拋光頭制造技術

本實用新型專利技術公開了一種拋光頭，包括上蓋盤、中蓋盤和下蓋盤，上蓋盤連接有旋轉軸，下蓋盤連接有夾持器，所述上蓋盤和中蓋盤之間均勻設置有若干個連桿，連桿的上端鉸接于上蓋盤的中心，連桿的下端鉸接于中蓋盤的邊緣，連桿的上端與上蓋盤之間設置有橡膠緩沖墊，中蓋盤的邊緣設置有圓形夾片，連桿的下端鉸接于圓形夾片內；所述中蓋盤和下蓋盤之間設置有液壓緩沖層，液壓緩沖層的外側設置有硅膠外壁，液壓緩沖層內同心設置有第一緩沖環，第一緩沖環內設置有疊片層。本實用新型專利技術能夠改進現有技術的不足，進一步提高拋光頭旋轉時的穩定性。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
拋光頭
本技術涉及化學機械拋光
，尤其是一種拋光頭。
技術介紹
在對半導體晶圓等精密器件進行拋光加工時，化學機械拋光是一種最常用的加工 方法。中國技術專利CN 101342681B公開了一種拋光頭，提高了拋光的均勻性。但是， 這種結構對與拋光時產生的振動僅僅可以通過氣囊和水囊對中段頻幅的振動進行過濾緩 沖，而對高頻和低頻的振動的過濾緩沖效果不佳。
技術實現思路
本技術要解決的技術問題是提供一種拋光頭，能夠改進現有技術的不足，進 一步提高拋光頭旋轉時的穩定性。 為解決上述技術問題，本技術所采取的技術方案如下。 拋光頭，包括上蓋盤、中蓋盤和下蓋盤，上蓋盤連接有旋轉軸，下蓋盤連接有夾持 器，所述上蓋盤和中蓋盤之間均勻設置有若干個連桿，連桿的上端鉸接于上蓋盤的中心，連 桿的下端鉸接于中蓋盤的邊緣，連桿的上端與上蓋盤之間設置有橡膠緩沖墊，中蓋盤的邊 緣設置有圓形夾片，連桿的下端鉸接于圓形夾片內；所述中蓋盤和下蓋盤之間設置有液壓 緩沖層，液壓緩沖層的外側設置有硅膠外壁，液壓緩沖層內同心設置有第一緩沖環，第一緩 沖環內設置有疊片層。 作為優選，所述旋轉軸兩側對稱設置有兩個弧形空心管，弧形空心管內設置有重 球，重球與弧形空心管過盈配合。 作為優選，所述弧形空心管為橢圓弧，單個重球的重量占拋光頭總重量的20%? 25%，弧形空心管在上蓋盤投影的長度為上蓋盤半徑的1. 2倍?1. 5倍。 作為優選，所述下蓋盤內環形設置有若干個通氣孔，通氣孔包括與下蓋盤底面相 通的毛細管，毛細管的進口處設置有斜面，毛細管上方設置有敞口管，敞口管的敞口端與下 蓋盤的側壁相通。 作為優選，所述液壓緩沖層設置有第二緩沖環，第二緩沖環與第一緩沖環相通，第 二緩沖環內設置有網格層。 作為優選，所述第一緩沖環和第二緩沖環之間設置有球形緩沖帶。 作為優選，所述圓形夾片內側設置有支桿，連桿通過扭簧鉸接在支桿上，圓形夾片 內側設置有波浪狀的橡膠起伏層，連桿與橡膠起伏層過盈配合。 作為優選，所述夾持器包括保持環，保持環內側設置有臺階，臺階頂部設置有氣囊 環，臺階的中心設置有負壓吸盤，負壓吸盤內設置有若干個硬質支持環。 采用上述技術方案所帶來的有益效果在于：本技術在現有技術的基礎上，增 加連桿結構對大振幅低頻率的振動進行過濾緩沖，增加液壓緩沖層對小振幅高頻率的振動 進行過濾緩沖。通過兩個結構的共同配合作用，是本技術對各種頻率和振幅的振動都 可以進行充分的過濾和緩沖，進一步提高了拋光頭工作過程中的平穩性。重球在拋光頭旋 轉過程中依靠離心力的作用在弧形空心管內移動，重球對旋轉軸施加水平方向的平衡離心 力，減小了旋轉軸在旋轉過程中水平方向的相對位移。