一種氧含量檢測裝置制造方法及圖紙

本實用新型專利技術涉及半導體工藝設備技術領域，尤其涉及一種氧含量檢測裝置。該氧含量檢測裝置包括氧氣分析儀和一個或多個控制系統(tǒng)，所述氧氣分析儀通過所述控制系統(tǒng)與檢測區(qū)域連接。本實用新型專利技術的氧含量檢測裝置既可以檢測到微環(huán)境傳片潔凈區(qū)域內的氧含量，也可以檢測到第一硅片出入口區(qū)域和第二硅片出入口區(qū)域內部的氧含量，滿足半導體工藝制程的要求，結構簡單，也可降低設備成本。（*該技術在2023年保護過期，可自由使用*）

【技術實現(xiàn)步驟摘要】
一種氧含量檢測裝置
本技術涉及半導體工藝設備
，尤其涉及一種氧含量檢測裝置。
技術介紹
在半導體工藝設備中，要求在硅片暴露區(qū)域需要較低的含氧量，以保證生產(chǎn)出的硅片質量，因此實現(xiàn)硅片暴露區(qū)域內氧含量精確檢測至關重要。硅片的暴露區(qū)域有兩部分，一是升降舟的微環(huán)境傳片潔凈區(qū)域，另一個是微環(huán)境傳片潔凈區(qū)域與硅片傳送盒之間的硅片出入口區(qū)域。傳統(tǒng)的半導體設備采用一個氧氣分析儀，只檢測升降舟的微環(huán)境區(qū)域，不檢測硅片出入口區(qū)域的氧含量數(shù)值。當使用傳統(tǒng)方法時，如果硅片出入口區(qū)域的氧含量很高，達不到技術要求，被傳送的硅片將在此處受到嚴重的質量影響，且當硅片出入口區(qū)域的盒蓋打開之后，還會讓微環(huán)境的氧含量受到較大的波動，嚴重影響硅片傳送制程；如果采用兩個氧氣分析儀分別檢測以上區(qū)域的話，又會大大增加了設備的成本。
技術實現(xiàn)思路
(一)要解決的技術問題本技術要解決的技術問題是提供了一種氧含量檢測裝置，既可以滿足微環(huán)境傳片潔凈區(qū)域的氧含量檢測要求，又可以滿足微環(huán)境傳片潔凈區(qū)域與硅片傳送盒之間的硅片出入口區(qū)域的氧含量檢測要求，并且既可以實現(xiàn)單一檢測管路單獨控制，也可以實現(xiàn)同路檢測。(二)技術方案為了解決上述技術問題，本技術提供了一種氧含量檢測裝置，包括氧氣分析儀和一個或多個控制系統(tǒng)，所述氧氣分析儀通過所述控制系統(tǒng)與檢測區(qū)域連接。其中，所述控制系統(tǒng)還連接有控制器，所述控制器與所述氧氣分析儀連接。其中，所述氧氣分析儀、控制系統(tǒng)和檢測區(qū)域之間通過管路依次密封連接。其中，所述控制系統(tǒng)包括用于控制所述管路的通斷的開關模塊和用于操作開關模塊的執(zhí)行模塊，所述氧氣分析儀通過所述開關模塊與所述檢測區(qū)域連接，所述開關模塊與所述執(zhí)行模塊連接，所述執(zhí)行模塊與所述控制器連接。其中，所述開關模塊為閥門。其中，所述執(zhí)行模塊為氣動執(zhí)行機構。其中，所述管路的材質為316L不銹鋼。其中，所述開關模塊的材質為316L不銹鋼。(三)有益效果本技術的上述技術方案具有以下有益效果:本技術的氧含量檢測裝置包括氧氣分析儀和一個或多個控制系統(tǒng)，氧氣分析儀用于分析檢測區(qū)域的氧含量，氧氣分析儀通過一個或多個控制系統(tǒng)與檢測區(qū)域連接，從而保證檢測區(qū)域中的每一點均通過一條路線連接到氧氣分析儀上，從而通過每一路線上的控制系統(tǒng)控制該路線的通斷，來實現(xiàn)檢測區(qū)域內的不同位置的氧含量的檢測。本技術的氧含量檢測裝置既可以檢測到微環(huán)境傳片潔凈區(qū)域內的氧含量，也可以檢測到第一硅片出入口區(qū)域和第二硅片出入口區(qū)域內部的氧含量，滿足半導體工藝制程的要求，結構簡單，也可降低設備成本?！