一種射頻電源制造技術

本實用新型專利技術涉及電源裝置領域，公開一種射頻電源，該射頻電源包括：殼體，所述殼體內形成第一腔室、第二腔室以及用于安裝電源組件的容置室；所述容置室的腔壁上設有連通所述容置室和第一腔室的散熱入風口、和連通所述容置室和所述第二腔室的散熱出風口；所述第一腔室設有入風口，所述第二腔室設有出風口；使所述第一腔室內的氣體干燥的第一氣體干燥裝置。上述射頻電源工作時受其工作環境中濕度的限制較小，適用性較高。（*該技術在2024年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】
【專利摘要】本技術涉及電源裝置領域，公開一種射頻電源，該射頻電源包括：殼體，所述殼體內形成第一腔室、第二腔室以及用于安裝電源組件的容置室；所述容置室的腔壁上設有連通所述容置室和第一腔室的散熱入風口、和連通所述容置室和所述第二腔室的散熱出風口；所述第一腔室設有入風口，所述第二腔室設有出風口；使所述第一腔室內的氣體干燥的第一氣體干燥裝置。上述射頻電源工作時受其工作環境中濕度的限制較小，適用性較高。【專利說明】_種射頻電源
本技術涉及電源裝置領域，尤其是涉及一種射頻電源。
技術介紹
射頻電源是PECVD設備中重要的組成部分，它是生成等離子體的能量來源，廣泛應用于TFT，半導體和光伏行業中。 但是，現有技術中的射頻電源工作時受工作環境中濕度的限制較大，當射頻電源工作環境中的濕度大于一個額定值時，射頻電源將無法正常工作；如，根據廠家提供數據，當射頻電源工作環境中的濕度大于70 %時，射頻電源無法正常工作。 尤其是在光伏行業中，工藝條件相對比較簡單，廠區條件較差，射頻電源工作環境的濕度等很難控制，而且每年到了夏天雨季，射頻電源工作環境中的濕度最高可達到95 %，在此環境中，射頻電源無法維持正常工作。
技術實現思路
本技術提供了一種射頻電源，該射頻電源工作時受其工作環境中濕度的限制較小，適用性較高。 為達到上述目的，本技術提供以下技術方案: 一種射頻電源，包括: 殼體，所述殼體內形成第一腔室、第二腔室以及用于安裝電源組件的容置室；所述容置室的腔壁上設有連通所述容置室和第一腔室的散熱入風口、和連通所述容置室和所述第二腔室的散熱出風口 ；所述第一腔室設有入風口，所述第二腔室設有出風口 ； 使所述第一腔室內的氣體干燥的第一氣體干燥裝置。 上述射頻電源在工作時，氣體從第一腔室通過散熱入風口進入到容置室內，流經電源組件后從容置室的散熱出風口進入到第二腔室內，然后從第二腔室的出風口吹出，以實現對電源組件的散熱；由于第一氣體干燥裝置可以使第一腔室內的氣體干燥，所以通過散熱入風口進入容置室的氣體為干燥氣體，且容置室的散熱出風口不與外界直接相通，外界空氣很難從散熱出風口進入到容置室內，因此，容置室內的電源組件不會受到外界氣體濕度的影響。 因此，上述射頻電源工作時受其工作環境中濕度的限制較小，適用性較高。 優選地，所述第一氣體干燥裝置包括干燥氣源設備，所述干燥氣源設備的出風口與所述第一腔室的入風口通過通風管道密封連通。 優選地，所述第一氣體干燥裝置包括設置于所述第一腔室內的干燥模塊。 優選地，所述干燥模塊位于所述第一腔室的入風口處。 優選地，所述第一氣體干燥裝置還包括出風口與所述第一腔室的入風口連通的氣源。 優選地，所述射頻電源還包括使第二腔室內氣體干燥的第二氣體干燥裝置。 優選地，所述第二氣體干燥裝置為設置于所述第二腔室內、且設置于所述第二腔室出風口處的干燥模塊。 優選地，所述第二氣體干燥裝置包括干燥氣源設備，所述干燥氣源設備的出風口與所述第二腔室連通。 優選地，所述殼體內形成第一腔室、第二腔室以及用于安裝電源組件的容置室，具體包括: 所述殼體包括電源主體殼體、第一護罩和第二護罩；所述電源主體殼體內部形成所述容置室，所述第一護罩位于所述電源主體殼體的一側、且與所述電源主體殼體密封配合以形成所述第一腔室，所述第二護罩位于所述電源主體殼體背離所述第一護罩的一側、且與所述電源主體殼體密封配合以形成所述第二腔室。 優選地，所述第一護罩和所述第二護罩的材料為鋁。 【專利附圖】【附圖說明】 圖1為本技術實施例提供的一種射頻電源結構示意圖； 圖2為本技術實施例提供的另一種射頻電源結構示意圖； 圖3為本技術實施例提供的另一種射頻電源結構示意圖； 圖4為本技術實施例提供的另一種射頻電源結構示意圖。 