本實用新型專利技術公開了一種金屬有機源加料裝置。該裝置中有一個儲料瓶，儲料瓶正立，瓶口朝上。儲料瓶有4個瓶口，分別為：加料口、回氣口、載氣入口、載氣出口。加料口和載氣出口在儲料瓶的頂部；回氣口通過一根管道插入儲料瓶的中部；載氣入口通過一根管道插入儲料瓶的底部。原料瓶有2個瓶口，分別為進口和出口。出口在原料瓶的頂部，進口通過一根管道插入原料瓶的底部。原料瓶倒立，瓶口朝下，放在儲料瓶的上部。原料瓶的出口通過一根管道與儲料瓶的加料口相連，原料瓶的進口通過一根管道與儲料瓶的回氣口相連。儲料瓶的載氣入口通過一根管道與流量控制器相連。儲料瓶的載氣出口通過一根管道與壓強控制器相連。在原料瓶的出口與儲料瓶的加料口之間，以及在原料瓶的進口和儲料瓶的回氣口之間，各加一個閥門。該裝置可以方便地給儲料瓶加料。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）
【技術實現步驟摘要】
【專利摘要】本技術公開了一種金屬有機源加料裝置。該裝置中有一個儲料瓶，儲料瓶正立，瓶口朝上。儲料瓶有4個瓶口，分別為：加料口、回氣口、載氣入口、載氣出口。加料口和載氣出口在儲料瓶的頂部；回氣口通過一根管道插入儲料瓶的中部；載氣入口通過一根管道插入儲料瓶的底部。原料瓶有2個瓶口，分別為進口和出口。出口在原料瓶的頂部，進口通過一根管道插入原料瓶的底部。原料瓶倒立，瓶口朝下，放在儲料瓶的上部。原料瓶的出口通過一根管道與儲料瓶的加料口相連，原料瓶的進口通過一根管道與儲料瓶的回氣口相連。儲料瓶的載氣入口通過一根管道與流量控制器相連。儲料瓶的載氣出口通過一根管道與壓強控制器相連。在原料瓶的出口與儲料瓶的加料口之間，以及在原料瓶的進口和儲料瓶的回氣口之間，各加一個閥門。該裝置可以方便地給儲料瓶加料。【專利說明】一種金屬有機源加料裝置
本專利技術涉及一種金屬有機源的加料裝置，該裝置在金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)設備中使用，尤其在大規模生產型的MOCVD設備中使用。
技術介紹
以氮化鎵(GaN)為代表的III族氮化物已經成為一種重要的半導體材料。以GaN做成的發光二極管(LED)，已經成為“半導體照明”的主要發展方向。 MOCVD是目前生產GaN-LED的唯一方法。隨著MOCVD設備的產能越來越大，所需要的金屬有機源(MO)也就越來越多。大罐裝的MO源瓶是以后的發展趨勢，尤其是三甲基鎵由于其用量很大，大罐裝的三甲基鎵已是必然。目前20公斤包裝的三甲基鎵已經面市。 雖然大罐裝的三甲基鎵減少了換料次數，降低了 MOCVD待機時間，但是大罐裝三甲基鎵的瓶子由于其體積大，容易造成三甲基鎵的流量不穩定，影響LED的品質。 本專利技術就是為解決以上問題的，其核心思想是:增加一個儲料瓶，儲料瓶放在恒溫槽(俗稱“冷阱”)中，儲料瓶的體積較小，一般在500毫升以下，只要保證每次灌滿料后能夠外延生長一次的用量即可。每次外延生長完畢，利用取片/裝片的時間，從原料瓶向儲料瓶罐料。利用這套裝置，既避免了大罐裝三甲基鎵的瓶子由于其體積大造成MO源的流量不穩定，又減少了換料次數，降低了 MOCVD待機時間。
技術實現思路
本專利技術為一種金屬有機源加料裝置，其結構包括:有一個儲料瓶(11)，儲料瓶 (11)正立，瓶口朝上，放在恒溫槽(俗稱“冷阱”)中。儲料瓶有4個瓶口，分別為:加料口 (1)、回氣口(2)、載氣入口(3)、載氣出口(4)。加料口⑴和載氣出口(4)在儲料瓶(11)的頂部。回氣口(2)通過一根管道插入儲料瓶(11)的中部。載氣入口(3)通過一根管道插入儲料瓶(11)的底部。原料瓶(12)有2個瓶口，分別為進口(10)和出口(9)。出口(9)在原料瓶(12)的頂部，進口(10)通過一根管道插入原料瓶(12)的底部。原料瓶(12)倒立，瓶口朝下，放在儲料瓶(11)的上部。原料瓶(12)的出口(9)通過一根管道與儲料瓶 (11)的加料口(I)相連，原料瓶(12)的進口(10)通過一根管道與儲料瓶(11)的回氣口 (2)相連。儲料瓶(11)的載氣入口(3)通過一根管道與流量控制器相連。儲料瓶的載氣出口(4)通過一根管道與壓強控制器相連。為了方便控制加料和停止加料，在原料瓶(12)的出口(9)與儲料瓶(11)的加料口⑴之間，以及在原料瓶(12)的進口(10)和儲料瓶(11)的回氣口(2)之間，各加I個加料閥門(5)，一般情況下為氣動閥門。這樣，在每次外延生長完畢，利用取片/裝片的時間，打開2個加料閥門(5)即可從原料瓶(12)向儲料瓶(11)加料，直到儲料瓶(11)中的液面接觸到回氣口(2)插入儲料瓶(11)中的管子為止。 該裝置在儲料瓶(11)的4個瓶口上各加I個儲料瓶閥門(6)，在原料瓶(12)的2個瓶口上各加I個原料瓶閥門(7)。一般情況下，儲料瓶閥門(6)和原料瓶閥門(7)都為手動閥門。