【技術實現步驟摘要】
多晶娃定向提純爐
本技術涉及多晶硅的提純領域，具體地說，涉及一種多晶硅定向提純爐。
技術介紹
冶金法多晶硅是采用物理法對冶金級的硅進行造渣、精煉、酸洗(濕法冶金)、定向凝固等方式，將雜質去除后得到的高純多晶硅，是光伏轉換的基礎材料，具有廣泛的應用前景。冶金法多晶硅的提純工藝多樣，其中使用多晶硅真空熔煉爐定向凝固除雜技術是多晶硅制備中最常見的、最為有效的方法之一。 多晶硅真空熔煉爐是一種在真空或氣氛條件下熔融多晶硅，并去除硅內揮發雜質的設備。在工業硅或造渣后的低硼硅中都有大量揮發性雜質存在，熔煉工業硅之后，設備內壁上會附著一層沉積物，難以清理。在已有的多晶硅提純設備中，多在真空管路中放置鐵絲網或鋼絲團作為粉塵或顆粒沉積的方法，但是該方法不能有效去除揮發雜質，雜質沉積在爐壁上或溶解在泵油里面，更加難以清理，甚至造成真空泵機械部件磨損出現漏油或停機故障，降低整個設備的使用壽命。
技術實現思路
為解決上述問題，本技術提供一種減少清理、延長維護周期的多晶硅定向提純爐。 本技術所述的多晶硅定向提純爐，包括爐體和真空抽氣裝置，所述真空抽氣裝置包括真空管路、安裝在真空管路上的比例閥和滑閥泵，真空管路上設置換熱器和過濾器，換熱器、過濾器、比例閥和滑閥泵按照爐體內氣體排出方向依次設置。 從爐體內揮發出的雜質類似于高溫煙塵，過濾器能夠將從該雜質過濾掉,進而能夠防止該雜質沉積在真空抽氣裝置的內壁上，防止雜質對真空泵油產生污染，在揮發出的雜質進入過濾器之前，經過換熱器的冷卻作用，能夠將高溫雜質冷卻，防止雜質對過濾器的濾芯產生破壞作用，過濾器內部的濾芯可...
【技術保護點】
一種多晶硅定向提純爐，包括爐體(1)和真空抽氣裝置，所述真空抽氣裝置包括真空管路(8)、安裝在真空管路(8)上的比例閥(13)和滑閥泵(14)，其特征在于，真空管路(8)上設置換熱器(10)和過濾器(12)，換熱器(10)、過濾器(12)、比例閥(13)和滑閥泵(14)按照爐體內氣體排出方向依次設置。
【技術特征摘要】
1.一種多晶硅定向提純爐，包括爐體(I)和真空抽氣裝置，所述真空抽氣裝置包括真空管路(8)、安裝在真空管路(8)上的比例閥(13)和滑閥泵(14)，其特征在于，真空管路(8)上設置換熱器(10)和過濾器(12)，換熱器(10)、過濾器(12)、比例閥(13)和滑閥泵(14)按照爐體內氣體排出方向依次設置。2.根據權利要求1所述的多晶硅定向提純爐，其特征在于，所述爐體(I)與真空抽氣裝置之間設有排氣裝置，排氣裝置包括排氣管(9)和水冷裝置，排氣...
【專利技術屬性】
技術研發人員：譚毅，姜大川，顧正，張曉峰，劉善亮，
申請(專利權)人：青島隆盛晶硅科技有限公司，
類型：新型
國別省市：山東;37
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。