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    一種中波紅外長波通濾光片制造技術

    技術編號:10476118 閱讀:159 留言:0更新日期:2014-09-25 14:13
    本實用新型專利技術公開一種中波紅外長波通濾光片,包括:基板(1);膜層,包括依次交替沉積于所述基板(1)上的Ge膜層(2)以及ZnS膜層(3),且所述Ge膜層(2)以及ZnS膜層(3)的膜層數分別為13層和12層。本實用新型專利技術所述中波紅外長波通濾光片的生產成本低、透過率高,且環境穩定性高。(*該技術在2024年保護過期,可自由使用*)

    【技術實現步驟摘要】
    一種中波紅外長波通濾光片
    本技術涉及一種濾光片,具體為一種中波紅外長波通濾光片。
    技術介紹
    隨著空間技術和光學器件的迅速發展,紅外光學系統的應用越來越受到重視,紅 外光學系統主要作用于近紅外(NWIR,0.75-2. 5 μ m)、中紅外(MWIR,3-5 μ m)以及遠紅外 (LWIR,8-14 μ m)。在實際應用中,紅外光學系統大多數被用在復雜的偵測環境中,受到環境 濕度、目標儀器的噪音、溫度等因素的干擾,使得對目標信息的提取變得困難;而光信號必 須經過濾光片、防護窗口、分光鏡等進行時間和空間濾波,按照一定的比例要求完成背景和 物像的分離,這就要求當光在這些元器件中傳播時,其輻射通量須盡可能的以最大值傳輸 給探測儀,即要求各光學元件具備盡可能低的吸收和散射,因此根據不同要求在光學元件 上鍍制滿足要求的薄膜,對于改善其光學性能、提高系統性能起到了無可替代的作用。針 對光學儀器對光學元件光譜性能的要求,中波紅外長波通濾光片是其中一個重要的薄膜器 件。而傳統的濾光片由于其膜層結構設置的問題,比較難滿足光譜性能的要求。
    技術實現思路
    針對上述技術問題,本技術公開一種中波紅外長波通濾光片,包括:基板1 ; 膜層,包括依次交替沉積于所述基板1上的Ge膜層2以及ZnS膜層3,且所述Ge膜層2以 及ZnS膜層3的膜層數分別為13層和12層。 優選的,所述基板1為Si基板或者Ge基板。 本技術的有益效果是通過在基板上依次交替沉積多個高折射率膜層以及多 個低折射率膜層的結構,實現了不同波長的光的選擇性通過以及較高的透過率,并且所述 濾光片的生產成本低、環境穩定性高。 【附圖說明】 圖1是本技術所述中波紅外長波通濾光片的結構示意圖; 圖2是本技術所述中波紅外長波通濾光片的波長(nm)-透過率(%)關系曲線 圖。 【具體實施方式】 下面結合附圖對本技術做進一步的詳細說明,以令本領域技術人員參照說明 書文字能夠據以實施。 如圖1所示,本技術公開一種中波紅外長波通濾光片,包括:基板1 ;膜層,包 括依次交替沉積于所述基板1上的Ge膜層2以及ZnS膜層3,且所述Ge膜層2以及ZnS膜 層3的膜層數分別為13層和12層。 優選的,所述基板1為Si基板或者Ge基板。 下面具體講述本技術所述中波紅外長波通濾光片。 實施例1 如圖1所示,本技術所述中波紅外長波通濾光片的基板1為Si基板或者Ge 基板,在所述基板1上依次交替沉積多個Ge膜層2以及ZnS膜層3。其中Ge膜層2的膜層 數為13層,ZnS膜層3的膜層數為12層。 各層膜自上而下的厚度如下: 0. 105H/1. 948L/1. 834H/0. 382L/1. 504H/1. 309L/0. 679H/1. 452L/1. 152H/0. 877 L/l. 323H/1. 016L/0. 987H/1. 06L/0. 709H/0. 763L/0. 793H/0. 711L/1. 513H/0.568L/1. 172 H/0.661L/0. 138H/1. 156L/0. 14H 其中,Η和L分別代表Ge膜層2 (高折射率材料層)和ZnS膜層3 (低折射率材料 層)的一個1/4波長光學厚度,Ge膜層2對應的折射率Hn = 4. 58, ZnS膜層3對應的折射 率Ln = 2. 2。本例中波長λ =3000nm,1H = 1/4 λ Hn ;1L = 1/4 λ Ln。Η和L前面的系數表 不1/4波長的倍數。 如圖2所示,本技術所述中波紅外長波通濾光片,在波長3000nm,光線垂直射 入時,允許波長大于3000nm的光通過,而波長在400-2700nm之間的光被隔離,即截止,所述 濾光片通過采用多個Ge膜層2 (高折射率材料層)和ZnS膜層3 (低折射率材料層)結構 實現不同波長的光的選擇性通過,基于光的干涉原理,通過光的相互干涉,使得所需波長相 對加長,而不需要的波長相對減弱,實現高透過率的光選擇性能,且所述濾光片的生產成本 低、環境穩定性高。 盡管本技術的實施方案已公開如上,但其并不僅僅限于說明書和實施方式中 所列運用,它完全可以被適用于各種適合本技術的領域,對于熟悉本領域的人員而言, 可容易地實現另外的修改,因此在不背離權利要求及等同范圍所限定的一般概念下,本實 用新型并不限于特定的細節和這里示出與描述的圖例。本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    一種中波紅外長波通濾光片,其特征在于,包括:基板(1);膜層,包括依次交替沉積于所述基板(1)上的Ge膜層(2)以及ZnS膜層(3),且所述Ge膜層(2)以及ZnS膜層(3)的膜層數分別為13層和12層。

    【技術特征摘要】
    1. 一種中波紅外長波通濾光片,其特征在于,包括: 基板(1); 膜層,包括依次交替沉積于所述基板(1)上的Ge膜層(2 )以及ZnS膜層(3 ),且所述G...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:王明利
    申請(專利權)人:蘇州奧科輝光電科技有限公司,
    類型:新型
    國別省市:江蘇;32

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