在每次更換原料瓶(12)時，先關閉原料瓶閥門(7)和儲料瓶閥門(6)，以防MO泄漏。當更換完原料瓶(12)，料瓶閥門(7)和儲料瓶閥門(6)都一直打開，隨時可以加料。 該裝置可以在原料瓶(12)的進口(10)和出口(9)上各加I個抽氣閥(8)，一般為氣動閥門，也可以為手動閥門。這樣在每次更換原料瓶(12)時，將連接管道中的空氣抽干凈,表面空氣污染MO源。 該裝置中I個原料瓶(12)可以同時接多個儲料瓶(11)。例如，在圖2中，I個原料瓶(12)同時接2個儲料瓶(11、11’)。為了方便加料，用了 2套加料閥門(5、5’)。當打開第一套加料閥門(5)而且關閉第二套加料閥門(5’)，原料瓶(12)就給第一個儲料瓶(11)加料；當打開第二套加料閥門(5，)而且關閉第一套加料閥門(5)，原料瓶(12)就給第二個儲料瓶(11’)加料。 【專利附圖】【附圖說明】 圖1是本專利技術的第一實施例結構圖。 圖2是本專利技術的第二實施例結構圖。 【具體實施方式】 圖1是本專利技術的第一實施例結構圖。其結構包括:一個儲料瓶(11)，儲料瓶(11)正立，瓶口朝上，放在恒溫槽(俗稱“冷阱”，圖中未畫出)中。儲料瓶有4個瓶口，分別為:加料口(I)、回氣口(2)、載氣入口(3)、載氣出口(4)。加料口(I)和載氣出口(4)在儲料瓶(11)的頂部。回氣口(2)通過一根管道插入儲料瓶(11)的中部。載氣入口(3)通過一根管道插入儲料瓶(11)的底部。原料瓶(12)有2個瓶口，分別為進口(10)和出口(9)。出口(9)在原料瓶(12)的頂部，進口(10)通過一根管道插入原料瓶(12)的底部。原料瓶 倒立，瓶口朝下，放在儲料瓶(11)的上部。原料瓶(12)的出口(9)通過一根管道與儲料瓶(11)的加料口(I)相連，原料瓶(12)的進口(10)通過一根管道與儲料瓶(11)的回氣口(2)相連。儲料瓶(11)的載氣入口(3)通過一根管道與流量控制器相連。儲料瓶的載氣出口(4)通過一根管道與壓強控制器相連。為了方便控制加料和停止加料，在原料瓶(12)的出口(9)與儲料瓶(11)的加料口⑴之間，以及在原料瓶(12)的進口(10)和儲料瓶(11)的回氣口⑵之間，各加I個加料閥門(5)，一般情況下為氣動閥門。這樣，在每次外延生長完畢，利用取片/裝片的時間，打開2個加料閥門(5)即可從原料瓶(12)向儲料瓶(11)加料，直到儲料瓶(11)中的液面接觸到回氣口⑵插入儲料瓶(11)中的管子為止。 該裝置在儲料瓶(11)的4個瓶口上各加I個儲料瓶閥門(6)，在原料瓶(12)的2個瓶口上各加I個原料瓶閥門(7)。一般情況下，儲料瓶閥門(6)和原料瓶閥門(7)都為手動閥門。在每次更換原料瓶(12)時，先關閉原料瓶閥門(7)和儲料瓶閥門(6)，以防MO泄漏。當更換完原料瓶(12)，料瓶閥門(7)和儲料瓶閥門(6)都一直打開，方便隨時加料。 該裝置可在原料瓶(12)的進口(10)和出口(9)上各加I個抽氣閥(8)，一般為氣動閥門，也可以為手動閥門。這樣在每次更換原料瓶(12)時，將連接管道中的空氣抽干凈，防止雜質污染MO源。 在每次外延生長完畢，利用取片/裝片的時間，利用這套裝置從原料瓶(12)向儲料瓶(11)加料，這樣既避免了大罐裝三甲基鎵的瓶子由于本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種金屬有機源加料裝置，其特征在于：該裝置中有一個儲料瓶(11)，儲料瓶(11)正立，瓶口朝上；儲料瓶有4個瓶口，分別為：加料口(1)、回氣口(2)、載氣入口(3)、載氣出口(4)；加料口(1)和載氣出口(4)在儲料瓶(11)的頂部；回氣口(2)通過一根管道插入儲料瓶(11)的中部；載氣入口(3)通過一根管道插入儲料瓶(11)的底部；原料瓶(12)有2個瓶口，分別為進口(10)和出口(9)；出口(9)在原料瓶(12)的頂部，進口(10)通過一根管道插入原料瓶(12)的底部；原料瓶(12)倒立，瓶口朝下，放在儲料瓶(11)的上部；原料瓶(12)的出口(9)通過一根管道與儲料瓶(11)的加料口(1)相連，原料瓶(12)的進口(10)通過一根管道與儲料瓶(11)的回氣口(2)相連；儲料瓶(11)的載氣入口(3)通過一根管道與流量控制器相連；儲料瓶的載氣出口(4)通過一根管道與壓強控制器相連；在原料瓶(12)的出口(9)與儲料瓶(11)的加料口(1)之間，以及在原料瓶(12)的進口(10)和儲料瓶(11)的回氣口(2)之間，各加1個加料閥門(5)。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉祥林，
申請(專利權)人：劉祥林，
類型：新型
國別省市：北京;11
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