靜電耦合方式非接觸供電裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術的靜電耦合方式非接觸供電裝置(1)具備設于固定部(2)的多個非接觸供電用電極(41)及高頻電源電路(5)、設于移動部(3)的多個非接觸受電用電極(61)及受電電路(7)，非接觸供電用電極(41)及非接觸受電用電極(61)是與移動部(3)的移動方向垂直的截面形狀由基部(411、611)及多個齒部(412、612)構成、且齒部(412、612)彼此相互隔有距離且相互交錯地嵌合的梳型電極，而且，非接觸受電用電極(61)是齒部(612)的表面由導體層(613)覆蓋、且齒部(612)的內部及基部(611)由比重比導體層(613)的比重小的材質形成的梳型電極。由此，與以往相比能夠提高非接觸供電的供電電容及供電效率，并且使作為供電對象的移動部(3)輕量化。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】【專利摘要】本專利技術的靜電耦合方式非接觸供電裝置(1)具備設于固定部(2)的多個非接觸供電用電極(41)及高頻電源電路(5)、設于移動部(3)的多個非接觸受電用電極(61)及受電電路(7)，非接觸供電用電極(41)及非接觸受電用電極(61)是與移動部(3)的移動方向垂直的截面形狀由基部(411、611)及多個齒部(412、612)構成、且齒部(412、612)彼此相互隔有距離且相互交錯地嵌合的梳型電極，而且，非接觸受電用電極(61)是齒部(612)的表面由導體層(613)覆蓋、且齒部(612)的內部及基部(611)由比重比導體層(613)的比重小的材質形成的梳型電極。由此，與以往相比能夠提高非接觸供電的供電電容及供電效率，并且使作為供電對象的移動部(3)輕量化。【專利說明】靜電耦合方式非接觸供電裝置
本專利技術涉及從固定部以非接觸的方式向移動部上的電氣負載供電的非接觸供電裝置，更詳細而言，涉及將電極板隔有距離地相向配置的靜電耦合方式非接觸供電裝置。
技術介紹
作為生產安裝有多個元件的基板的基板用作業設備，存在焊料印刷機、元件安裝機、回流焊機、基板檢查機等，利用基板搬運裝置將它們連接來構筑基板生產線的情況較多。這些基板用作業設備的大多數具備在基板的上方移動而進行預定的作業的移動部，作為驅動移動部的一單元，能夠使用直線電動機裝置。直線電動機裝置通常具備:沿移動方向交替地排列設置有多個磁鐵的~極及3極的軌道構件；及包含具有芯部及線圈的電樞而構成的移動部。為了向以直線電動機裝置為首的移動部上的電氣負載供電，以往使用了可變形的供電用線纜。而且，近年來，為了消除由供電用線纜引起的載運重量的增加、由金屬疲勞引起的斷線的風險等弊端，提出了適用非接觸供電裝置的方案。 作為非接觸供電裝置的方式，以往大多采用使用了線圈的電磁感應方式，但是最近也使用通過相向的電極板來構成電容器的靜電耦合方式，除此之外還研宄了磁共振方式等。非接觸供電裝置的用途并非限定于基板用作業設備，正向其他行業的工業用設備、家電產品等廣闊的領域擴展。在專利文獻1中公開了將非接觸供電裝置配備于汽車的技術例。 專利文獻1的信號電力的傳送裝置中，與車門面板和車身面板相向地分別安裝一對電磁耦合器或靜電耦合器，且在車門側具備充電裝置及蓄電池。并且，能夠通過非接觸供電向蓄電池蓄電，并向車門側的電氣組件供給電源。由此，不需要車身與車門之間的線束，配線作業變得簡單，能夠降低成本、節省資源。而且，在第二實施方式中，作為一對靜電耦合器的結構，公開了互不相同地插入有多片電極的方案，使電極的相向面積增加而構成較大的靜電電容的電容器。 專利文獻1:日本特開平9-266643號公報
技術實現思路
專利技術要解決的課題 然而，在將非接觸供電裝置配備于基板用作業設備的情況下，在電磁感應方式中，線圈重量化而移動部的總重量變大，而且，產生避免與直線電動機裝置的磁場干擾的結構方面的限制，因此認為靜電耦合方式較為優選。靜電耦合方式的非接觸供電中的供電電容及供電效率取決于由固定部及移動部的電極構成的電容器的靜電電容的大小。然而，若為了使靜電電容增大而使電極大型化，則仍然是移動部變大而容易重量化。而且，電極的整個表面積中的相互相向而能夠有助于非接觸供電的有效面積的比率存在限度，供電效率下降與從未相向的部分白白地放射的電場相應的量。這表示，雖然優選專利文獻1的第二實施方式的靜電耦合器的方案，但是存在進一步提高性能的余地。提高性能的問題點沒有限定于基板用作業設備的用途，在適用于廣泛的領域的非接觸供電裝置中共通。 本專利技術鑒于上述
技術介紹
