檢測(cè)真空腔體密封性能的方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)公開一種檢測(cè)真空腔體密封性能的方法，所述真空腔體之閉合處包括雙密封圈，所述雙密封圈之間形成密封腔，所述密封腔的腔壁處設(shè)抽氣孔，其特征在于，所述檢測(cè)真空腔體密封性能的方法包括：將抽氣閥通過管路連接至所述抽氣孔，形成抽氣管路；在所述抽氣管路上安裝壓力計(jì)；開啟所述抽氣閥，對(duì)所述密封腔進(jìn)行抽真空，在抽真空的過程中，監(jiān)控所述壓力計(jì)；及根據(jù)所述壓力計(jì)的讀數(shù)判斷所述雙密封圈的密封性。本發(fā)明專利技術(shù)能夠快速對(duì)所述密封腔抽真空，跟據(jù)壓力計(jì)能夠判斷雙密封圈的密封性。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【專利摘要】本專利技術(shù)公開一種，所述真空腔體之閉合處包括雙密封圈，所述雙密封圈之間形成密封腔，所述密封腔的腔壁處設(shè)抽氣孔，其特征在于，所述包括：將抽氣閥通過管路連接至所述抽氣孔，形成抽氣管路；在所述抽氣管路上安裝壓力計(jì)；開啟所述抽氣閥，對(duì)所述密封腔進(jìn)行抽真空，在抽真空的過程中，監(jiān)控所述壓力計(jì)；及根據(jù)所述壓力計(jì)的讀數(shù)判斷所述雙密封圈的密封性。本專利技術(shù)能夠快速對(duì)所述密封腔抽真空，跟據(jù)壓力計(jì)能夠判斷雙密封圈的密封性。【專利說明】
本專利技術(shù)涉及針對(duì)真空腔體閉合處，檢測(cè)其密封性能的方法。
技術(shù)介紹
真空腔體閉合處一般采取密封圈(Ο-ring)進(jìn)行密封。現(xiàn)有技術(shù)中的一種密封結(jié)構(gòu)為:采用雙密封圈進(jìn)行密封，雙密封圈之間的腔壁處有開孔，連接抽氣泵(Pump)，可對(duì)雙密封圈之間的空間進(jìn)行抽氣，實(shí)現(xiàn)雙密封圈之間的抽真空。這種結(jié)構(gòu)雖然能實(shí)現(xiàn)密封可靠性的提高，但也存在一定的問題，主要表現(xiàn)在: 1、真空受體的開腔體困難，在開腔體時(shí)，由于雙密封圈之間處于真空狀態(tài)，需要克服大氣壓強(qiáng)的存在分離腔體，特別是針對(duì)大的腔體則更困難； 2、較難保證兩根密封圈同時(shí)密封好，當(dāng)兩根密封圈之中只有一根密封圈出現(xiàn)密封問題而產(chǎn)生漏氣，不會(huì)對(duì)腔體的密封性產(chǎn)生影響，但此時(shí)卻失去了雙密封圈密封的意義，降低了密封可靠性。 因此，如何設(shè)計(jì)一種真空腔體閉合處的檢測(cè)密封性能的方法，能夠?qū)崿F(xiàn)快速開腔，容易開腔，而且，能夠快速判斷真空腔體密封處的密封圈密封性，一直為業(yè)界研究的課題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)所要解決的技術(shù)問題在于提供一種，可以使陣列基板與彩膜基板的貼合過程中實(shí)現(xiàn)精確對(duì)位，避免由于搬運(yùn)或翻轉(zhuǎn)而引起的基板對(duì)位不良的情形。 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)實(shí)施方式提供如下技術(shù)方案: 本專利技術(shù)供了一種，所述真空腔體之閉合處包括雙密封圈，所述雙密封圈之間形成密封腔，所述密封腔的腔壁處設(shè)抽氣孔，所述包括:將抽氣閥通過管路連接至所述抽氣孔，形成抽氣管路；在所述抽氣管路上安裝壓力計(jì)；開啟所述抽氣閥，對(duì)所述密封腔進(jìn)行抽真空，在抽真空的過程中，監(jiān)控所述壓力計(jì)；根據(jù)所述壓力計(jì)的讀數(shù)判斷所述雙密封圈的密封性。 