多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備制造技術

本實用新型專利技術涉及一種多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備，主要包括轉動架、多個晶粒取放裝置、多個進料裝置、多個檢測站以及多個分類站。其中，多個晶粒取放裝置等距地環設于轉動架上；多個進料裝置、多個檢測站和多個分類站等距地環設于該轉動架的徑向延伸方向上。其中，晶粒取放裝置到進料裝置取得晶粒后，轉動架旋轉而將晶粒移載至檢測站進行測試，接著又旋轉移載晶粒至分類站放置晶粒，而分類站對晶粒進行分類。據此，本實用新型專利技術以同時多軌進料以及旋轉進給移載的方式，逐一地對晶粒進行測試和分類，實為一高效率的連續檢測和分類技術。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備
本技術涉及一種多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備，特別涉及一種適用于檢測半導體晶粒的檢測設備。
技術介紹
半導體晶粒在制造過程中通常會經過兩次檢測，一次是半成品檢測，另一次是成品檢測。其中，半成品檢測通常針對完成基本半導體制程后的晶粒，其主要目的在于先行篩檢過濾瑕疵晶粒，以免瑕疵晶粒流入后續包括黏晶(die mount)、打線(wire bond)、封膠(mold)、以及印字(mark)等制程，造成成本上無謂的耗費，并且影響良品率。公知的晶粒檢測設備可參考中國臺灣公告第M439261號專利。S卩，如圖1所示，其公開一種V型旋臂90，每一個旋臂各裝設有取放裝置91、92。當其中一個取放裝置91在進給裝置93吸取晶粒后，便移到進給裝置93 —側的探針座94上進行測試。此時，另一個取放裝置91則回到進給裝置93上吸取下一個晶粒，據此V型旋臂90不斷地往復擺轉進給及測試。此外，當取放裝置91上的晶粒測試完成后，便直接使完成測試的晶粒掉落于下方的分料裝置(圖中未示出)，以對該完成測試的晶粒進行分類。據此，公知晶粒檢測設備以上述循環擺轉的方式來進行測試，盡管其測試的準確率或測試效率都已經達到相當穩定的程度。但是，當面臨更高測試速度的需求之下，公知晶粒檢測設備已面臨瓶頸，且無法再明顯提升。有鑒于此，一種可大幅提高檢測速度，又具備彈性擴充功能的晶粒檢測設備，實為目前產業上的一種迫切需要。
技術實現思路
本技術的主要目的在于提供一種多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備，其能多軌晶粒同時進料、同時移載晶粒、同時測試晶粒以及同時分類晶粒，且每一旋轉移載的角度相同，可顯著地縮短移載時間，相較于公知的晶粒檢測設備，能以數倍的方式大幅提升檢測速度，且更為彈性，可視實際需求任意擴充或變更各種測試功能。為實現上述目的，本技術的多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備主要包括轉動架、多個晶粒取放裝置、多個進料裝置、多個檢測站以及多個分類站。其中，轉動架包括中心軸，而轉動架沿著中心軸旋轉；多個晶粒取放裝置等距地環設于轉動架上；多個進料裝置等距地環設于該轉動架的徑向延伸方向上，且每一進料裝置鄰近轉動架的一側包括一晶粒拾取區；多個檢測站與多個分類站也等距地環設于轉動架的徑向延伸方向上。其中，多個晶粒取放裝置分別到多個進料裝置的晶粒拾取區上取得一個晶粒后，轉動架旋轉，而多個晶粒取放裝置移載晶粒至多個檢測站進行測試，接著轉動架又旋轉，而多個晶粒取放裝置移載晶粒至多個分類站放置晶粒，由多個分類站對晶粒進行分類。據此，本技術所提供的多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備可利用轉動架以不斷地旋轉進給移載的方式，逐一地將晶粒由進料裝置搬運至檢測站進行測試，當測試完畢又將晶粒搬運至分類站進行分類，實為一高效率的連續檢測和分類技術。此外，本技術又以同時多軌進料的方式，大幅提高了測試產能。較優選的是，本技術的多個進料裝置包括第一進料裝置和第二進料裝置，其遙遙相對地設置于轉動架的兩側。換言之，本技術可以采取雙軌進料的方式，而所述兩個進料裝置之間的夾角可為180度，據此相較于公知的單軌進給測試的方式，本技術可提高兩倍以上的測試產能，且體積上也不致增加太多。不過，本技術不受雙軌進料方式所限，也可為三軌進料、四軌進料或其它的多軌進料，其中三軌進料方式時兩個相鄰的進料裝置之間的夾角可為120°，四軌進料方式時兩個相鄰的進料裝置之間的夾角可為90。。再者，本技術的每一進料裝置可包括震動喂料盤、進料軌道以及回料軌道，而震動喂料盤可包括喂料口，其與進料軌道連通，且晶粒拾取區可位于進料軌道上與震動喂料盤遙遙相對的一側，另外回料軌道可設置于進料軌道的下方，并用以承接自進料軌道掉落的晶粒。此外，本技術的每一檢測站可包括探針座以及至少一個探針，而所述至少一個探針的一側可固定于探針座，另一側可自探針座的側端凸伸露出；其中，多個晶粒取放裝置移載晶粒至所述至少一個探針的上方并與所述至少一個探針電性接觸。另外，本技術的每一晶粒取放裝置可包括吸嘴以及升降機構，而升降機構可組裝于轉動架上并驅使吸嘴上升或下降。再者，本技術的每一分類站可包括旋轉分料管以及多個容倉，旋轉分料管可包括入料口和出料口，而入料口可與旋轉分料管的出料口連通，且旋轉分料管可旋轉并使出料口對準多個容倉中的一個；其中多個晶粒取放裝置旋轉移載晶粒至入料口并放置晶粒。另外，本技術的每一分類站還可包括轉動驅動器，其連接并驅動旋轉分料管旋轉。又，本技術的多個檢測站可包括多個第一檢測站以及多個第二檢測站，而所述多個進料裝置、多個第一檢測站、多個第二檢測站以及多個分類站可分別依序地布設于轉動架的徑向延伸的環周方向上。而且，本技術的轉動架可沿著中心軸朝同一旋轉方向步進式地旋轉。【附圖說明】圖1為公知的晶粒檢測設備。圖2為本技術第一實施例的俯視示意圖。圖3為本技術第一實施例的俯視局部放大圖。圖4為本技術第一實施例的進料裝置的晶粒拾取區的側視圖。圖5為本技術第一實施例的檢測站的側視圖。圖6為本技術第一實施例的分類站的側視圖。圖7為本技術第二實施例的俯視示意圖。圖8為本技術第三實施例的俯視示意圖。【具體實施方式】本技術的多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備在本實施例中被詳細描述之前，要特別注意的是，在以下的說明中，類似的組件將以相同的組件符號來表示。以下對本技術的第一實施例以雙軌進料方式進行說明，請同時參考圖2?圖3，圖2為本技術第一實施例的俯視圖，圖3為本技術第一實施例的俯視局部放大圖。圖中顯示有轉動架2，其包括中心軸21，且轉動架2沿著中心軸21旋轉。在本實施例中，轉動架2是受致動器(圖中未示)驅動而沿著中心軸21朝同一旋轉方向步進式地旋轉。再者，兩組晶粒取放裝置3包括第一進料裝置41以及第二進料裝置42，其等距地環設于轉動架2的徑向延伸方向上，S卩，以180°夾角的方式遙遙相對地設置于轉動架2外的相對應的兩側。在本實施例中，每一進料裝置4包括震動喂料盤43、進料軌道44以及回料軌道45，而震動喂料盤43包括喂料口 431，其與進料軌道44連通。而且，進料軌道44鄰近轉動架2的一側包括晶粒拾取區40，即晶粒拾取區40位于進料軌道44上與震動喂料盤43遙遙相對的一側。至于回料軌道45，其設置于進料軌道44的下方，用以承接自進料軌道44掉落的晶粒C。請再一并參考圖4，圖4為本技術第一實施例的進料裝置4的晶粒拾取區40的側視圖。其中，在轉動架2上等距地環設有八組晶粒取放裝置3。如圖4所示，在本實施例中，每一晶粒取放裝置3包括吸嘴31以及升降機構32，而升降機構32組裝于轉動架2上并可驅使吸嘴31上升或下降。請再一并參考圖5，圖5為本技術第一實施例的檢測站5的側視圖。如圖2中所示，本實施例的檢測站5包括兩個第一檢測站53和兩個第二檢測站54，而這些檢測站分別依序地布設于轉動架2的徑向延伸的環周方向上，且位于進料軌道44的一側。其中，第一檢測站53以及第二檢測站54分別對晶粒C進行兩種不同的測試。不過，本技術并不以此為限，也可為單一檢測站或其它多個檢測站的形式。此外，在本實施例中，每一檢測站5包括探針座51、兩根探針52，而兩根本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備，包括：轉動架，其包括中心軸，該轉動架沿著該中心軸旋轉；多個晶粒取放裝置，其等距地環設于該轉動架上；多個進料裝置，其等距地環設于該轉動架的徑向延伸方向上，每一進料裝置鄰近該轉動架的一側包括一晶粒拾取區；多個檢測站，其等距地環設于該轉動架的徑向延伸方向上；以及多個分類站，其等距地環設于該轉動架的徑向延伸方向上；其中，該多個晶粒取放裝置分別到該多個進料裝置的所述晶粒拾取區上取得晶粒后，該轉動架旋轉，而該多個晶粒取放裝置將該晶粒移載至所述多個檢測站進行測試，該轉動架又旋轉，而所述多個晶粒取放裝置移載該晶粒至所述多個分類站放置該晶粒，所述多個分類站對該晶粒進行分類。

