本實用新型專利技術提供一種液體供應裝置及系統，所述的液體供應裝置在第一液箱的基礎上增加與之相連的第二液箱，使得所述第一液箱中的液體少于第一設定量時停止供應液體，并將剩余液體傳輸至所述第二液箱；當所述第二液箱中的液體多于第二設定量時，所述第二液箱將液體傳輸回所述第一液箱。如此可以實現第一液箱中剩余液體的回收再利用，避免過早更換第一液箱，減輕了液體的浪費。本實用新型專利技術提供的液體供應系統在液體供應裝置的基礎上增設一個連接第一液箱的第三液箱，能夠更精確地將液體通過第三液箱供應至多個機臺。
【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體領域，尤其涉及一種液體供應裝置及系統。
技術介紹
在低壓化學氣相淀積(LPCVD)爐管制程中，硅酸乙酯(TEOS)制程是一種很普遍的制程。具體的過程是:TEOS制程進行時，氣體氮以冒泡的形式通過液體的TEOS源，攜帶TEOS的蒸氣進入反應室，在一定的溫度下分解形成二氧化硅以在器件表面形成薄膜。采用TEOS作為反應劑所生成的二氧化硅薄膜具有良好的保形性。TEOS制程進行之前，通常會通過供液系統將TEOS液體引入到各個反應機臺，以進行后續的TEOS制程。現有的供液系統如圖1所示，包括第一液箱10和第二液箱20，其中第一液箱10的容量大于第二液箱20的容量，第一液箱10負責總體接收并存儲TEOS液體，第二液箱20的供液管23連接至多個輸出管道以將TEOS液體輸送到多個機臺以進行后續的TEO制程。兩個液箱均包括連接到箱體的氣管和液管，并通過各個氣管也液管上的閥門控制TEOS液體的流動。具體過程是，氣體由第一液箱10的第一氣管11進入，將第一液箱10中的TEOS液體壓出，通過第一液管12排出并由第二液管21流入第二液箱20。當機臺需要使用TEOS時，開啟第二液箱20上第二氣管22上的閥門并關閉第二液管21上的閥門，由第二氣管22通入氣體將第二液箱20中的液體由供液管23壓出，并流入相應的機臺。通常情況下，第一液箱10中的TEOS少于一設定量時，報警模塊30會啟動報警，提醒工作人員更換第一液箱10。但在實際操作中，報警模塊30報警時，第一液箱10中會殘留較多的TEOS液體(通常為2-3kg)，造成很大程度的浪費。
技術實現思路
考慮到現有技術中存在的問題，本技術要解決的問題是減小供液系統中液體的浪費，以節省生產成本。本技術提出一種液體供應裝置包括第一液箱，用于供應液體；以及第二液箱，連接所述第一液箱；其中，當所述第一液箱中的液體少于第一設定量時停止供應液體，并將剩余液體傳輸至所述第二液箱；當所述第二液箱中的液體多于第二設定量時，所述第二液箱將液體傳輸回所述第一液箱。可選的，所述第一液箱包括第一箱體、第一氣管以及第一液管，所述第一氣管連接所述第一箱體的頂部，所述第一液管的第一端連通至所述第一箱體的底部，第二端用于供應液體。可選的，所述第二液箱包括第二箱體、第二氣管以及第二液管，所述第二氣管連接所述第二箱體的頂部與所述第一氣管，所述第二液管連接所述第一液管，并連通至所述第二箱體的底部。可選的，所述第一氣管、第二氣管、第一液管以及第二液管上均具有閥門，通過所述閥門控制氣體及液體的流動。可選的，所述液體供應裝置還包括報警模塊，用于當所述第一液箱中的液體少于第一設定量時啟動報警。可選的，所述第二液箱的容量大于所述第一設定量，且小于所述第一液箱的容量。可選的，所述第二液箱的容量為所述第一液箱容量的三分之二。可選的，所述第一液箱和第二液箱均包含液面感應器，通過所述液面感應器感知所述第一設定量以及所述第二設定量。本技術還提供一種液體供應系統，包括上述液體供應裝置，還包括:第三液箱，連接所述第一液箱，用于接收所述第一液箱供應的液體，并連接多個輸出管道以分別輸出液體。可選的，所述第三液箱包括第三箱體、第三氣管、第三液管以及供液管，所述第三液管用于接收所述第一液箱供應的液體，所述供液管連接所述多個輸出管道。本技術所述的液體供應裝置通過在原有的第一液箱的基礎上增加與之相連的第二液箱，使得當所述第一液箱中的液體少于第一設定量時停止供應液體，并將剩余液體傳輸至所述第二液箱；當所述第二液箱中的液體多于第二設定量時，所述第二液箱將液體傳輸回所述第一液箱。