通氣孔在旋轉過程中產生向上流動 的氣流，使整個拋光頭受到向上的提升力，減小了旋轉軸在旋轉過程中堅直方向的相對位 移。夾持器通過負壓吸盤對加工物料進行夾持，與此同時臺階和硬質支持環對加工物料進 行全方位支持，提高了物料拋光過程中對物料夾持的穩定性。 【附圖說明】 圖1是本技術一個【具體實施方式】的示意圖。 圖2是本技術一個【具體實施方式】中圓形夾片內部的示意圖。 圖3是本技術一個【具體實施方式】中通氣孔的示意圖。 圖4是本技術一個【具體實施方式】中夾持器的俯視圖。 圖中：1、上蓋盤；2、中蓋盤；3、下蓋盤、4、旋轉軸、5、夾持器；6、連桿；7、橡膠緩沖 墊；8、圓形夾片；9、液壓緩沖層；10、硅膠外壁；11、第一緩沖環；12、疊片層；13、弧形空心 管；14、重球；15、通氣孔；16、毛細管；17、斜面；18、敞口管；19、第二緩沖環；20、網格層； 21、球形緩沖帶；22、支桿；23、扭簧；24、橡膠起伏層；25、保持環；26、臺階；27、負壓吸盤； 28、硬質支持環。 【具體實施方式】 參照圖1-4,本【具體實施方式】包括上蓋盤1、中蓋盤2和下蓋盤3,上蓋盤1連接有 旋轉軸4,下蓋盤3連接有夾持器5,所述上蓋盤1和中蓋盤2之間均勻設置有若干個連桿 6,連桿6的上端鉸接于上蓋盤1的中心，連桿6的下端鉸接于中蓋盤2的邊緣，連桿6的上 端與上蓋盤1之間設置有橡膠緩沖墊7,中蓋盤2的邊緣設置有圓形夾片8,連桿6的下端 鉸接于圓形夾片8內；所述中蓋盤2和下蓋盤3之間設置有液壓緩沖層9,液壓緩沖層9的 外側設置有硅膠外壁10,液壓緩沖層9內同心設置有第一緩沖環11，第一緩沖環11內設置 有疊片層12。 值得注意的是，所述旋轉軸4兩側對稱設置有兩個弧形空心管13,弧形空心管13 內設置有重球14,重球14與弧形空心管13過盈配合。 值得注意的是，所述弧形空心管13為橢圓弧，橢圓弧對應的橢圓方程為 3x2+7y 2=l，單個重球14,的重量占拋光頭總重量的23%，弧形空心管13在上蓋盤1投影的 長度為上蓋盤1半徑的1.4倍。 值得注意的是，所述下蓋盤3內環形設置有若干個通氣孔15,通氣孔15包括與下 蓋盤3底面相通的毛細管16,毛細管16的進口處設置有斜面17,毛細管16上方設置有敞 口管18,敞口管18的敞口端與下蓋盤3的側壁相通。 值得注意的是，所述液壓緩沖層9設置有第二緩沖環19,第二緩沖環19與第一緩 沖環11相通，第二緩沖環19內設置有網格層20。 值得注意的是，所述第一緩沖環11和第二緩沖環19之間設置有球形緩沖帶21。 值得注意的是，所述圓形夾片8內側設置有支桿22,連桿6通過扭簧23鉸接在支 桿22上，圓形夾片4內側設置有波浪狀的橡膠起伏層24,連桿6與橡膠起伏層24過盈配 合。 值得注意的是，所述夾持器5包括保持環25,保持環25內側設置有臺階26,臺階 26頂部設置有氣囊環27,臺階26的中心設置有負壓吸盤27,負壓吸盤27內設置有若干個 硬質支持環28。 本【具體實施方式】的連桿6形成錐形，對大幅度振動可以進行均勻吸收。橡膠緩沖 墊7用于對堅直方向振動的吸收，同時，橡膠緩沖墊7具有一定的形變能力，可以是連桿6 在水平方向進行微調，與圓形夾片8配合對水平方向的振動進行吸收。