一種硅片化學清洗用花籃制造技術

本實用新型專利技術涉及硅片化學清洗工具領域，具體涉及一種硅片化學清洗用花籃。它包括框架、卡片槽，框架是長方形框架，框架兩側(cè)是半圓形開口槽口，框架中間是卡片槽，每個卡片槽通過條形隔板隔開，框架下端開有長方形槽口即卡片槽下端開有長方形槽口，所述的長方形槽口內(nèi)設計裝有井字形狀的防護肋骨，長方形槽口內(nèi)部開有四個圓孔，防護肋骨兩端固定在圓孔內(nèi)。優(yōu)點是設計簡單，使用方便，花籃底部設計防護肋骨，可以有效的防止硅片碎裂掉落到化學清洗處理池內(nèi)，卡片槽有效地防止硅片粘在一起，卡片槽設計成25片裝，可以在化學清洗處理槽內(nèi)放置兩個花籃，正好把化學清洗處理槽內(nèi)空間充分利用，提高工作效率。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現(xiàn)步驟摘要】
【專利摘要】本技術涉及硅片化學清洗工具領域，具體涉及一種硅片化學清洗用花籃。它包括框架、卡片槽，框架是長方形框架，框架兩側(cè)是半圓形開口槽口，框架中間是卡片槽，每個卡片槽通過條形隔板隔開，框架下端開有長方形槽口即卡片槽下端開有長方形槽口，所述的長方形槽口內(nèi)設計裝有井字形狀的防護肋骨，長方形槽口內(nèi)部開有四個圓孔，防護肋骨兩端固定在圓孔內(nèi)。優(yōu)點是設計簡單，使用方便，花籃底部設計防護肋骨，可以有效的防止硅片碎裂掉落到化學清洗處理池內(nèi)，卡片槽有效地防止硅片粘在一起，卡片槽設計成25片裝，可以在化學清洗處理槽內(nèi)放置兩個花籃，正好把化學清洗處理槽內(nèi)空間充分利用，提高工作效率。【專利說明】一種硅片化學清洗用花籃
本
涉及硅片化學清洗工具領域，具體涉及一種硅片化學清洗用花籃。
技術介紹
硅片在化學清洗處理中會有少量發(fā)生碎裂，產(chǎn)生一定數(shù)量的外形不完整硅片，這 些外形不完整硅片現(xiàn)有花籃無法適應，置于現(xiàn)花籃中處理時易掉落、易碎、易互粘。而且硅 片放到花籃內(nèi)，再置于化學清洗處理槽內(nèi)，只能放一組花籃，放兩組花籃就不好放，放一組 的話效率就低了，而且化學清洗處理槽內(nèi)沒有充分利用。
技術實現(xiàn)思路
為了解決上述專利技術問題，本技術提出了一種硅片化學清洗用花籃，設計簡單， 使用方便，有效防止硅片相互粘在一起，防止碎裂后掉入化學清洗處理槽內(nèi)，不好打撈。 為了達到上述專利技術目的，本技術提出了以下技術方案： -種硅片化學清洗用花籃，它包括框架、卡片槽，框架是長方形框架，框架兩側(cè)是 半圓形開口槽口，框架中間是卡片槽，每個卡片槽通過條形隔板隔開，框架下端開有長方形 槽口即卡片槽下端開有長方形槽口，所述的長方形槽口內(nèi)設計裝有井字形狀的防護肋骨， 長方形槽口內(nèi)部開有四個圓孔，防護肋骨兩端固定在圓孔內(nèi)。 所述的硅片化學清洗用花籃是采用特氟綸材料制作。 所述的卡片槽有25片。 所述的框架上面兩端還設計有提手卡槽。 本技術的優(yōu)點是設計簡單，使用方便，花籃底部設計防護肋骨，可以有效的防 止硅片碎裂掉落到化學清洗處理池內(nèi)，卡片槽有效地防止硅片粘在一起，卡片槽設計成25 片裝，可以在化學清洗處理槽內(nèi)放置兩個花籃，正好把化學清洗處理槽內(nèi)空間充分利用，提 高工作效率。 【專利附圖】【附圖說明】 圖1是本技術的示意圖。 圖2是本技術的側(cè)視圖。 【具體實施方式】 為了對本技術進一步說明，下面結(jié)合說明書附圖來介紹： 參照附圖1和圖2，一種硅片化學清洗用花籃，它包括框架1、卡片槽2，框架1是長 方形框架，框架兩側(cè)是半圓形開口槽口，框架1中間是卡片槽2,每個卡片槽2通過條形隔板 3隔開，框架1下端開有長方形槽口即卡片槽下端開有長方形槽口，所述的長方形槽口內(nèi)設 計裝有井字形狀的防護肋骨4,長方形槽口內(nèi)部開有四個圓孔5,防護肋骨4兩端固定在圓 孔內(nèi)。 所述的硅片化學清洗用花籃是采用特氟綸材料制作。 所述的卡片槽有25片。 所述的框架上面兩端還設計有提手卡槽6。 本技術使用時，把圓形硅片放置到花籃的卡片槽內(nèi)，然后用提手把花籃放置 到化學清洗處理槽內(nèi)，本花籃設計結(jié)構(gòu)與長度，可以在化學清洗處理槽內(nèi)正好放置兩個花 籃，工作效率提高一倍，同時還節(jié)省了成本，花籃下端設計的防護肋骨可以防止硅片碎裂一 半不好放置到卡片槽內(nèi)，或者硅片在清洗過程中碎裂從下面掉到清洗池內(nèi)，最后通過放水 孔排掉或堵塞放水孔，造成成本加大，還要處理堵塞的水孔，浪費時間。【權(quán)利要求】1. 一種硅片化學清洗用花籃，其特征是它包括框架、卡片槽，框架是長方形框架，框架 兩側(cè)是半圓形開口槽口，框架中間是卡片槽，每個卡片槽通過條形隔板隔開，框架下端開有 長方形槽口即卡片槽下端開有長方形槽口，所述的長方形槽口內(nèi)設計裝有井字形狀的防護 肋骨，長方形槽口內(nèi)部開有四個圓孔，防護肋骨兩端固定在圓孔內(nèi)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片化學清洗用花籃，其特征是所述的硅片化學清洗用 花籃是采用特氟綸材料制作。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片化學清洗用花籃，其特征是所述的卡片槽有25片。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片化學清洗用花籃，其特征是所述的框架上面兩端還 設計有提手卡槽。【文檔編號】H01L21/673GK203882983SQ201420251519【公開日】2014年10月15日 申請日期:2014年5月16日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月16日 【專利技術者】陳春香 申請人:南通皋鑫電子股份有限公司本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術保護點】
一種硅片化學清洗用花籃，其特征是它包括框架、卡片槽，框架是長方形框架，框架兩側(cè)是半圓形開口槽口，框架中間是卡片槽，每個卡片槽通過條形隔板隔開，框架下端開有長方形槽口即卡片槽下端開有長方形槽口，所述的長方形槽口內(nèi)設計裝有井字形狀的防護肋骨，長方形槽口內(nèi)部開有四個圓孔，防護肋骨兩端固定在圓孔內(nèi)。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：陳春香，
申請(專利權(quán))人：南通皋鑫電子股份有限公司，
類型：新型
國別省市：江蘇;32