手指間距可調的機械手及其晶圓搬運裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術涉及機械手技術領域，提供了一種手指間距可調的機械手及其晶圓搬運裝置。其中機械手包括：至少2個手指單元；至少2個調節桿，調節桿的一端與手指單元轉動連接，調節桿（的另一端與第一滑塊轉動連接；第一滑塊沿第一導軌運動，第一導軌沿手指單元的機械手指方向設置；手指單元的側邊設有第二導軌，第二導軌沿豎直方向設置，手指單元通過第二滑塊沿第二導軌運動；第一滑塊沿第一導軌運動，驅動調節桿轉動呈收縮或放開狀態，帶動手指單元沿第二導軌做上下運動。本發明專利技術實現了對機械手指間距的有效調節。

【技術實現步驟摘要】
手指間距可調的機械手及其晶圓搬運裝置
本專利技術涉及機械手
，特別是涉及一種手指間距可調的機械手及其晶圓搬運裝置。
技術介紹
在半導體器件的生產過程中，目前現有的晶圓搬運機械手機構，一般只能運輸一個晶圓。在同時運送多個晶圓時，無法對機械手的手指間距進行調整，因此其適應性和應用范圍受到了一定的限制，這種機械手只能在特定環境下對多個晶圓完成同時搬運，從而也限制了機械手的工作效率。鑒于此，克服該現有技術所存在的缺陷是本
亟待解決的問題。
技術實現思路
本專利技術要解決的技術問題是提供一種可以對手指間距進行調整的機械手及其晶圓搬運裝置。本專利技術采用如下技術方案：一種手指間距可調的機械手，所述機械手包括：至少2個手指單元（10），每一手指單元（10）設有一機械手指（11）；至少2個調節桿（20），所述調節桿（20）的一端與手指單元（10）轉動連接；第一滑塊（30），所述調節桿（20）的另一端與第一滑塊（30）轉動連接；第一導軌（40），所述第一滑塊（30）沿第一導軌（40）運動，第一導軌（40）沿手指單元（10）的機械手指（11）方向設置；所述手指單元（10）的側邊設有第二導軌（60），所述第二導軌（60）沿豎直方向設置且與第一導軌（40）垂直，手指單元（10）的側邊固定有第二滑塊（50），手指單元（10）通過第二滑塊（50）沿第二導軌（60）運動；所述第一滑塊（30）沿第一導軌（40）運動，驅動調節桿（20）轉動呈收縮或放開狀態，帶動手指單元（10）沿第二導軌（60）做上下運動。進一步地，在所述手指單元（10）的一側設置一套第一滑塊（30）和第一導軌（40），相應地在所述手指單元（10）的一側設置一套第二滑塊（50）和第二導軌（60）；或者在所述手指單元（10）的兩側各設置一套第一滑塊（30）和第一導軌（40），相應地在所述手指單元（10）的兩側各設置一套第二滑塊（50）和第二導軌（60）。進一步地，所述調節桿（20）的類型包括彎桿（21）和/或直桿（22），每一調節桿（20）的另一端通過一連接座（70）相連，連接座（70）固定于第一滑塊（30）上，使調節桿（20）的另一端與第一滑塊（30）轉動連接。在本專利技術一實施例中，所述手指單元（10）設有5個，在豎直方向上從上往下分別為：第一手指單元（101）、第二手指單元（102）、第三手指單元（103）、第四手指單元（104）和第五手指單元（105）；所述機械手還包括一外殼，所述第三手指單元（103）與外殼固定連接；所述調節桿（20）設有4個，4個調節桿（20）分別與第一手指單元（101）、第二手指單元（102）、第四手指單元（104）和第五手指單元（105）連接，第三手指單元（103）未連接有調節桿（20）；所述第二導軌（60）固定設置于外殼上，所述第一手指單元（101）、第二手指單元（102）、第四手指單元（104）和第五手指單元（105）分別通過第二滑塊（50）沿第二導軌（60）運動。進一步地，所述調節桿（20）的類型包括彎桿（21）和直桿（22）；與所述第一手指單元（101）和第五手指單元（105）連接的調節桿（20）為彎桿（21），與所述第二手指單元（102）和第四手指單元（104）連接的調節桿（20）為直桿（22）；每對彎桿（21）和每對直桿（22）的另一端通過一連接座（70）相連，連接座（70）固定于第一滑塊（30）上，使調節桿（20）的另一端與第一滑塊（30）轉動連接。進一步地，所述每一手指單元（10）還設有托塊（12）和蓋板（13），所述機械手指（11）固定于托塊（12）和蓋板（13）之間。進一步地，所述第三手指單元（103）的托塊（12）與外殼固定連接。進一步地，在所述手指單元（10）的側邊設有兩個第二導軌（60），包括第二導軌A（61）和第二導軌B（62），所述第一手指單元（101）和第五手指單元（105）沿第二導軌A（61）運動，所述第二手指單元（102）和第四手指單元（104）沿第二導軌B（62）運動。進一步地，所述機械手用于晶圓搬運。本專利技術還提供了一種晶圓搬運裝置，在所述晶圓搬運裝置中設有如上所述的手指間距可調的機械手。與現有技術相比，本專利技術的有益效果在于：在機械手指結構中加入調節桿結構，通過推拉第一滑塊實現調節桿的收放，從而實現對機械手指間距的有效調節，提高了機械手的工作效率，增加了機械手指的適應性和通用性，使得機械手指在不同工作環境下都能實現對多個待搬運物品的同時運輸。【附圖說明】圖1是本專利技術實施例中手指間距可調的機械手的結構示意圖；圖2是本專利技術實施例中手指間距可調的機械手的局部剖視圖。附圖標記如下：10-手指單元，101-第一手指單元，102-第二手指單元，103-第三手指單元，104-第四手指單元，105-第五手指單元，11-機械手指，12-托塊，13-蓋板，20-調節桿，21-彎桿，22-直桿，30-第一滑塊，40-第一導軌，50-第二滑塊，60-第二導軌，61-第二導軌A，62-第二導軌B，70-連接座。【具體實施方式】為了使本專利技術的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本專利技術進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本專利技術，并不用于限定本專利技術。此外，下面所描述的本專利技術各個實施方式中所涉及到的技術特征只要彼此之間未構成沖突就可以相互組合。本專利技術提供了一種手指間距可調的機械手，包括如下部件：至少2個手指單元，每一手指單元設有一機械手指；至少2個調節桿，調節桿的一端與手指單元轉動連接；第一滑塊，調節桿的另一端與第一滑塊轉動連接；第一導軌，第一滑塊沿第一導軌運動，第一導軌沿手指單元的機械手指方向設置；手指單元的側邊設有第二導軌，第二導軌沿豎直方向設置且與第一導軌垂直，手指單元的側邊固定有第二滑塊，手指單元通過第二滑塊沿第二導軌運動；第一滑塊沿第一導軌運動，驅動調節桿轉動呈收縮或放開狀態，帶動手指單元沿第二導軌做上下運動。本專利技術在機械手指結構中加入調節桿結構，通過推拉第一滑塊實現調節桿的收放，從而實現對機械手指間距的有效調節，提高了機械手的工作效率，增加了機械手指的適應性和通用性，使得機械手指在不同工作環境下都能實現對多個待搬運物品的同時運輸。其中，手指單元的個數優選為奇數，比如3個，5個，等等。下面以5個手指單元為例對本專利技術進行詳細說明。如圖1和圖2所示，本實施例中，手指單元10設有5個，在豎直方向上從上往下分別為：第一手指單元101、第二手指單元102、第三手指單元103、第四手指單元104和第五手指單元105。除機械手指11外，每一手指單元還設有托塊12和蓋板13，機械手指11固定于托塊12和蓋板13之間。該機械手還包括一外殼（圖中未示出），第三手指單元103的托塊12通過螺釘與外殼固定連接。第一手指單元101的托塊12與第四手指單元104的托塊12結構類似，第二手指單元102的托塊12與第五手指單元105的托塊12結構類似，而第一手指單元101和第四手指單元104的托塊12與第二手指單元102和第五手指單元105的托塊12結構有所不同，其結構上的差異主要是為了避讓螺釘。調節桿20設有4個，4個調節桿20分別與第一手指單元101、第二手指單元102、第四手指單元1本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種手指間距可調的機械手，其特征在于，所述機械手包括：至少2個手指單元（10），每一手指單元（10）設有一機械手指（11）；至少2個調節桿（20），所述調節桿（20）的一端與手指單元（10）轉動連接；第一滑塊（30），所述調節桿（20）的另一端與第一滑塊（30）轉動連接；第一導軌（40），所述第一滑塊（30）沿第一導軌（40）運動，第一導軌（40）沿手指單元（10）的機械手指（11）方向設置；所述手指單元（10）的側邊設有第二導軌（60），所述第二導軌（60）沿豎直方向設置且與第一導軌（40）垂直，手指單元（10）的側邊固定有第二滑塊（50），手指單元（10）通過第二滑塊（50）沿第二導軌（60）運動；所述第一滑塊（30）沿第一導軌（40）運動，驅動調節桿（20）轉動呈收縮或放開狀態，帶動手指單元（10）沿第二導軌（60）做上下運動。