其中，根據(jù)所述壓力計(jì)的讀數(shù)判斷所述雙密封圈的密封性的方法包括:當(dāng)所述壓力計(jì)的讀數(shù)無法達(dá)到第一預(yù)定值時(shí)，所述第一預(yù)定值為所述密封腔處于真空狀態(tài)下時(shí)管路中的壓力值，判斷所述雙密封圈漏氣；反之，當(dāng)所述壓力計(jì)的讀數(shù)達(dá)到第一預(yù)定值時(shí)，判斷所述雙密封圈密封無漏氣情況。 其中，當(dāng)判斷所述雙密封圈漏氣時(shí)，打開腔體，并清潔所述雙密封圈及與所述雙密封圈所配合的真空腔體，再閉合所述真空腔體，重復(fù)所述開啟所述抽氣閥對(duì)所述密封腔進(jìn)行抽真空的步驟。 其中，當(dāng)判斷所述雙密封圈不漏氣時(shí)，對(duì)所述真空腔體內(nèi)部進(jìn)行抽真空。 其中，當(dāng)判斷所述雙密封圈漏氣時(shí)，所述還包括:在所述抽氣管路中安裝氦氣檢漏儀，所述氦氣檢漏儀能夠?qū)崿F(xiàn)在抽真空的過程中檢測(cè)所述密封腔內(nèi)是否存在氦氣；利用氣槍在所述真空腔體的外圍，對(duì)準(zhǔn)所述真空腔體的閉合處，噴射氦氣；若所述氦氣檢漏儀檢測(cè)到氦氣，檢測(cè)出所述雙密封圈中的位于外圈的密封圈漏氣；若所述氦氣檢漏儀沒有檢測(cè)到氦氣，證明所述雙密封圈中的位于外圈的密封圈不漏氣，所述雙密封圈中的位于內(nèi)圈的密封圈漏氣。 其中，所述密封腔的腔壁處還設(shè)有進(jìn)氣孔，所述還包括:將進(jìn)氣閥通過管路連接至所述進(jìn)氣孔，形成進(jìn)氣管路；當(dāng)需要對(duì)所述密封腔進(jìn)行抽真空時(shí)，所述進(jìn)氣閥關(guān)閉，再開啟所述抽氣閥；當(dāng)需要打開所述真空腔體時(shí)，所述抽氣閥關(guān)閉，開啟所述進(jìn)氣閥，通過所述進(jìn)氣管路使得外界大氣進(jìn)入所述密封腔內(nèi)，使得所述密封腔內(nèi)的氣體壓力升至大氣壓。 其中，在所述進(jìn)氣管路中安裝氣壓計(jì)，通過所述氣壓計(jì)的讀數(shù)是否接近大氣壓，來判斷是否可以打開所述真空腔體。 其中，在所述進(jìn)氣管路中安裝氣壓計(jì)，判斷所述氣壓計(jì)的讀數(shù)是否達(dá)到，所述第二預(yù)設(shè)值為大氣壓或接近大氣壓的值，當(dāng)所述氣壓計(jì)的讀數(shù)達(dá)到所述第二預(yù)設(shè)值時(shí)，打開所述真空腔體。 其中，在所述進(jìn)氣管路上增設(shè)報(bào)警裝置，當(dāng)所述氣壓計(jì)的讀數(shù)達(dá)到第二預(yù)設(shè)值時(shí)，所述報(bào)警裝置報(bào)警提醒工作人員打開所述真空腔體。 本專利技術(shù)通過在抽氣孔處連接抽氣管路，利用抽氣閥抽氣，根據(jù)壓力計(jì)的讀數(shù)能夠判斷密封腔是否為真空狀態(tài)，進(jìn)而判斷雙密封圈的密封性能，由于雙密封圈之間的密封腔在整個(gè)真空腔體中所點(diǎn)的空間很小,其中的真空能夠快速抽下去,根據(jù)壓力表讀數(shù),能夠快速判斷雙密封圈的密封性能，避免頻繁的開關(guān)腔體，為生產(chǎn)節(jié)省了時(shí)間。 【專利附圖】【附圖說明】 為了更清楚地說明本專利技術(shù)的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施方式中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本專利技術(shù)的一些實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以如這些附圖獲得其他的附圖。 圖1是本專利技術(shù)一種實(shí)施方式提供的之需要打開真空腔體時(shí)的不意圖。 圖2是本專利技術(shù)一種實(shí)施方式提供的之需要對(duì)密封腔進(jìn)行抽真空時(shí)的示意圖。 【具體實(shí)施方式】 下面將結(jié)合本專利技術(shù)實(shí)施方式中的附圖，對(duì)本專利技術(shù)實(shí)施方式中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。 