【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種圖案化石墨烯薄膜的制作方法，其特征在于，該方法包括：首先，在基板上形成一層石墨烯，并在所述石墨烯上涂布感光材料；之后，采用構圖工藝使需要形成石墨烯薄膜圖形區域的感光材料被去除；然后，將已去除感光材料后裸露的石墨烯氧化成氧化石墨烯層；然后，對整個基板進行超聲波清洗，除去基板上未被氧化的石墨烯和該未被氧化的石墨烯上的感光材料；最后，將氧化石墨烯層還原成石墨烯層，得到所述石墨烯薄膜。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：李鴻鵬，宋省勛，肖昂，李建，
申請(專利權)人：北京京東方光電科技有限公司，
類型：發明
國別省市：北京;11
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