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    一種硅片往復(fù)切割工藝制造技術(shù)

    技術(shù)編號(hào):10735798 閱讀:103 留言:0更新日期:2014-12-10 11:54
    本發(fā)明專利技術(shù)涉及一種硅片往復(fù)切割工藝,屬于硅片切割技術(shù)領(lǐng)域。其通過切割線的往復(fù)運(yùn)動(dòng),對(duì)切割系統(tǒng)提供更大的行程和線速,達(dá)到提高生產(chǎn)效率的目的。本發(fā)明專利技術(shù)通過連續(xù)的供線系統(tǒng)和舊線回收系統(tǒng),能有效減少線的破損,還可促使線的張緊以保證切割線的剛性,有利于提高切片精度,同時(shí),最大限度的利用切割線從而降低消耗。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及一種硅片往復(fù)切割工藝,具體涉及一種節(jié)能降耗,同時(shí)能夠改善硅片表面質(zhì)量的工藝,屬于硅片切割

    技術(shù)介紹
    目前單向切割是市場的發(fā)展需求,但單向切割成本較高。單向切割工藝產(chǎn)生的線痕會(huì)對(duì)電池柵線造成影響,首先線痕片深度及寬度超差會(huì)使硅片外觀質(zhì)量降級(jí),其次導(dǎo)致電池柵線粗細(xì)不均:傳統(tǒng)的往復(fù)切割工藝能夠降低1/2的鋼線用量,單片加工成本可降低約0.14元/片。雖然這種工藝可以大大降低切割成本,但是這種切割工藝對(duì)硅片表面質(zhì)量的影響非常大,尤其是線痕特別突出。為了將線痕控制在合理的范圍,研究硅片的往復(fù)切割工藝參數(shù)是必要的趨勢。
    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
    本專利技術(shù)的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,提供一種切割精度高,線痕比例率低的硅棒切片工藝。其通過切割線的往復(fù)運(yùn)動(dòng),對(duì)切割系統(tǒng)提供更大的行程和線速,達(dá)到提高生產(chǎn)效率的目的。按照本專利技術(shù)提供的技術(shù)方案,一種硅片往復(fù)切割工藝,步驟為:(1)固化:選取長度為250-300mm的硅棒,利用固化劑把硅棒粘接在工件板上進(jìn)行固化,固化時(shí)間為6h以上,室溫為23-28℃左右;(2)配置砂漿:即碳化硅的懸浮液,砂漿調(diào)試比例按碳化硅:懸浮液水質(zhì)量比為0.9-0.95:1之間,單刀用砂漿量為225kg;(3)切割:采用切割機(jī)進(jìn)行切割,導(dǎo)輪帶動(dòng)鋼線,鋼線直徑0.11-0.115mm,正轉(zhuǎn)2min后,再把導(dǎo)輪反轉(zhuǎn)1min,利用切割后的鋼線再進(jìn)行一次切割;切割時(shí)間9-12h,鋼線使用量為200-240km;操作過程放線與回線的比率在3.5-4.5:1、工作臺(tái)速度0.25-0.35mm/min,線速度630-680m/min;(4)脫膠:硅棒切割結(jié)束后使用60-65℃的溫水浸泡8-10分鐘后脫膠;(5)后處理:脫膠后的硅片進(jìn)行清洗、甩干,即可。所述硅棒的規(guī)格為156*156mm。所述碳化硅目數(shù)為1500-2000。所述固化劑為AB膠,其中AB膠的比例為1:1。尺寸要求:和普通切片規(guī)格一樣(156*156)。放線量與收線量:在鋼線與硅錠摩擦?xí)r,放線量是使用新鋼線在進(jìn)行摩擦,在摩擦過程中,鋼線的橢圓度,直徑會(huì)變細(xì),韌度也隨之發(fā)生變化。而收線量是把鋼線與硅錠摩擦過的鋼線反向在進(jìn)行摩擦。利用鋼線的韌度變化做出2次利用。砂漿流量:砂漿流量的大小取決鋼線帶砂漿的能力;二次切割的鋼線帶砂能力較差,所以砂漿的變化取決于2次利用的鋼線量。本專利技術(shù)的有益效果:本專利技術(shù)與現(xiàn)有技術(shù)相比,切割效果良好,合格率大幅度提高,極大地提高了機(jī)器的工作效率;導(dǎo)輪往復(fù)帶動(dòng)鋼線,即使切割中鋼線帶砂不足,也能保證硅片線痕控制在公差之內(nèi);采用連續(xù)的供線系統(tǒng)和舊線回收系統(tǒng)相比,有效減少線的破損,還可促使線的張緊以保證切割線的剛性,有利于提高切片精度,同時(shí),最大限度的利用切割線從而降低消耗。具體實(shí)施方式以下實(shí)施例中所述切割機(jī)為日本NTC機(jī)型。對(duì)比實(shí)施例1??單向切割(1)選取長度為250-300mm之間,規(guī)格為156×156的硅棒,利用AB膠(比例為1:1)把硅棒粘接在工件板上,固化時(shí)間6h以上,室溫為23-28℃左右。(2)砂漿調(diào)試比例:0.90(碳化硅):1(懸浮液),單刀用砂漿量250kg。(3)每分鐘鋼線使用量為500m,切割時(shí)間為10小時(shí)30分鐘,共用鋼線315km。(4)硅棒切割結(jié)束后使用60-65℃的溫水浸泡8-10分鐘后脫膠;脫膠后的硅片插入花籃進(jìn)行清洗,甩干,送去檢驗(yàn)。檢驗(yàn)結(jié)果確認(rèn)硅片表片線痕占比例1.5%-2%。