圓形夾片8內的扭 簧23起到提供阻尼力和回復力的作用，與波浪狀的橡膠起伏層24配合，可以使連桿6在相 對于圓形夾片8產生位移時，減小往復振蕩的幅度，加快振蕩過程的消除。在液壓緩沖層 9中兩個緩沖環的設計，可以對高頻振蕩進行吸收，并有效減小高頻振蕩傳遞至夾持器上的 比例，球形緩沖帶21可以減小液壓油在第一緩沖環11內產生的反向紊流。毛細管16的進 口處的斜面17可以加大進氣量，敞口管18 -方面可以加大通氣孔15內的氣壓差，另外可 以消除氣流流動產生的風噪。夾持器5內的氣囊設計為環形，中間設計負壓吸盤27,可以在 保持緩沖作用不變的前提下提高吸附面積，臺階26和硬質支持環28在不同位置同時對加 工物料進行支撐，提高制成的均勻性，避免物料產生共振。 以上顯示和描述了本技術的基本原理和主要特征和本技術的優點。本行業 的技術人員應該了解，本技術不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是 說明本技術的原理，在不脫離本技術精神和本文檔來自技高網...

【技術保護點】
拋光頭，包括上蓋盤（1）、中蓋盤（2）和下蓋盤（3），上蓋盤（1）連接有旋轉軸（4），下蓋盤（3）連接有夾持器（5），其特征在于：所述上蓋盤（1）和中蓋盤（2）之間均勻設置有若干個連桿（6），連桿（6）的上端鉸接于上蓋盤（1）的中心，連桿（6）的下端鉸接于中蓋盤（2）的邊緣，連桿（6）的上端與上蓋盤（1）之間設置有橡膠緩沖墊（7），中蓋盤（2）的邊緣設置有圓形夾片（8），連桿（6）的下端鉸接于圓形夾片（8）內；所述中蓋盤（2）和下蓋盤（3）之間設置有液壓緩沖層（9），液壓緩沖層（9）的外側設置有硅膠外壁（10），液壓緩沖層（9）內同心設置有第一緩沖環（11），第一緩沖環（11）內設置有疊片層（12）。

【技術特征摘要】
1. 拋光頭，包括上蓋盤（1)、中蓋盤（2)和下蓋盤（3),上蓋盤（1)連接有旋轉軸（4),下 蓋盤（3)連接有夾持器（5)，其特征在于：所述上蓋盤（1)和中蓋盤（2)之間均勻設置有若 干個連桿（6 )，連桿（6 )的上端鉸接于上蓋盤（1)的中心，連桿（6 )的下端鉸接于中蓋盤（2 ) 的邊緣，連桿（6)的上端與上蓋盤（1)之間設置有橡膠緩沖墊（7)，中蓋盤（2)的邊緣設置有 圓形夾片（8)，連桿（6)的下端鉸接于圓形夾片（8)內；所述中蓋盤（2)和下蓋盤（3)之間設 置有液壓緩沖層（9)，液壓緩沖層（9)的外側設置有硅膠外壁（10)，液壓緩沖層（9)內同心 設置有第一緩沖環（11 )，第一緩沖環（11)內設置有疊片層（12)。2. 根據權利要求1所述的拋光頭，其特征在于：所述旋轉軸（4)兩側對稱設置有兩個弧 形空心管（13)，弧形空心管（13)內設置有重球（14)，重球（14)與弧形空心管（13)過盈配 合。3. 根據權利要求2所述的拋光頭，其特征在于：所述弧形空心管（13)為橢圓弧，單個重 球（14)的重量占拋光頭總重量的20%?25%，弧形空心管（13)在上蓋盤（1)投影的長度為 上蓋盤（1)半徑的1. 2倍?1. 5倍。4. 根據權利要求...

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳菊芳，
申請(專利權)人：陳菊芳，
類型：新型
國別省市：浙江;33