一種太陽能電池石墨舟制造技術

本實用新型專利技術公開了一種太陽能電池石墨舟，包括兩個以上的舟葉，舟葉間距為漸變式結構，舟葉間距由石墨舟最外側舟葉向石墨舟最中心舟葉依次減小：舟葉間距從石墨舟最外側舟葉的一側到石墨舟最中心舟葉分別用D1、D2、D3...Dn表示，舟葉間距從石墨舟最外側舟葉的另一側到石墨舟最中心舟葉分別用D1’、D2’、D3’...Dn’表示，其中，Dn與Dn’相鄰；其中，D1=D1’＞D2=D2’＞D3=D3’...＞DN=DN’；且D1-D2=D2-D3=...=Dn-1–Dn=N。本實用新型專利技術很好地改善了石墨舟的鍍膜均勻性，并解決了現有石墨舟鍍膜存在的外側舟葉膜厚偏厚、內側舟葉膜厚偏薄的問題。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
一種太陽能電池石墨舟
[〇〇〇1] 本技術涉及建材領域，具體說是一種太陽能電池石墨舟。
技術介紹
目前，光伏市場對晶硅電池外觀要求越來越高，由于色差問題導致許多高效電池 片不能滿足市場外觀要求，色差問題主要是指每片電池片存在顏色差異，主要由硅片薄膜 厚度不同導致。現階段管式PECVD和板式PECVD均存在鍍膜色差問題，管式PECVD尤為嚴 重，已成為影響產品良率的重要因素之一。管式鍍膜色差主要和進氣和加熱方式有關。目前 氣體進氣口分布在靠近爐口的不銹鋼圈上，因此相對于石墨舟中間，靠近石墨舟外側區域 氣體流量較大；爐管采取外部加熱控溫，石墨舟外側靠近反應腔壁，因此相對于石墨舟中間 位置，石墨舟外側溫度更高。以上原因導致現階段鍍膜存在的主要問題是：同一石墨舟內， 最外側舟葉鍍膜膜厚偏厚，最內側舟葉膜厚偏薄，嚴重時膜厚差異達到5%以上。
技術實現思路
技術目的：從改變石墨舟結構入手提出解決方案，并提供一種太陽能電池石 墨舟，很好地改善了石墨舟的鍍膜均勻性，并解決了現有石墨舟鍍膜存在的外側舟葉膜厚 偏厚、內側舟葉膜厚偏薄的問題。 技術方案：為解決上述技術問題，本技術所采用的技術方案是： -種太陽能電池石墨舟，包括兩個以上的舟葉，舟葉間距為漸變式結構，舟葉間距 由石墨舟最外側舟葉向石墨舟最中心舟葉依次減小：舟葉間距從石墨舟最外側舟葉的一側 到石墨舟最中心舟葉分別用Di、D2、D3. . . Dn表不，舟葉間距從石墨舟最外側舟葉的另一側到 石墨舟最中心舟葉分別用Dr、D 2，、D3，. . .Dn，表示，其中，0與011，相鄰；其中，DfDr > D2=D2， > D3=D3, · · · > Dn=Dn，；且 Di -D2 =D2 -D3 = · · · - Dn=N。 上述技術方案有效減少了色差的產生。 優選，10mm > N > 0mm。 N為相鄰石墨舟舟葉間距之差，N過大則等離子體放電不均勻且影響產能。 優選，所述石墨舟葉相互平行并且以中心舟葉為對稱軸對稱分布。 石墨舟其他結構、功能與常規石墨舟相同。 上述太陽能電池石墨舟的鍍膜方法，包括順序相接的如下步驟：進舟、預清洗、吹 掃、測漏、第一預沉積、第一層膜沉積、吹掃、第二預沉積、第二層膜沉積、吹掃、出舟。 采用上述方法可進一步保證鍍膜的均勻性。 優選，第一層膜為氧化硅膜，膜厚dl，折射率nl，第二層膜為氮氧化硅膜，膜厚 d2,折射率n2,且滿足dl*nl+d2*n2在150-170之間。 上述方法核心步驟為預清洗、第一預沉積、第一層膜沉積、第二預沉積、第二層膜 沉積。 優選，預清洗工藝條件為：溫度300-500°C，氮氣流量0-10L/min，氨氣流量 2-1017/111；!_11，壓力1-21'〇1'1'，射頻功率3-71^，射頻開關時間比1'〇11:1'〇€€=41118:481118，持續時間 100_300s 〇 優選，第一預沉積工藝條件為：溫度300-500°C，笑氣流量2-8L/min，硅烷流量 0.5-3L/min，壓力 l-2Torr,持續時間 10-50s。 優選，第一層膜沉積工藝條件為：溫度300-50(TC，笑氣流量2-8L/min，硅烷流量 0· 5_3L/min，壓力l_2Torr,射頻功率3_7kW，射頻開關時間比Ton:Toff=4ms:48 ms,持續時 間 100-300s。 優選，第二預沉積工藝條件為：溫度300-50(TC，氨氣流量2-10L/min，笑氣流量 2-8L/min，硅烷流量 0.5-3L/min，壓力 l-2Torr,持續時間 10-50s。 優選，第二層膜沉積工藝條件為：溫度300-500°C，氨氣流量2-10L/min，笑氣 流量2-8L/min，硅烷流量0. 5-3L/min，壓力l-2Torr，射頻功率3-7kW，射頻開關時間比 Ton:Toff=4ms:48 ms，持續時間 400_800s。 