低溫分子篩吸附泵裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術屬于真空泵技術領域，具體為一種低溫分子篩吸附泵裝置。其結構主要包括機械泵、波紋管、低溫分子篩吸附泵，真空管路、電阻/電離復合型真空計和復合型真空計控制器；機械泵通過波紋管同真空管路連接；低溫分子篩吸附泵同真空管路連接；所述電阻/電離復合型真空計同真空管路連接，并且同復合型真空計控制器連接。低溫分子篩吸附泵包括低溫吸附泵腔體和液氮杜瓦。本實用新型專利技術的優點在于制備粉末原料時，低溫分子篩吸附泵與前級的機械泵相結合，滿足了粉末樣品在抽氣密封過程中對高真空的需求，并且能在較長的時間內持續性地獲得高真空狀態；且在對粉末樣抽氣時損耗比較小，延長了壽命降低應用成本；并能在任意工作壞境下使用，工作極限高，操作方便。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
【專利摘要】本技術屬于真空泵
，具體為一種低溫分子篩吸附泵裝置。其結構主要包括機械泵、波紋管、低溫分子篩吸附泵，真空管路、電阻/電離復合型真空計和復合型真空計控制器；機械泵通過波紋管同真空管路連接；低溫分子篩吸附泵同真空管路連接；所述電阻/電離復合型真空計同真空管路連接，并且同復合型真空計控制器連接。低溫分子篩吸附泵包括低溫吸附泵腔體和液氮杜瓦。本技術的優點在于制備粉末原料時，低溫分子篩吸附泵與前級的機械泵相結合，滿足了粉末樣品在抽氣密封過程中對高真空的需求，并且能在較長的時間內持續性地獲得高真空狀態；且在對粉末樣抽氣時損耗比較小，延長了壽命降低應用成本；并能在任意工作壞境下使用，工作極限高，操作方便。【專利說明】低溫分子篩吸附泵裝置
本技術屬于真空泵
，具體涉及一種低溫吸附泵裝置，尤其涉及一種靠分子篩進行物理冷卻吸附實現抽氣的真空泵組。本技術主要應用于粉末樣品制備時，需要對粉末原料進行真空抽氣密封的苛刻環境。
技術介紹
本技術的科研課題組在進行樣品合成制備過程中，常常涉及需要對配置的粉末原料進行真空抽氣密封，然后再將密封完成的原料放置在設定的溫度環境進行反應生長。這種在樣品生長前期的密封對真空度的需求高于機械泵的極限真空(10—1 Pa量級)，因此無法單純使用機械泵得以實現。雖然目前市場上用于高真空獲得的泵組種類繁多，在結構和功能方面也比較完善；但這些真空泵組系統一般采用分子泵作為高真空抽氣，這在常規原料的制備中，尤其是制備粉末原料時，受到極大的限制:1、分子泵組在對粉末樣抽氣時損耗比較厲害，大大降低其壽命而提高應用成本；2、使用其它離子泵、冷凝泵等高真空泵在這種比較惡劣的壞境下使用，很容易達到工作極限，降低其使用壽命，這給科研工作帶來了極大的不便。
技術實現思路
本技術的目的是提供一種不易損耗、低成本、操作便捷的低溫分子篩吸附泵裝置；該裝置能最大限度地提高分子篩快速吸附的能力以及快速升溫活化循環利用的能力。本技術所提供的低溫分子篩吸附泵裝置，是利用低溫分子篩吸附泵，并結合預抽氣的前級機械泵、波紋管、整體抽氣管路、電阻/電離復合型真空計等部件搭建一種低溫分子篩吸附泵裝置；其結構主要包括機械泵1、波紋管2、低溫分子篩吸附泵3、真空管路4、電阻/電離復合型真空計5和復合型真空計控制器6 ;其中:所述機械泵I通過波紋管2與真空管路4連接；所述低溫分子篩吸附泵3與真空管路4連接；所述電阻/電離復合型真空計5與真空管路4連接，并且通過配套的電線同復合型真空計控制器6連接；所述的低溫分子篩吸附泵3包括低溫吸附泵腔體9和液氮杜瓦10 ;所述低溫吸附泵腔體9主要由一個圓柱桶形的真空腔11和一個圓柱形的多孔網12組成；所述多孔網12嵌套在真空腔11內，多孔網12網外與真空腔11內壁之間區域放置分子篩；所述真空腔11的主體浸泡在液氮杜瓦10的液氮中，真空腔11的開口端伸出液氮杜瓦10外；低溫分子篩吸附泵3通過真空腔11的開口端同真空管路4連接；所述的真空管路4上還設置有一個用于連接待抽樣品的樣品管路接口 18，一個用于控制樣品管路接口 18開合的第一直通閥門14，一個控制低溫分子篩吸附泵3與真空管路4連通/斷開的開關角閥15，以及一個用于控制波紋管2與真空管路4連通/斷開的第二直通閥門17。本技術中，真空管路4上還設有一個用于調節進氣的vent閥門16，可以釋放真空管路4內的真空狀態。本技術中，在所述待抽樣品管路接口 18處安裝需要抽真空的樣品，機械泵I運轉，打開第二直通閥門17對真空管路4抽氣，緩慢打開第一直通閥門14，樣品內的空氣通過樣品管路接口 18進入真空管路4中，電阻/電離復合型真空計5用于測量真空管路4中真空度，電阻/電離復合型真空計5將測量的相關信息反饋到復合型真空計控制器6并實時顯示出來，當真空管路4中的真空度達到機械泵的極限真空條件后，關閉第二直通閥門17 ;在低溫吸附泵腔體9通過液氮杜瓦10內液氮預冷的前提下，打開開關角閥15，通過低溫吸附泵腔體9內的分子篩對氣體進行吸附，實現對真空管路4的進一步抽氣。