如此可以實現第一液箱中剩余液體的回收再利用，避免過早更換第一液箱，大大減輕了液體的浪費。本技術提供的液體供應系統在液體供應裝置的基礎上增設一個連接第一液箱的第三液箱，能夠更精確地將液體通過第三液箱供應至多個機臺ο【附圖說明】圖1為現有技術的供液系統的結構示意圖。圖2為本技術一實施例所述液體供應裝置的結構示意圖。圖3為本技術一實施例所述液體供應系統的結構示意圖。【具體實施方式】以下結合附圖和具體實施例對本技術作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本技術的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本技術實施例的目的。如圖2所示，本技術提供的液體供應裝置包括第一液箱100，用于供應液體；以及第二液箱200，連接所述第一液箱100 ;其中當所述第一液箱100中的液體少于第一設定量時停止供應液體，并將剩余液體傳輸至所述第二液箱200 ;當所述第二液箱200中的液體多于第二設定量時，所述第二液箱200將液體傳輸回所述第一液箱100。還包括報警模塊300，用于當所述第一液箱100中的液體少于第一設定量時啟動報警。通過增設第二液箱200作為緩沖液箱，當報警模塊300報警時，能夠將第一液箱100中的剩余液體幾乎全部排到第二液箱200中，之后再更換第一液箱100 ;當第二液箱200中的液體多于第二設定量時，第二液箱200能將液體傳回給第一液箱100。通過第二液箱200的緩沖，能夠大大減輕更換第一液箱100時造成的液體浪費。如圖2所示，第一液箱100具體包括第一箱體、第一氣管110以及第一液管120，所述第一氣管I1連接所述第一箱體的頂部，所述第一液管120的第一端連通至所述第一箱體的底部，第二端用于供應液體(圖2中箭頭I所示即供液液體的流動方向)。第一氣管110和第一液管120均具有閥門，包括閥門111和閥門121，通過上述閥門的開閉來控制氣體及液體的流動，以實現液體的供應。具體的過程是，當需要第一液箱100提供液體時，開啟閥門111使得氣體從第一氣管110中進入，并同時開啟第一液管120，當氣體的壓力達到一定值的時候，第一液箱中的液體從第一液管120中向上流出，達到供液的目的。此種液箱即通過通入氣體來增加液箱中的壓強，以將液箱中的液體通過液管壓出。同理，如圖2所示，第二液箱200包括第二箱體、第二氣管210以及第二液管220，所述第二氣管210連接所述第二箱體的頂部與所述第一氣管110，第二液管220連接所述第一液管120，并連通至所述第二箱體的底部。第二氣管210和第二液管220均具有閥門，包括閥門211和閥門221，通過上述閥門的開閉來實現第一液箱100中剩余液體的周轉。具體的過程是，當第一液箱100中的液體被使用至少于第一設定量時，報警模塊300啟動報警，此時閥門111維持開啟狀態而閥門211維持關閉狀態，同時關閉閥門121，并開啟第二液箱200的閥門221，使得第一液箱100中的液體被通入的氣體壓至第二液箱200，之后再更換第一液箱100即可。需要注意的是，為了防止液體無法排出，第一液管120不可能完全接觸第一液箱100的底面，因此會預留一定的間距，當第一液箱100中的液面與第一液管120的下端持平時，剩余的液體無法被壓入第二液箱200。但盡管如此，相比于現有技術的供液當前第1頁1 2 本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種液體供應裝置，其特征在于，包括第一液箱，用于供應液體；以及第二液箱，連接所述第一液箱；其中，當所述第一液箱中的液體少于第一設定量時停止供應液體，并將剩余液體傳輸至所述第二液箱；當所述第二液箱中的液體多于第二設定量時，所述第二液箱將液體傳輸回所述第一液箱。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：沈建飛，
申請(專利權)人：中芯國際集成電路制造北京有限公司，
類型：新型
國別省市：北京;11
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