的問題點而作出，應解決的課題在于提供與以往相比提高非接觸供電的供電電容及供電效率、并使作為供電對象的移動部輕量化的靜電耦合方式非接觸供電裝置。 用于解決課題的方案 解決上述課題的第一方案的靜電耦合方式非接觸供電裝置的技術方案具備:多個非接觸供電用電極，設于固定部；高頻電源電路，向上述多個非接觸供電用電極之間供給高頻電力；多個非接觸受電用電極，設于能夠移動地架裝于上述固定部的移動部上，與上述多個非接觸供電用電極分別隔有距離地相向而以非接觸方式接收高頻電力；及受電電路，對上述多個非接觸受電用電極所接收到的高頻電力進行轉換而向上述移動部上的電氣負載供電，在上述靜電耦合方式非接觸供電裝置中，上述非接觸供電用電極及上述非接觸受電用電極是與上述移動部的移動方向垂直的截面形狀由基部及從上述基部延伸的多個齒部構成、且上述多個齒部彼此相互隔有距離且相互交錯地嵌合的梳型電極，而且，上述非接觸受電用電極是上述齒部的表面由導體層覆蓋、且上述齒部的內部及上述基部由比重比上述導體層的比重小的材質形成的梳型電極。 第二方案的技術方案的靜電耦合方式非接觸供電裝置具備:多個非接觸供電用電極，設于固定部；高頻電源電路，向上述多個非接觸供電用電極之間供給高頻電力；多個非接觸受電用電極，設于能夠移動地架裝于上述固定部的移動部上，與上述多個非接觸供電用電極分別隔有距離地相向而以非接觸方式接收高頻電力；及受電電路，對上述多個非接觸受電用電極所接收到的高頻電力進行轉換而向上述移動部上的電氣負載供電，在上述靜電耦合方式非接觸供電裝置中，上述非接觸供電用電極及上述非接觸受電用電極是與上述移動部的移動方向垂直的截面形狀由基部及從上述基部延伸的多個齒部構成、且上述多個齒部彼此相互隔有距離且相互交錯地嵌合的梳型電極，而且，上述非接觸受電用電極是在上述齒部及上述基部中的至少一方的內部具有空間而輕量化的梳型電極。 需要說明的是，第二方案的技術方案也可以看作在第一方案中使非接觸受電用電極的導體層具有機械強度并省略了形成齒部的內部及基部的比重較小的材質的方案。 第三方案的技術方案在第一或第二方案的基礎上，上述非接觸供電用電極是上述齒部的表面由導體層覆蓋且上述齒部的內部及上述基部由比重比上述導體層的比重小的材質形成的梳型電極、或者在上述齒部及上述基部中的至少一方的內部具有空間而輕量化的梳型電極。 第四方案的技術方案在第一至第三方案中任一方案的基礎上，上述梳型電極的齒部的截面形狀是在接近上述基部的一側寬且隨著遠離上述基部而變窄的三角形截面或梯形截面。 第五方案的技術方案在第一至第四方案中任一方案的基礎上，上述移動部配備于對基板進行預定作業的基板用作業設備。 專利技術效果 在第一方案的非接觸供電裝置的技術方案中，非接觸供電用電極及非接觸受電用電極是多個齒部彼此相互隔有距離且相互交錯地嵌合的梳型電極，而且，非接觸受電用電極的齒部的表面由導體層覆蓋，齒部的內部及基部由比重比導體層的比重小的材質形成。因此，由兩個梳型電極構成較大的靜電電容的電容器，與使用平面電極的現有技術相比，能夠提高非接觸供電的供電電容。而且，通過使用梳型電極，能夠提高電極表面積中的相互相向而能夠有助于非接觸供電的有效面積的比率，能夠減少白白地放射的電場而提高非接觸供電的供電效率。而且，由于移動部側的非接觸受電用電極的大部分由比重較小的材質形成，因此能夠使作為供電對象的移動部輕量化。 在第二方案的技術方案中，與第一方案同樣地，能夠提高非接觸供電的供電電容及供電效率。而且，由于移動部側的非接觸受電用電極在內部具有空間本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種靜電耦合方式非接觸供電裝置，具備：多個非接觸供電用電極，設于固定部；高頻電源電路，向所述多個非接觸供電用電極之間供給高頻電力；多個非接觸受電用電極，設于能夠移動地架裝于所述固定部的移動部上，與所述多個非接觸供電用電極分別隔有距離地相向而以非接觸方式接收高頻電力；及受電電路，對所述多個非接觸受電用電極所接收到的高頻電力進行轉換而向所述移動部上的電氣負載供電，所述靜電耦合方式非接觸供電裝置中，所述非接觸供電用電極及所述非接觸受電用電極是與所述移動部的移動方向垂直的截面形狀由基部及從所述基部延伸的多個齒部構成、且所述多個齒部彼此相互隔有距離且相互交錯地嵌合的梳型電極，而且，所述非接觸受電用電極是所述齒部的表面由導體層覆蓋、且所述齒部的內部及所述基部由比重比所述導體層的比重小的材質形成的梳型電極。

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】

【專利技術屬性】
技術研發人員：野村壯志，石浦直道，瀧川慎二，
申請(專利權)人：富士機械制造株式會社，
類型：發明
國別省市：日本;JP