靖綀D說明】圖1為本技術實施例的氧含量檢測裝置的工作原理圖。其中，1:控制器；2:氧氣分析儀；3:第一執(zhí)行機構；4:第二執(zhí)行機構；5:第一閥門；6:第二閥門；7:第三閥門；8:第一檢測口 ；9:第二檢測口 ；10:第三檢測口 ；11:管路；12 --第一娃片傳送盒；13:第三執(zhí)行機構；14 --第一娃片出入口區(qū)域；15:第二娃片出入口區(qū)域；16:微環(huán)境傳片潔凈區(qū)域；17:第二娃片傳送盒?！揪唧w實施方式】下面結合附圖和實施例對本技術的實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本技術，但不能用來限制本技術的范圍。在本技術的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上；除非另有說明，“缺口狀”的含義為除截面平齊外的形狀。術語“上”、“下”、“左”、“右”、“內”、“外”、“前端”、“后端”、“頭部”、“尾部”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本技術和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本技術的限制。此外，術語“第一”、“第二”、“第三”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。如圖1所示，本實施例的氧含量檢測裝置包括氧氣分析儀2和一個或多個控制系統(tǒng)，氧氣分析儀2用于分析檢測區(qū)域的氧含量，氧氣分析儀2通過一個或多個控制系統(tǒng)與檢測區(qū)域連接，從而保證檢測區(qū)域內的每一點均通過一條路線連接到氧氣分析儀2上，從而通過每一路線上的控制系統(tǒng)控制該路線的通斷，來實現(xiàn)檢測區(qū)域內的不同位置的氧含量的檢測?？刂葡到y(tǒng)還連接有控制器1，控制器I與氧氣分析儀2連接，通過控制器I既可以操作控制系統(tǒng)，來確定該路線的開放或閉合，也可以控制氧氣分析儀2對檢測區(qū)域內的氣體進行氧含量的分析檢測，以實現(xiàn)檢測區(qū)域內的不同位置的氧含量的檢測，使得檢測過程自動化程度高，操作簡單方便。考慮本實施例的氧含量檢測裝置的實用性，優(yōu)選地，控制器I選用PLC控制器，其具有操作簡單方便，性價比高，抗干擾能力強，維修方便等特點。具體到本實施例中，氧氣分析儀2、控制系統(tǒng)和檢測區(qū)域之間通過管路11依次密封連接，保證連接處沒有氣體泄漏；控制系統(tǒng)、控制器I和氧氣分析儀之間分別通過線路連接，控制器I既可以通過操作控制系統(tǒng)來控制管路11的打開和閉合，也可以控制氧氣分析儀2對檢測區(qū)域內的氣體進行氧含量的檢測分析?？刂葡到y(tǒng)包括用于控制所述管路11的通斷的開關模塊和用于操作開關模塊的執(zhí)行模塊，氧氣分析儀2通過開關模塊與檢測區(qū)域連接，開關模塊與執(zhí)行模塊連接，執(zhí)行模塊與控制器(I)連接，通過控制器I控制執(zhí)行模塊，從而控制開關模塊來確定該路線的開放或閉合，以實現(xiàn)不同區(qū)域氧含量的檢測?？紤]本實施例的氧含量檢測裝置的實用性和可實現(xiàn)性，優(yōu)選地，開關模塊為閥門，執(zhí)行模塊為氣動執(zhí)行機構，均具有成本低，操作簡單，適應性強的特點。