【技術特征摘要】
1.一種手指間距可調的機械手，其特征在于，所述機械手包括：手指單元(10)設有5個，在豎直方向上從上往下分別為：第一手指單元(101)、第二手指單元(102)、第三手指單元(103)、第四手指單元(104)和第五手指單元(105)；每一手指單元(10)設有一機械手指(11)；調節桿(20)設有4個，所述調節桿(20)的一端與手指單元(10)轉動連接；第一滑塊(30)，所述調節桿(20)的另一端與第一滑塊(30)轉動連接；第一導軌(40)，所述第一滑塊(30)沿第一導軌(40)運動，第一導軌(40)沿手指單元(10)的機械手指(11)方向設置；所述手指單元(10)的側邊設有第二導軌(60)，所述第二導軌(60)沿豎直方向設置且與第一導軌(40)垂直，手指單元(10)的側邊固定有第二滑塊(50)，手指單元(10)通過第二滑塊(50)沿第二導軌(60)運動；所述第一滑塊(30)沿第一導軌(40)運動，驅動調節桿(20)轉動呈收縮或放開狀態，帶動手指單元(10)沿第二導軌(60)做上下運動；在所述手指單元(10)的一側設置一套第一滑塊(30)和第一導軌(40)，相應地在所述手指單元(10)的一側設置一套第二滑塊(50)和第二導軌(60)；或者在所述手指單元(10)的兩側各設置一套第一滑塊(30)和第一導軌(40)，相應地在所述手指單元(10)的兩側各設置一套第二滑塊(50)和第二導軌(60)；所述機械手還包括一外殼，所述第三手指單元(103)與外殼固定連接；所述4個調節桿(20)分別與第一手指單元(101)、第二手指單元(102)、第四手指單元(104)和第五手指單元(105)連接，...

【專利技術屬性】
技術研發人員：徐方，趙嘉博，李學威，宋吉來，何偉全，張一博，
申請(專利權)人：沈陽新松機器人自動化股份有限公司，
類型：發明
國別省市：遼寧;21