本專利技術(shù)供了一種，請(qǐng)參閱圖1和圖2，所述真空腔體之閉合處包括雙密封圈10，所述雙密封圈10之間形成密封腔，所述密封腔的腔壁處設(shè)抽氣孔20，所述包括:將抽氣閥40通過管路連接至所述抽氣孔20，形成抽氣管路；在所述抽氣管路上安裝壓力計(jì)60 ;開啟所述抽氣閥40，對(duì)所述密封腔進(jìn)行抽真空，在抽真空的過程中，監(jiān)控所述壓力計(jì)60 ;根據(jù)所述壓力計(jì)60的讀數(shù)判斷所述雙密封圈10的密封性。 本專利技術(shù)通過在抽氣孔20處連接抽氣管路，利用抽氣閥40抽氣，根據(jù)壓力計(jì)60的讀數(shù)能夠判斷密封腔是否為真空狀態(tài)，進(jìn)而判斷雙密封圈10的密封性能，由于雙密封圈10之間的密封腔在整個(gè)真空腔體中所點(diǎn)的空間很小，其中的真空能夠快速抽下去，根據(jù)壓力表讀數(shù)，能夠快速判斷雙密封圈10的密封性能，避免頻繁的開關(guān)腔體，為生產(chǎn)節(jié)省了時(shí)間。 一種實(shí)施方式中，根據(jù)所述壓力計(jì)60的讀數(shù)判斷所述雙密封圈10的密封性的方法包括:當(dāng)所述壓力計(jì)60的讀數(shù)無法達(dá)到第一預(yù)定值時(shí)，所述第一預(yù)定值為所述密封腔處于真空狀態(tài)下時(shí)管路中的壓力值，判斷所述雙密封圈10漏氣；反之，當(dāng)所述壓力計(jì)60的讀數(shù)達(dá)到第一預(yù)定值時(shí)，判斷所述雙密封圈10密封無漏氣情況。本實(shí)施方式中，第一預(yù)定值為0.1Pa0當(dāng)所述雙密封圈10產(chǎn)生漏氣時(shí)，密封腔內(nèi)的壓力值一定會(huì)大于第一預(yù)定值，舉例而言，在抽真空的過程中，壓力表的值最低只能達(dá)到0.5Pa，大于第一預(yù)定值0.1Pa，證明所述雙密封圈10產(chǎn)生漏氣。 進(jìn)一步而言，當(dāng)判斷所述雙密封圈10漏氣時(shí)，漏氣的原因可能是雙密封圈10的表面有雜物，需要清潔，此時(shí)，需要打開腔體，并清潔所述雙密封圈10及與所述雙密封圈10所配合的真空腔體，再閉合所述真空腔體，重復(fù)所述開啟所述抽氣閥40對(duì)所述密封腔進(jìn)行抽真空的步驟。 當(dāng)判斷所述雙密封圈10不漏氣時(shí)，對(duì)所述真空腔體內(nèi)部進(jìn)行抽真空。 本專利技術(shù)一種實(shí)施方式中，可以利用氦氣漏檢的方法檢測(cè)具體的雙密封圈中的哪一條的密封性能不好。具體如下方法如下。 當(dāng)判斷所述雙密封圈10漏氣時(shí)，所述還包括:在所述抽氣管路中安裝氦氣檢漏儀80，所述氦氣檢漏儀80能夠?qū)崿F(xiàn)在抽真空的過程中檢測(cè)所述密封腔內(nèi)是否存在氦氣；利用氣槍在所述真空腔體本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種檢測(cè)真空腔體密封性能的方法，所述真空腔體之閉合處包括雙密封圈，所述雙密封圈之間形成密封腔，所述密封腔的腔壁處設(shè)抽氣孔，其特征在于，所述檢測(cè)真空腔體密封性能的方法包括：將抽氣閥通過管路連接至所述抽氣孔，形成抽氣管路；在所述抽氣管路上安裝壓力計(jì)；開啟所述抽氣閥，對(duì)所述密封腔進(jìn)行抽真空，在抽真空的過程中，監(jiān)控所述壓力計(jì)；根據(jù)所述壓力計(jì)的讀數(shù)判斷所述雙密封圈的密封性。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王質(zhì)武，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：深圳市華星光電技術(shù)有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：廣東;44