本發明專利技術提供作為預處理能夠避免大量的水的使用和排水處理，并且能夠除去含有過氟化物的氣體中的固體成分，過濾器等難以堵塞的過氟化物處理裝置等。一種過氟化物處理裝置（2），其特征在于，具備：對裝置入口排氣進行預處理的預處理裝置（21）；對裝置入口排氣以及水進行加熱，并且利用催化劑水解過氟化物，生成含有酸性氣體的分解氣體的加熱單元（第1加熱器（221）、第2加熱器（222））；配置于加熱單元的前段以及后段，在裝置入口排氣以及水與分解氣體之間進行熱交換的熱交換器（231）；和將酸成分干式除去的酸成分除去裝置（232），預處理裝置（21）具備：對裝置入口排氣進行加熱，使裝置入口排氣中所含有的液體的水蒸發的入口加熱器（211）；和從裝置入口排氣除去固體成分的過濾器（212、212a）。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及例如為了分解處理過氟化物而使用的過氟化物處理裝置等。
技術介紹
例如，在半導體器件、液晶器件的制造工藝中，為了形成微細圖案，有時進行蝕刻、 清洗（cleaning)。此時，使用過氟化物的情況較多。另外，過氟化物一般較穩定，大多對人 體無害，所以除此之外還被用于例如空調的制冷劑等。 但是，在這些過氟化物中，當被釋放到大氣中時，對地球環境造成較大影響的過氟 化物較多。即，由于在大氣中長時間穩定地存在，具有地球溫室化系數大的性質，因此會成 為地球溫室化的一個因素。并且，如上述那樣，過氟化物一般較穩定，其影響長時間持續的 情況較多。 因而，為了不對地球環境造成影響，需要分解所使用過的過氟化物，使其成為對地 球環境無害的狀態而向大氣中釋放。 在專利文獻1中公開了一種含氟化合物的分解處理方法，S卩：在水蒸氣的存在下 使包含作為鹵素僅含有氟的氟化合物的氣流與如由A1和Ni、Al和Ζη、Α1和Ti形成的催化 劑那樣含有A1的催化劑在約200?800°C接觸，將氣流中的氟轉化為氟化氫。 另外，在專利文獻2中公開了一種過氟化物處理裝置，其特征在于，具備：過氟化 物分解裝置，其設置有催化劑層，被供給含有過氟化物的排氣(廢氣)，分解過氟化物；和酸 性物除去裝置，其除去在從過氟化物分解裝置排出的排氣中所含有的酸性物質與Ca鹽反 應而生成的第1反應生成物。 此外，專利文獻3公開了一種催化式PFC分解處理方法，其特征在于，是用催化劑 分解含有與水反應生成固形物的氣體成分、并且含有PFC的氣流中的PFC的方法，至少具 有：使氣流與水接觸，生成固形物的固形物生成工序；除去生成的固形物的固形物捕集工 序；以及PFC的催化分解工序。 在先技術文獻 專利文獻1 :日本特開2001-224926號公報 專利文獻2 :日本特開2008-246485號公報 專利文獻3 :日本特開2005-111423號公報
技術實現思路
在從半導體器件、液晶器件的制造工藝排出的氣體中，除了過氟化物之外還包含 固體成分和/或與水接觸而生成固體成分的物質。而且，之外分解過氟化物之前的預處理， 有下述的以往方法：使氣體與水或者堿水溶液接觸，生成鹵化硅之類的固體成分，由此除去 酸性氣體。但是，該情況下，當為了除去生成的固體成分而使用過濾器等時，存在水分在過 濾器等中凝結、容易使過濾器等在短期間內堵塞的問題。 本專利技術是鑒于現有技術存在的上述問題而完成的。 