度直接影響傳感器集成后的測量精度，為此必須對該標記板進行精確定位。在傳感器集成過程中，需要建立該標記板上標記中心到傳感器安裝載體接口之間的對應坐標關(guān)系，一般標記板的材料選用低膨脹系數(shù)的熔石英作為基底材料，其上鍍有鋁膜或鉻金屬膜，加工精細標記圖案，完成標記刻蝕后，進行標記板的定位切割，最終交付成品使用。一般傳感器的工作距都較小，測量過程中就要求標記板和機械載體之間的空間有限，需要在有限空間布置標記板的位置。現(xiàn)有技術(shù)中，對準傳感器采用衍射光柵標記，調(diào)焦調(diào)平傳感器采用方形光斑對準標記，在集成過程中標記板I與傳感器載體2的位置關(guān)系如圖1a和Ib所示，即將切割后的標記板I裝在傳感器載體2上，并利用標記板I上的十字標記3進行位置標定和調(diào)整，具體請參考圖2，標記的精度通過銷4或者凸緣面定位安裝傳遞到傳感器載體2的接口處，作為傳感器集成過程中定位基準，該方式只能夠滿足低精度標記板定位方式。其安裝過程中精度不高的原因主要存在以下尺寸鏈環(huán)節(jié):1.標記板I的標記刻蝕精度很高，但因玻璃材料切割加工困難，板最終的外形尺寸切割精度不高；2.傳感器載體2接口處自身加工精度容易出現(xiàn)偏差；綜上所述，現(xiàn)有安裝過程中，標記板I定位精度受到加工精度影響，要想提高定位精度，加工成本會很高。另外一種定位安裝方式是通過修磨標記板I和傳感器載體2之間的轉(zhuǎn)接板，實現(xiàn)定位方式，該安裝方式精度會提高，但修磨費時，一般使用加工中心進行六自由度的精銑，制造成本高，同時重復定位引入誤差。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本技術(shù)提供一種標記板的定位系統(tǒng)，以降低標記板定位成本，提高標記板的定位精度。為解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)提供一種標記板的定位系統(tǒng)，包括固定裝置、影像儀和帶有定位標記的標記板，通過所述影像儀探測得所述定位標記的位置信息，傳遞給所述固定裝置，用于精確固定所述標記板。較佳地，所述固定裝置包括支撐架，所述支撐架上固定有X向定位模塊、Y向定位模塊以及Z向定位模塊，其中，所述標記板放置于所述支撐架上；所述X向定位模塊包括X向頂出單元和第一壓簧，所述X向頂出單元沿所述標記板的X向設置，所述第一壓簧與所述X向頂出單元相對設置；所述Y向定位模塊包括Y向頂出單元和第二壓簧，所述Y向頂出單元沿所述標記板的Y向設置，所述第二壓簧與所述Y向頂出單元相對設置；所述Z向定位模塊包括Z向頂出單元和第三壓簧，所述Z向頂出單元沿所述標記板的Z向設置，所述第三壓簧與所述Z向頂出單元相對設置。較佳地,所述X/Y向頂出單元包括相應向頂塊、相應向支架以及相應向微分頭,所述相應向支架固定于所述支撐架上，所述相應向微分頭的定端固定于所述相應向支架上，動端與所述相應向頂塊固定連接，所述相應向頂塊與所述標記板相接觸。較佳地，所述X/Y向頂出單元還包括相應向鎖緊螺釘，所述相應向鎖緊螺釘安裝于所述相應向頂塊上。較佳地，所述X向頂出單元為兩組，兩組X向頂出單元分設于標記板的兩角處。較佳地，所述第一壓簧通過所述第一壓簧支架固定于所述支撐架上；所述第二壓簧通過所述第二壓簧支架固定于所述支撐架上。較佳地，所述第三壓簧固定于所述Y向支架和/或第二壓簧支架上。較佳地，所述Z向頂出單元包括調(diào)整螺釘以及Z向鎖緊螺釘，所述調(diào)整螺釘安裝于所述支撐架上且與所述標記板接觸，所述Z向鎖緊螺釘安裝于所述調(diào)整螺釘上。較佳地，所述調(diào)整螺釘采用球頭銷。較佳地，所述Z向頂出單元至少為三組，Z向頂出單元分布于所述標記板的底面。較佳地，所述標記板的定位標記分為中間區(qū)域刻的測量標記和在所述標記板四周刻的十字對準標記。較佳地，與橫切割邊相近的2個所述十字對準標記的連線垂直于與豎切割邊相近的2個所述十字對準標記的連線。較佳地，上下對應的2個所述十字對準標記的連線垂直于左右對應的2個所述十字對準標記的連線。