【技術實現(xiàn)步驟摘要】
一種電壓檢測裝置
本技術屬于一種電壓檢測裝置,尤其涉及一種用于導電元件的電壓檢測裝置。
技術介紹
現(xiàn)有的半導體技術中,通常使用多層金屬互連線結構使得各種器件電學連接,所述金屬互連線之間利用絕緣性能良好的介質材料電隔離。多層金屬互連結構的可靠性對于整個IC制造工藝良率、產品性能和可靠性而言都是至關重要的,通過可靠性測試可以獲得不同金屬互連線的間距、形狀和不同介質材料對金屬互連結構擊穿特性的影響。為了獲得擊穿特性較好的金屬互連結構,通常需要檢測多組具有不同金屬互連線間距、形狀或不同介質材料的金屬互連結構,如果采用現(xiàn)有的檢測方法,只能一組一組地進行檢測對應的擊穿電壓或擊穿時間,以獲得不同金屬互連線間距、形狀或不同介質材料對金屬互連結構擊穿特性的影響,檢測時間較長,檢測成本較高。
技術實現(xiàn)思路
本技術要解決的問題是提供一種簡單結構的回彈裝置的電壓檢測裝置,在短時間內可達到鎖緊的作用。 為解決上述技術問題,本技術采用的技術方案是: 一種電壓檢測裝置,包括:檢測元件、感應裝置、檢測裝置、處理裝置和輸出裝置,所述檢測元件還包括半導體元件、電勢元器件和感應元器件,所述感應裝置的兩端串聯(lián)連接所述檢測元件的正極一端和負極一端,所述感應裝置還包括第三端子連接所述檢測裝置的電路,所述檢測裝置還包括阻尼電路和用于檢測電勢能的電容器,由所述檢測裝置輸出的信號進入所述處理裝置進行信號轉換,轉換后的可讀信號由所述輸出裝置輸出,所述輸出裝置還包括驅動單元和信號切換裝置。 進一步地,所述感應裝置包括殼體、線圈和傳感電路。 進一步地,所述處理裝置主要包括運算放大 ...
【技術保護點】
一種電壓檢測裝置,其特征在于:包括檢測元件(1)、感應裝置(2)、檢測裝置(3)、處理裝置(4)和輸出裝置(5),所述檢測元件(1)還包括半導體元件、電勢元器件和感應元器件,所述感應裝置(2)的兩端串聯(lián)連接所述檢測元件的正極一端和負極一端,所述感應裝置(2)還包括第三端子連接所述檢測裝置(3)的電路,所述檢測裝置(3)還包括阻尼電路和用于檢測電勢能的電容器,由所述檢測裝置(3)輸出的信號進入所述處理裝置(4)進行信號轉換,轉換后的可讀信號由所述輸出裝置(5)輸出,所述輸出裝置(5)還包括驅動單元和信號切換裝置。
【技術特征摘要】
1.一種電壓檢測裝置,其特征在于:包括檢測元件(I)、感應裝置(2)、檢測裝置(3)、處理裝置(4)和輸出裝置(5),所述檢測元件(I)還包括半導體元件、電勢元器件和感應元器件,所述感應裝置(2)的兩端串聯(lián)連接所述檢測元件的正極一端和負極一端,所述感應裝置(2)還包括第三端子連接所述檢測裝置(3)的電路,所述檢測裝置(3)還包括阻尼電路和用于檢測電勢能的電容器,由所述檢測裝置(3)輸出的信號進入所述處理裝置(4)進行信號轉換,轉換后的可讀信號由所述輸出裝置(5)輸出,所述輸出裝置(5)還包括驅動...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員:馬強,田磊,
申請(專利權)人:天津天維移動通訊終端檢測有限公司,
類型:新型
國別省市:天津;12
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