實(shí)施例1?往復(fù)切割(1)固化:選取長度為250-300mm之間,規(guī)格為156×156的硅棒,利用AB膠(比例為1:1)把硅棒粘接在工件板上,固化時(shí)間6h,溫度為25℃。(2)配置砂漿:砂漿調(diào)試比例在0.90(碳化硅):1(懸浮液),單刀用砂漿量減少10%。(3)切割:采用切割機(jī)進(jìn)行切割,導(dǎo)輪帶動(dòng)鋼線,鋼線直徑0.11mm,正轉(zhuǎn)2min后,再把導(dǎo)輪反轉(zhuǎn)1min,利用切割后的鋼線再進(jìn)行一次切割;切割時(shí)間9-12h,鋼線使用量為200-240km;操作過程放線與回線的比率3.5:1、工作臺(tái)速度0.25mm/min,線速度630m/min;(4)脫膠:硅棒切割結(jié)束后使用60℃的溫水浸泡8-10分鐘后脫膠;(5)脫膠后的硅片進(jìn)行清洗、甩干,即可。本實(shí)施例中鋼線利用率增加35%。實(shí)施例2往復(fù)切割(1)固化:選取長度為250-300mm之間,規(guī)格為156×156的硅棒,利用AB膠(比例為1:1)把硅棒粘接在工件板上,固化時(shí)間6h以上,溫度為28℃。(2)配置砂漿:砂漿調(diào)試比例為0.925(碳化硅):1(懸浮液),單刀用砂漿量為225kg;(3)切割:采用切割機(jī)進(jìn)行切割,導(dǎo)輪帶動(dòng)鋼線,鋼線直徑0.115mm,正轉(zhuǎn)2min后,再把導(dǎo)輪反轉(zhuǎn)1min,利用切割后的鋼線再進(jìn)行一次切割;切割時(shí)間10.5h,鋼線使用量為205km;操作過程放線與回線的比率在4.5:1、工作臺(tái)速度0.35mm/min,線速度680m/min。(4)脫膠:硅棒切割結(jié)束后使用65℃的溫水浸泡8分鐘后脫膠。(5)脫膠后的硅片插入花籃進(jìn)行清洗,甩干,送去檢驗(yàn)。檢驗(yàn)結(jié)果確認(rèn)硅片表片線痕占比例0.5%-1%。本專利技術(shù)具體的優(yōu)勢如下:1、越細(xì)的鋼線在往復(fù)切割工藝中越占優(yōu)勢,現(xiàn)在行業(yè)內(nèi)普遍應(yīng)用的0.120mm和0.115mm直徑的鋼線,切出來的硅片線痕深度為13μm、寬度為132μm。本實(shí)施例將采用0.110mm直徑的鋼線,切出來的硅片線痕深度及寬度能降低為12.8μm和115μm,從而能夠從根本上改善電池印刷工序造成的柵線不均情況,并且不會(huì)影響組件的表面外觀。2、通過回線率、工作臺(tái)速度以及加速度的改進(jìn),可以減輕硅片表面產(chǎn)生的線痕深度及寬度。3、綜合成本節(jié)約:較傳統(tǒng)工藝降低綜合成本約22%,每年可節(jié)約600萬成本。4、節(jié)能環(huán)保:大幅度減少了廢鋼線,原先鋼線用量為2刀/卷,采用往復(fù)式切割工藝后預(yù)計(jì)鋼線用量約為3刀/卷。本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
    一種硅片往復(fù)切割工藝,其特征是步驟為:(1)固化:選取長度為250?300mm的硅棒,利用固化劑把硅棒粘接在工件板上進(jìn)行固化,固化時(shí)間為6h以上,室溫為23?28℃左右;(2)配置砂漿:即碳化硅的懸浮液,砂漿調(diào)試比例按碳化硅:懸浮液水質(zhì)量比為0.9?0.95:1之間,單刀用砂漿量為225kg;(3)切割:采用切割機(jī)進(jìn)行切割,導(dǎo)輪帶動(dòng)鋼線,鋼線直徑0.11?0.115mm,正轉(zhuǎn)2min后,再把導(dǎo)輪反轉(zhuǎn)1min,利用切割后的鋼線再進(jìn)行一次切割;切割時(shí)間9?12h,鋼線使用量為200?240km;操作過程放線與回線的比率在3.5?4.5:1、工作臺(tái)速度0.25?0.35mm/min,線速度630?680m/min;(4)脫膠:硅棒切割結(jié)束后使用60?65℃的溫水浸泡8?10分鐘后脫膠;(5)后處理:脫膠后的硅片進(jìn)行清洗、甩干,即可。

    【技術(shù)特征摘要】
    1.一種硅片往復(fù)切割工藝,其特征是步驟為:
    (1)固化:選取長度為250-300mm的硅棒,利用固化劑把硅棒粘接在工件板上進(jìn)行固化,固化時(shí)間為6h以上,室溫為23-28℃左右;
    (2)配置砂漿:即碳化硅的懸浮液,砂漿調(diào)試比例按碳化硅:懸浮液水質(zhì)量比為0.9-0.95:1之間,單刀用砂漿量為225kg;
    (3)切割:采用切割機(jī)進(jìn)行切割,導(dǎo)輪帶動(dòng)鋼線,鋼線直徑0.11-0.115mm,正轉(zhuǎn)2min后,再把導(dǎo)輪反轉(zhuǎn)1min,利用切割后的鋼線再進(jìn)行一次切割;切割時(shí)間9-12h,鋼線使用量為200-240km;操作過程放線與...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:杜正興李靖華冰
    申請(qǐng)(專利權(quán))人:無錫尚品太陽能電力科技有限公司
    類型:發(fā)明
    國別省市:江蘇;32

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