需要說明的是，開關模塊除選用閥門外，也可選用其他控制方式，只要滿足可以控制管路11的打開和閉合的要求即可；執(zhí)行模塊除選用氣動執(zhí)行機構外，也可以選用其他執(zhí)行機構，只要滿足可以操作開關模塊的要求即可。管路11和開關模塊的材質為316L不銹鋼，保證在氣體檢測過程中，管路11和開關模塊內不會有揮發(fā)性顆粒進入檢測區(qū)域內而影響工藝質量，同時也可以保證氧氣含量檢測的準確性。需要說明的是，管路11和開關模塊的材質除選用316L不銹鋼外，還可以選用其它材質，只要滿足保證在氣體檢測過程中，管路11和開關模塊內不會有揮發(fā)性顆粒進入檢測區(qū)域內而影響工藝質量的要求即可。具體到本實施例中，檢測區(qū)域包括三個部分，分別為第一硅片出入口區(qū)域14、第二硅片出入口區(qū)域15和微環(huán)境傳片潔凈區(qū)域16，氧氣分析儀2通過三個控制系統(tǒng)分別與三個區(qū)域連接，形成三條路線，將第一硅片出入口區(qū)域14、第二硅片出入口區(qū)域15和微環(huán)境傳片潔凈區(qū)域16的氣體輸送到氧氣分析儀2中進行檢測分析；每一條路線上的控制系統(tǒng)控制該路線的通斷，從而實現(xiàn)對該處氣體的氧分子含量的檢測分析的控制。檢測區(qū)域內分別設有第一檢測口 8、第二檢測口 9和第三檢測口 10，第一檢測口 8位于第一娃片傳送盒12所對應的第一娃片出入口區(qū)域14內，用于檢測第一娃片出入口區(qū)域14內的氧含量；第二檢測口 9位于第二硅片傳送盒17所對應的第二硅片出入口區(qū)域15內，用于檢測第二硅片出入口區(qū)域15內的氧含量；第三檢測口 10位于微環(huán)境傳片潔凈區(qū)域16內，用于檢測微環(huán)境傳片潔凈區(qū)域16內的氧含量。開關模塊包括第一閥門5、第二閥門6和第三閥門7，執(zhí)行模塊包括第一執(zhí)行機構3、第二執(zhí)行機構4和第三執(zhí)行機構13，第一執(zhí)行機構3與第一閥本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術保護點】
一種氧含量檢測裝置，包括氧氣分析儀(2)，其特征在于，還包括一個或多個控制系統(tǒng)，所述氧氣分析儀(2)通過所述控制系統(tǒng)與檢測區(qū)域連接，所述控制系統(tǒng)包括用于控制所述管路(11)的通斷的開關模塊和用于操作開關模塊的執(zhí)行模塊，所述氧氣分析儀(2)通過所述開關模塊與所述檢測區(qū)域連接，所述開關模塊與所述執(zhí)行模塊連接，所述執(zhí)行模塊與所述控制器(1)連接。

【技術特征摘要】
1.一種氧含量檢測裝置，包括氧氣分析儀(2)，其特征在于，還包括一個或多個控制系統(tǒng)，所述氧氣分析儀(2)通過所述控制系統(tǒng)與檢測區(qū)域連接，所述控制系統(tǒng)包括用于控制所述管路(11)的通斷的開關模塊和用于操作開關模塊的執(zhí)行模塊，所述氧氣分析儀(2)通過所述開關模塊與所述檢測區(qū)域連接，所述開關模塊與所述執(zhí)行模塊連接，所述執(zhí)行模塊與所述控制器(I)連接。2.根據(jù)權利要求1所述的氧含量檢測裝置，其特征在于，所述控制系統(tǒng)還連接有控制器(I)，所述控制器(I)與所述氧氣分析儀(...

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：王麗榮，董金衛(wèi)，孫少東，
申請(專利權)人：北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司，
類型：新型
國別省市：北京;11