【技術實現步驟摘要】
一種低溫掃描激光顯微鏡的光學系統
本專利技術屬于用于研究微觀機理的小型設備
，具體涉及一種掃描激光顯微鏡的光學系統。
技術介紹
隨著微加工技術的發展，電子元器件的尺寸已經到了微米甚至是納米量級。由于器件尺度的減小，無論是基于半導體材料，還是基于超導材料的電子器件，其內部存在的熱現象都對器件工作狀態有著重要的影響。某些特殊的電子器件，由其材料決定，必須工作在極端條件下(如基于超導材料的超導電子器件需工作在低溫環境)，這時熱效應的影響就更加顯著。在利用這些器件宏觀效應(如基于BSCCO高溫超導材料的太赫茲輻射源)的同時，希望能更深入地研究這些器件工作的微觀機制，其內部的自熱現象，電磁場的分布等影響器件表現的各種因素。然而這些電子器件的尺寸和工作溫度條件，給研究其內部的微觀機制提出了苛刻的要求。現有的研究設備，還不能完全滿足使用需求。
技術實現思路
專利技術目的:針對現有技術中存在的不足，本專利技術的目的在于提供一種掃描激光顯微鏡的光學系統，使用環形器和漸變折射率棱鏡，有效地減小光學系統復雜度和相應的體積，滿足使用需求。 技術方案:為了實現上述專利技術目的，本專利技術采用的技術方案為:一種掃描激光顯微鏡的光學系統，包括激光器、環行器、光電探測器、光纖和漸變折射率棱鏡；所述的激光器、光電探測器和光纖均與環行器相連，所述的漸變折射率棱鏡與光纖相連。 所述的環行器用于隔離激光器出射的激光和從樣品上反射的激光；從激光器出射的激光通過環形器耦合至光纖中，從樣品上反射的激光經環形器耦合到光電探測器上。 所述的光電探測器用于檢測...
【技術保護點】
一種掃描激光顯微鏡的光學系統，其特征在于：包括激光器（1）、環行器（2）、光電探測器（3）、光纖（4）和漸變折射率棱鏡（5）；所述的激光器（1）、光電探測器（3）和光纖（4）均與環行器（2）相連，所述的漸變折射率棱鏡（5）與光纖（4）相連。
【技術特征摘要】
1.一種掃描激光顯微鏡的光學系統，其特征在于:包括激光器(I)、環行器(2)、光電探測器(3)、光纖(4)和漸變折射率棱鏡(5);所述的激光器(I)、光電探測器(3)和光纖(4)均與環行器(2)相連，所述的漸變折射率棱鏡(5)與光纖(4)相連。2.根據權利要求1所述的掃描激光顯微鏡的光學系統，其特征在于:所述的環行器(2)用于隔離激光器(I)出射的激光和從樣品上反射的激光；從激光器(I)出射的激光通過環形器(2)耦合至光纖(4)中，從樣品上反射的激光經環形器(2)耦合到光電探測...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王華兵，周憲靖，袁潔，吳培亨，
申請(專利權)人：南京大學，
類型：發明
國別省市：江蘇;32
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