較佳地，所述影像儀探測得所述測量標記和所述十字對準標記的位置信息。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)提供的標記板的定位系統(tǒng)，包括固定裝置、影像儀和帶有定位標記的標記板，通過所述影像儀探測得所述定位標記的位置信息，傳遞給所述固定裝置，用于精確固定所述標記板。本技術(shù)能夠在有限的空間內(nèi)，簡單實現(xiàn)標記板的定位要求,降低標記板的定位成本,提高定位精度。【專利附圖】【附圖說明】圖1a?Ib為現(xiàn)有技術(shù)中標記板與傳感器載體的位置關(guān)系示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中標記板的定位系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本技術(shù)一【具體實施方式】的標記板的定位系統(tǒng)安裝于傳感器載體的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本技術(shù)一【具體實施方式】的標記板的定位系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本技術(shù)一【具體實施方式】的標記板的定位系統(tǒng)中標記板的示意圖。圖1a?2中:1-標記板、2_傳感器載體、3_十字標記、4_銷；圖3?5中:10_支撐架、20-X向頂出單元、21-第一壓簧、22_X向頂塊、23_X向支架、24-X向微分頭、25-X向鎖緊螺釘、26-第一壓簧支架、30-Y向頂出單元、31-第二壓簧、32-Y向頂塊、33-Υ向支架、34-Υ向微分頭、35_Υ向鎖緊螺釘、36-第二壓簧支架、40-Ζ向頂出單元、41-第三壓簧、42-調(diào)整螺釘、43-Ζ向鎖緊螺釘、50-標記板、51-測量標記、52-十字對準標記、53-切割邊。【具體實施方式】為使本技術(shù)的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加清晰易懂，下面結(jié)合附圖對本技術(shù)的【具體實施方式】做詳細的說明。需說明的是，本技術(shù)附圖均采用簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本技術(shù)實施例的目的。本技術(shù)提供的標記板的定位系統(tǒng)，如圖3?5所示，包括固定裝置、影像儀(圖中未示出)和帶有定位標記的標記板50，通過所述影像儀探測得所述定位標記的位置信息，傳遞給所述固定裝置，用于精確固定所述標記板50。具體地，本技術(shù)先將標記板50上的定位標記與切割邊53進行精確測量，在裝配過程中可以消除切割精度帶來的影響。測量時，通過將標記板50放在影像儀上測量，通過投影光的反射或者透射方式尋找定位標記和切割邊53的外緣，從而將定位標記的定位轉(zhuǎn)移到標記板50的機械邊緣；然后將標記板50安裝在固定裝置上，對標記板50進行定位調(diào)整，調(diào)整的過程中，將載體安放在三座標儀上，通過三座標的探頭測量標記板50外緣切割邊53到載體的接口之間的定位精度，該過程邊測邊調(diào)，直到達到要求的標記定位精度。通過以上方式可以完成標記到載體機械基準的定位精度，該精度的高低取決于影像儀和三座標的測量精度，操作簡單，成本低廉。較佳地，所述固定裝置包括支撐架10，所述支撐架10上固本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護點】
一種標記板的定位系統(tǒng)，包括固定裝置、影像儀和帶有定位標記的標記板，其特征在于，通過所述影像儀探測得所述定位標記的位置信息，傳遞給所述固定裝置，用于精確固定所述標記板。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：程海林，
申請(專利權(quán))人：上海微電子裝備有限公司，上海微高精密機械工程有限公司，
類型：新型
國別省市：上海;31