即，本專利技術的目的在于提供一種過氟化物處理裝置，其中，作為預處理，不需要通 過使含有過氟化物的氣體與水或者堿水溶液接觸而生成固體成分來除去酸性氣體的工序， 能夠避免多量的水的使用和排水處理，并且在含有過氟化物的氣體中，除了過氟化物之外， 即使還含有水分，過濾器等也難以堵塞。 這樣，根據本專利技術，提供一種過氟化物處理裝置，其特征在于，具備：對含有過氟化 物的氣體進行預處理的預處理單元；對含有過氟化物的氣體以及水進行加熱，并且利用預 先確定的催化劑水解過氟化物，生成含有酸性氣體的分解氣體的加熱單元；配置于加熱單 元的前段以及后段，在流入加熱單元之前的含有過氟化物的氣體以及水與從加熱單元流出 后的分解氣體之間進行熱交換的熱交換單元；和從自熱交換單元流出后的分解氣體干式除 去酸成分的酸成分除去單元，預處理單元具備：對含有過氟化物的氣體進行加熱，使含有過 氟化物的氣體中所含有的液體的水蒸發的預熱單元；和從利用預熱單元使液體的水蒸發了 的含有過氟化物的氣體除去固體成分的固體成分除去單元。 在此，優選預熱單元在含有過氟化物的氣體的流通路徑中配有翅片（翼片：fin)。 進而，優選：在預熱單元和固體成分除去單元之間導入空氣，并使被導入了空氣的含有過氟 化物的氣體在固體成分除去單元中通過。 另外，優選：熱交換單元使水混合到流入加熱單元之前的含有過氟化物的氣體中。 進而，優選：固體成分除去單元具備：用于除去固體成分的第1過濾器、和在進行 第1過濾器的更換時代替第1過濾器來除去固體成分的第2過濾器；優選：在含有過氟化物 的氣體的流通路徑下游側具備用于采用壓縮空氣進行反洗的壓縮空氣口。 另外，根據本專利技術，提供一種過氟化物處理方法，其特征在于，具備：對含有過氟化 物的氣體進行預處理的預處理工序；對含有過氟化物的氣體以及水進行加熱，并且利用預 先確定的催化劑水解過氟化物，生成含有酸性氣體的分解氣體的加熱工序；配置于加熱工 序的前段以及后段，在流入加熱工序之前的含有過氟化物的氣體以及水與從加熱工序流出 后的分解氣體之間進行熱交換的熱交換工序；和從自熱交換工序流出后的分解氣體干式除 去酸成分的酸成分除去工序，預處理工序具備：對含有過氟化物的氣體進行加熱，使含有過 氟化物的氣體中所含有的液體的水蒸發的預熱工序；和從通過預熱工序使液體的水蒸發了 的含有過氟化物的氣體除去固體成分的固體成分除去工序。 通過預處理單元具備：對含有過氟化物的氣體進行加熱，使含有過氟化物的氣體 中所含有的液體的水蒸發的預熱單元；和從利用預熱單元使液體的水蒸發了的含有過氟化 物的氣體除去固體成分的固體成分除去單元，在含有過氟化物的氣體中，除了過氟化物之 夕卜，即使還含有水分，固體成分除去單元也難以堵塞。 通過在預熱單元的含有過氟化物的氣體的流通路徑中配置翅片，含有過氟化物的 氣體在預熱單元內部被攪拌，能夠將熱充分傳遞到含有過氟化物的氣體。 通過在預熱單元和固體成分除去單元之間導入空氣，并使被導入了空氣的含有過 氟化物的氣體在固體成分除去單元中通過，在加熱單元中能夠抑制一氧化碳的生成，并且 對于空氣中所含有的固體成分也能夠除去。 通過熱交換單元使水混合到流入第1加熱單元之前的含有過氟化物的氣體中，由 此，能夠使用于過氟化物的水解的水更均勻地混合到含有過氟化物的氣體中。 通過固體成分除去單元具備：用于除去固體成分的第1過濾器、和在進行第1過濾 器的更換時代替第1過濾器來除去固體成分的第2過濾器，即使是對第1過濾器進行更換 時，通過使用第2過濾器，也能夠不停止裝置的運行來進行更換。 