本技術未提及的技術均為現有技術。 有益效果：本技術太陽能電池石墨舟，通過改變石墨舟結構設計，有效改善了 晶硅電池鍍膜均勻性，膜厚均勻性由4. 7%降低至2. 3%，有效減少了色差片的產生。 【附圖說明】 圖1為常規石墨舟舟葉間距示意圖； 圖2為本技術石墨舟舟葉間距示意圖； 圖中，1為最外側舟葉，2為最中心舟葉，3為石墨舟其他部分，4為舟葉間距均相 等；5為舟葉間距依次減小。 【具體實施方式】[〇〇26] 為了更好地理解本技術，下面結合實施例進一步闡明本技術的內容，但 本技術的內容不僅僅局限于下面的實施例。 實施例1 常規 19 片石墨舟舟葉間距為 11mm，此時 n=9, D1=D1'=D2=D2'=D3=D3' ...=D9=D9' =11mm，加在各舟葉間距間的電壓U在300V左右，則各舟葉間距間電場強度E均約為 27. 3kV/m，激發等離子體能力相同。示意圖如附圖1，記為石墨舟A。 本技術實施例采用19片石墨舟設計，此時n=9,舟葉間距由石墨舟外側至中 心依次為：D1=D1，=11. 4mm, D2=D2, =11. 3mm, D3=D3, =11. 2mm, D4=D4, =11. 1mm, D5=D5, =11mm ，D6=D6, =10. 9mm, D7=D7, =10. 8mm, D8=D8, =10. 7mm, D9=D9, =10. 6mm,此時 N=0. 1mm。加在各 舟葉間距間電壓U在300V不變，則與舟葉間距對應的電場強度分別為：Ε1=ΕΓ =26. 3kV/ m, E2=E2, =26. 5kV/m, E3=E3, =26. 8kV/m, E4=E4, =27. OkV/m, E5=E5, =27. 3kV/m, E6=E6'=27.5kV/m, E7=E7'=27.8kV/m, E8=E8'=28.0kV/m, E9=E9'=28.3kV/m,產生等離子 體的能力由外側至中心依次增強。示意圖如附圖2,記為石墨舟B。 對于常規石墨舟，各舟葉間距相同，在射頻放電時加在舟葉間的電場強度相同，激 發等離子體的能力一樣；又由于石墨舟外側氣體流量大溫度高，沉積能力強，故靠近石墨舟 外側舟葉相對于靠近中心舟葉沉積的薄膜較厚。本技術中石墨舟外側舟葉間距大，中 心舟葉間距小，由于電勢差不變，則加在石墨舟外側舟葉間的電場強度小，激發等離子體的 能力弱，加在中心舟葉間的電場強度大，激發等離子體的能力強，以此來克服石墨舟外側氣 體流量大溫度高沉積能力強帶來的不均勻問題。另外，由于舟葉間距改變不大，在0-10_ 之間，對工藝氣體分布基本沒有影響。 實施例二 采用相同鍍膜工藝分別對以實施例一中石墨舟A和石墨舟B為承載舟進行鍍膜， 所使用的單晶硅片來自同一硅錠，并經過相同常規工序處理：一次清洗、擴散和二次清洗， 薄膜制備經過以下步驟：進舟、清洗、吹掃、測漏、預沉積、沉積薄膜、吹掃、出舟。所述預清 洗步驟工藝條件為：溫度450°C，氮氣流量2L/min，氨氣流量6L/min，壓力1.6Torr，射頻 功率4. 8kW，射頻開關時間比Ton:Toff=4ms:48 ms,持續時間200s ;所述第本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種太陽能電池石墨舟，包括兩個以上的舟葉，其特征在于：舟葉間距為漸變式結構，舟葉間距由石墨舟最外側舟葉（1）向石墨舟最中心舟葉（2）依次減小：舟葉間距從石墨舟最外側舟葉（1）的一側到石墨舟最中心舟葉（2）分別用D1、D2、D3...Dn表示，舟葉間距從石墨舟最外側舟葉（1）的另一側到石墨舟最中心舟葉（2）分別用D1’、D2’、D3’...Dn’表示，其中，Dn與Dn’相鄰；其中，?D1=D1’＞D2=D2’?＞D3=D3’?...＞DN=DN’；且D1??D2?=D2??D3?=?...?=Dn?1?–Dn?=N。

【技術特征摘要】
1. 一種太陽能電池石墨舟，包括兩個以上的舟葉，其特征在于：舟葉間距為漸變式結 構，舟葉間距由石墨舟最外側舟葉（1)向石墨舟最中心舟葉（2)依次減小：舟葉間距從石墨 舟最外側舟葉（1)的一側到石墨舟最中心舟葉（2)分別用Dp D2、D3. . .Dn表示，舟葉間距從 石墨舟最外側舟葉（1)的另一側到石墨舟最中心舟葉（2)分別用Di，、D 2，、D3,. . . Dn，表不，其 中，Dn 與...

【專利技術屬性】
技術研發人員：張輝，楊紅冬，劉仁中，張斌，邢國強，
申請(專利權)人：奧特斯維能源太倉有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32