【具體實施方式】 下面將結合本技術實施例中的附圖，對本技術實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本技術一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本技術中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本技術保護的范圍。 請參考圖1、圖2和圖3，圖1為本技術實施例提供的一種射頻電源結構示意圖；圖2為本技術實施例提供的另一種射頻電源結構示意圖；圖3為本技術實施例提供的另一種射頻電源結構示意圖。 如圖1所示，本技術實施例提供的一種射頻電源，包括: 殼體1，殼體I內形成第一腔室2、第二腔室3以及用于安裝電源組件的容置室4 ;容置室4的腔壁上設有連通容置室4和第一腔室2的散熱入風口 41、和連通容置室4和第二腔室3的散熱出風口 42 ;第一腔室2設有與入風口 21，第二腔室3設有與出風口 31 ； 使第一腔室2內的氣體干燥的第一氣體干燥裝置5。 本技術對上述射頻電源中的散熱入風口 41、散熱出風口 42、入風口 21、出風口 31的形狀和具體位置不進行限制。 上述射頻電源在工作時，氣體從第一腔室2通過散熱入風口 41進入到容置室4內，流經電源組件后從容置室4的散熱出風口 42進入到第二腔室3內，然后從第二腔室3的出風口 31吹出，以實現對電源組件的散熱；由于第一氣體干燥裝置5可以使第一腔室2內的氣體干燥，所以通過散熱入風口 41進入容置室4的氣體為干燥氣體，且容置室4的散熱出風口 42不與外界直接相通，外界空氣很難從散熱出風口 42進入到容置室4內，因此，容置室4內的電源組件不會受到外界氣體濕度的影響。 因此，上述射頻電源工作時受其工作環境中濕度的限制較小，適用性較高。 如圖2所示，一種具體的實施例中，第一氣體干燥裝置5包括干燥氣源設備52，干燥氣源設備52的出風口與第一腔室2的入風口 21通過通風管道51密封連通。干燥氣源設備52可以通過通風管道51為第一腔室2提供潔凈干燥的氣體，以使第一腔室2內的氣體干燥。 如圖3所示，一種具體的實施例中，第一氣體干燥裝置包括設置于第一腔室2內的干燥模塊53。干燥模塊53可以為吸濕器或者干燥劑，如硫酸鈣、活性炭等，干燥模塊53可以吸附氣體中的水分子以使第一腔室2內的氣體干燥。 如圖3所示，在上述實施例的基礎上，一種優選的實施例中，干燥模塊53位于第一腔室2的入風口 21處，以方便直接對從入風口 21進入的氣體進行干燥。如圖4所示，另一種優選的實施例中，第一氣體干燥裝置5還可以包括出風口與第一腔室2的入風口 21連通的氣源55，氣源55通過通風管道54可以為第一腔室2提供氣體。 在上述實施例的基礎上，一種優選的實施例中，射頻電源還包括使第二腔室3內氣體干燥的第二氣體干燥裝置。 如圖4所示，在上述實施例的基礎上，一種優選的實施例中，第二氣體干燥裝置可以為設置于第二腔室3內、且設置于第二腔室3出風口 31處的干燥模塊6。干燥模塊6可以為吸濕器或者干燥劑，如硫酸鈣，活性炭等，干燥模塊6可以吸附氣體中的水分子使進入第二腔室3內的氣體干燥。另一種優選的實施例中，第二氣體干燥裝置還可以包括出風口與第二腔室3連通的干燥氣源設備。通過干燥氣源設備向第二腔室3提供潔凈干燥的氣體，可以使第二腔室3內的氣本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種射頻電源，其特征在于，包括：殼體，所述殼體內形成第一腔室、第二腔室以及用于安裝電源組件的容置室；所述容置室的腔壁上設有連通所述容置室和第一腔室的散熱入風口、和連通所述容置室和所述第二腔室的散熱出風口；所述第一腔室設有入風口，所述第二腔室設有出風口；使所述第一腔室內的氣體干燥的第一氣體干燥裝置。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：牟紅林，劉桂東，黃云嶺，李國強，邸增奎，吳波，孟原，郭鐵，
申請(專利權)人：新奧光伏能源有限公司，
類型：新型
國別省市：河北;13