【技術特征摘要】
2013.11.11 TW 1021408131.一種多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備，包括: 轉動架，其包括中心軸，該轉動架沿著該中心軸旋轉； 多個晶粒取放裝置，其等距地環設于該轉動架上； 多個進料裝置，其等距地環設于該轉動架的徑向延伸方向上，每一進料裝置鄰近該轉動架的一側包括一晶粒拾取區； 多個檢測站，其等距地環設于該轉動架的徑向延伸方向上；以及 多個分類站，其等距地環設于該轉動架的徑向延伸方向上； 其中，該多個晶粒取放裝置分別到該多個進料裝置的所述晶粒拾取區上取得晶粒后，該轉動架旋轉，而該多個晶粒取放裝置將該晶粒移載至所述多個檢測站進行測試，該轉動架又旋轉，而所述多個晶粒取放裝置移載該晶粒至所述多個分類站放置該晶粒，所述多個分類站對該晶粒進行分類。2.如權利要求1所述的多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備，其中，所述多個進料裝置包括第一進料裝置和第二進料裝置，在該轉動架外側相對地設置。3.如權利要求1所述的多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備，其中，每一進料裝置包括震動喂料盤和進料軌道，該震動喂料盤包括喂料口，其與該進料軌道連通，所述晶粒拾取區位于該進料軌道上與該震動喂料盤相對的一側。4.如權利要求3所述的多軌進料的旋轉式晶粒檢測設備，其中，每一進料裝置還包括回料軌道，其設置于該進料軌道下...

【專利技術屬性】
技術研發人員：黃德崑，
申請(專利權)人：臺北歆科科技有限公司，
類型：新型
國別省市：中國臺灣;71