通過固體成分除去單元在含有過氟化物的氣體的流通路徑下游側具備用于采用 壓縮空氣進行反洗的壓縮空氣口，能夠不停止過氟化物的處理來繼續運行，并且能夠延長 過濾器等的更換時期。 通過預處理工序具備：對含有過氟化物的氣體進行加熱，使含有過氟化物的氣體 中所含有的液體的水蒸發的預熱工序；和從通過預熱單元使液體的水蒸發了的含有過氟化 物的氣體除去固體成分的固體成分除去工序，在含有過氟化物的氣體中，除了過氟化物之 夕卜，即使還含有水分，固體成分除去單元也難以堵塞。 【附圖說明】 圖1是對應用本實施方式的過氟化物處理裝置的半導體制造車間的總體構成進 行說明的圖。 圖2是對本實施方式的過氟化物處理裝置的概略構成進行說明的圖。 圖3是表示構成本實施方式的過氟化物處理裝置的各設備的圖，是對入口加熱器 211的內部結構進行說明的圖。 圖4 (a)?（b)是對入口加熱器的內部結構進行說明的圖。 圖5是說明反應溫度與過氟化物的分解率的關系的圖。 圖6是對過氟化物處理本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種過氟化物處理裝置，其特征在于，具備：預處理單元，其對含有過氟化物的氣體進行預處理；加熱單元，其對含有過氟化物的氣體以及水進行加熱，并且利用預先確定的催化劑水解過氟化物，生成含有酸性氣體的分解氣體；熱交換單元，其配置于所述加熱單元的前段以及后段，在流入該加熱單元之前的含有過氟化物的氣體以及水與從該加熱單元流出后的分解氣體之間進行熱交換；和酸成分除去單元，其從自所述熱交換單元流出后的分解氣體干式除去酸成分，所述預處理單元具備：預熱單元，其對含有過氟化物的氣體進行加熱，使含有過氟化物的氣體中所含有的液體的水蒸發；和固體成分除去單元，其從利用所述預熱單元使液體的水蒸發了的含有過氟化物的氣體除去固體成分。
【技術特征摘要】
2013.03.19 JP 2013-0573831. 一種過氟化物處理裝置，其特征在于，具備： 預處理單元，其對含有過氟化物的氣體進行預處理； 加熱單元，其對含有過氟化物的氣體以及水進行加熱，并且利用預先確定的催化劑水 解過氟化物，生成含有酸性氣體的分解氣體； 熱交換單元，其配置于所述加熱單元的前段以及后段，在流入該加熱單元之前的含有 過氟化物的氣體以及水與從該加熱單元流出后的分解氣體之間進行熱交換；和 酸成分除去單元，其從自所述熱交換單元流出后的分解氣體干式除去酸成分， 所述預處理單元具備： 預熱單元，其對含有過氟化物的氣體進行加熱，使含有過氟化物的氣體中所含有的液 體的水蒸發；和 固體成分除去單元，其從利用所述預熱單元使液體的水蒸發了的含有過氟化物的氣體 除去固體成分。2. 根據權利要求1所述的過氟化物處理裝置，其特征在于，所述預熱單元在含有過氟 化物的氣體的流通路徑中配有翅片。3. 根據權利要求1或者2所述的過氟化物處理裝置，其特征在于，在所述預熱單元與所 述固體成分除去單元之間導入空氣，并使被導入了空氣的含有過氟化物的氣體在該固體成 分除去單元中通過。4. 根據權利要求1或者2所述的過氟化物處理裝置，其特征在于，所...
【專利技術屬性】
技術研發人員：鳥巢純一，早坂裕二，加藤健一，
申請(專利權)人：昭和電工株式會社，
類型：發明
國別省市：日本;JP
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