基板支撐裝置及支撐方法、真空干燥設(shè)備制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種基板支撐裝置及支撐方法、真空干燥設(shè)備。所述基板支撐裝置包括固定機構(gòu)和升降機構(gòu)，所述固定機構(gòu)包括臺面，所述臺面上設(shè)置有多個通孔，所述升降機構(gòu)包括多個與所述通孔相對應(yīng)的平板部，多個所述平板部能夠分別位于相應(yīng)位置的所述通孔中，并與所述臺面共同形成一個用于支撐基板的支撐面，并且，所述平板部能夠移動穿過相對應(yīng)的所述通孔。本發(fā)明專利技術(shù)通過固定機構(gòu)和升降機構(gòu)相配合的方式，使基板在整個干燥過程中均放置在平坦的臺面上，其接觸方式由點接觸變成面接觸，降低了產(chǎn)品出現(xiàn)顯示不良的風(fēng)險。此外，在不同型號產(chǎn)品進行切換時，不需要對支撐裝置進行改動，減少了人員的工作量，降低了裝置的設(shè)計難度。

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護點】
一種基板支撐裝置，用于真空干燥設(shè)備中，其特征在于，包括固定機構(gòu)和升降機構(gòu)，所述固定機構(gòu)包括臺面，所述臺面上設(shè)置有多個通孔，所述升降機構(gòu)包括多個與所述通孔相對應(yīng)的平板部，多個所述平板部能夠分別位于相應(yīng)位置的所述通孔中，并與所述臺面共同形成一個用于支撐基板的支撐面，并且，所述平板部能夠移動穿過相對應(yīng)的所述通孔。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王曼，翟玉漫，
申請(專利權(quán))人：合肥京東方光電科技有限公司，京東方科技集團股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：安徽;34