本技術中，完成樣品制備的抽氣操作后，打開vent閥門釋放真空狀態，當整個裝置內外壓強相同后，便可以進行各個組件的拆卸。本技術的優點在于制備粉末原料時，低溫分子篩吸附泵與前級的機械泵相結合，滿足了粉末樣品在抽氣密封過程中對高真空的需求，并且能在較長的時間內持續性地獲得高真空狀態；且在對粉末樣抽氣時損耗比較小，延長了壽命降低應用成本；并能在任意工作壞境下使用，工作極限高，操作方便。【專利附圖】【附圖說明】圖1為本技術的整體結構圖示。圖2為本技術的分子篩吸附泵體和真空管路結構圖示。圖3為本技術的低溫吸附泵腔體的結構圖示。圖中標號:1為機械泵、2為波紋管、3為低溫分子篩吸附泵，4為真空管路，5為電阻/電離復合型真空計，6為復合型真空計控制器，7為支架，8為鋁板，9為低溫吸附泵腔體，10為液氮杜瓦，11為真空腔，12為多孔網，13為轉接法蘭，14為第一直通閥門，15為開關角閥，16為vent閥門，17為第二直通閥門，18為樣品管路接口。【具體實施方式】為了更好的理解本技術的上述目的，下文將結合附圖，詳細敘述本技術。機械泵I作為一個前級真空泵，通過波紋管2同真空管路4的第二直通閥門17連接；真空管路4上根據需要設置若干分支管；其中，一個分支管端口設置開關角閥15，低溫分子篩吸附泵3通過低溫吸附泵腔體9的真空腔11開口端，同開關角閥15連接；電阻/電離復合型真空計5設置在真空管路4的其它分支管上，并且通過配套的電線同復合型真空計控制器6連接，用來測量真空管路4中的真空度；如圖1所示。其中，所述真空管路4主體可以由一個三通管和一個五通管組成；其中，三通管的第一通路和五通管的第一通路互相對接；三通管的第二通路上設置一復合型真空計，三通管的第三通路同第一直通閥門14的一端口連接，第一直通閥門14的另一端口同樣品管路接口 18連接；五通管的第二通路上設置另一復合型真空計，五通管的第三通路同開關角閥15連接，五通管的第四通路上設置一個vent閥門16，五通管的第五通路同第二直通閥門17的一端口連接，第二直通閥門17的另一端口與波紋管2連接；如圖2所示。本技術中，所述電阻/電離復合型真空計5用于真空度的測量，以實現大氣壓到10_5 Pa量級內真空度的測量。本技術中，所述機械泵I和波紋管2之間通過標準的KF25 口、利用密封圈和卡箍相互連接。本技術中，所述機械泵1、波紋管2、低溫分子篩吸附泵3、真空管路4和真電阻/電離復合型真空計5通過設置一個支架7支撐起來；所述支架7采用工業鋁型材搭建，整個支架由45mm*45mm的標準鋁型材構成，通過配套角件和螺絲實現鋁型材之間的直角連接。支架構成的上表面用一塊鋁板8，復合型真空計控制器6嵌于上表面；如圖1所示。本技術中，所述低溫吸附泵腔體9，可通過在真空腔11開口處設置一個轉接法蘭13，再與開關角閥15密封連接，轉接法蘭13的規格為CF100到KF25，以配合不同尺寸的開關角閥15，如圖2所示。本技術中，所述低溫吸附泵腔體9的空間設計方式充分考慮到分子篩導熱差的特性本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種低溫分子篩吸附泵裝置，其特征在于主要包括機械泵（1）、波紋管（2）、低溫分子篩吸附泵（3）、真空管路（4）、電阻/電離復合型真空計（5）和復合型真空計控制器（6）；其中:所述機械泵（1）通過波紋管（2）同真空管路（4）連接；所述低溫分子篩吸附泵（3）同真空管路（4）連接；所述電阻/電離復合型真空計（5）同真空管路（4）連接，并且通過配套的電線同復合型真空計控制器（6）連接；所述的低溫分子篩吸附泵（3）包括低溫吸附泵腔體（9）和液氮杜瓦（10）；所述低溫吸附泵腔體（9）主要由一個圓柱桶形的真空腔（11）和一個圓柱形的多孔網（12）組成；所述多孔網（12）嵌套在真空腔（11）內，多孔網（12）網外與真空腔（11）內壁之間區域放置分子篩；所述真空腔（11）的主體浸泡在液氮杜瓦（10）的液氮中，真空腔（11）的開口端伸出液氮杜瓦（10）外；低溫分子篩吸附泵（3）通過真空腔（11）的開口端同真空管路（4）連接；所述的真空管路（4）上還設置有一個用于連接待抽樣品的樣品管路接口（18），一個用于控制樣品管路接口（18）開合的第一直通閥門（14），一個控制低溫分子篩吸附泵（3）與真空管路（4）連通/斷開的開關角閥（15），以及一個用于控制波紋管（2）與真空管路（4）連通/斷開的第二直通閥門（17）。...

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：沈曉萍，葛青親，封東來，謝斌平，趙嘉峰，
申請(專利權)人：復旦大學，
類型：新型
國別省市：上海;31